專利名稱：層疊體、層疊板、多層層疊板、印刷配線板及層疊板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適于半導(dǎo)體封裝用或印刷配線板用的層疊體及層疊板，使用了該層疊板的印刷配線板、多層層疊板、及層疊板的制造方法。
背景技術(shù)：
近年，對(duì)電子機(jī)器的薄型化、輕量化的要求日益增強(qiáng)，半導(dǎo)體封裝、印刷配線板的薄型化、高密度化不斷發(fā)展。為了與這些薄型化、高密度化對(duì)應(yīng)，穩(wěn)定地安裝電子部件，抑制安裝時(shí)產(chǎn)生的彎曲非常重要。在安裝時(shí)，半導(dǎo)體封裝中產(chǎn)生彎曲的主要的原因的 之一是半導(dǎo)體封裝中所使用的層疊板與該層疊板的表面上所安裝的硅片的熱膨脹系數(shù)差。因此，在半導(dǎo)體封裝用層疊板中，不斷進(jìn)行著使熱膨脹系數(shù)接近硅片的熱膨脹系數(shù)，即低熱膨脹系數(shù)化的努力。另外，由于層疊板的彈性模量低也是彎曲的原因，所以，為了降低彎曲而使層疊板高彈性化也是有效的。于是，為了降低層疊板的彎曲，對(duì)層疊板進(jìn)行低膨脹率化及高彈性化是有效的。雖然可以想到多種使層疊板低熱膨脹系數(shù)化、高彈性化的方法，尤其是已知有層疊板用的樹脂的低熱膨脹系數(shù)化和樹脂中的無機(jī)填充材料的高填充化。特別是無機(jī)填充材料的高填充化是具有低熱膨脹系數(shù)化且同時(shí)能夠期待耐熱性和阻燃性的提高的方法(專利文獻(xiàn)I)。然而，對(duì)于如此增加無機(jī)填充材料的填充量的方法而言，已知其具有如下情況，即，絕緣可靠性降低，樹脂與形成于其表面的配線層的密接不充分，在進(jìn)行層疊板制造時(shí)產(chǎn)生壓力成形不良的情況，在高填充化方面受到限制。另外，通過樹脂的選擇或改良來達(dá)成低熱膨脹系數(shù)的手段也得到了嘗試。例如，一般具有提高配線板用的樹脂的交聯(lián)密度、提高Tg而降低熱膨脹系數(shù)的方法(專利文獻(xiàn)2及3)。然而，雖然提高交聯(lián)密度會(huì)縮短官能基間的分子鏈，但是將分子鏈縮短一定程度以上，則在反應(yīng)方面受到限制，也存在引起樹脂強(qiáng)度降低的問題。因此，在利用提高交聯(lián)密度的方法來實(shí)現(xiàn)低熱膨脹系數(shù)化方面也受到限制。于是，對(duì)于以往的層疊板而言，雖然通過無機(jī)填充材料的高填充和采用低熱膨脹系數(shù)樹脂實(shí)現(xiàn)了低熱膨脹系數(shù)化·高彈性化，但是正逐步達(dá)到極限。另外，作為不同于上述的方法，嘗試了如下方法，S卩，作為具有與電子部件(硅片)的熱膨脹系數(shù)大致一致的熱膨脹系數(shù)的層而使用玻璃膜，通過對(duì)樹脂和玻璃膜加壓而將其層疊，從而降低熱沖擊應(yīng)力(專利文獻(xiàn)4)，然而，由于樹脂層的彈性模量低而熱膨脹系數(shù)高，所以在實(shí)現(xiàn)基板的低彎曲的方面存在不足。[在先技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)I]日本特開2004-182851號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]日本特開2000-243864號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)3]日本特開2000-114727號(hào)公報(bào)
[專利文獻(xiàn)4]日本專利第4657554號(hào)

發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明要解決的問題]如上所述，通過專利文獻(xiàn)4的制造方法獲得的基板仍然是彈性模量低而熱膨脹系數(shù)高，所以在實(shí)現(xiàn)基板的低彎曲方面存在不足。本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供具有低熱膨脹系數(shù)及高彈性模量且能夠抑制彎曲而不易產(chǎn)生裂縫的層疊板及多層層疊板、適于制造這些層疊板及多層層疊板的層疊體、使用了這些層疊板及多層層疊板的印刷配線板、和該層疊板的制造方法。
[用于解決問題的手段]在專利文獻(xiàn)4中，對(duì)于在層疊玻璃膜和樹脂而成的基板中，在樹脂中含有纖維基材的情況沒有任何記載。根據(jù)專利文獻(xiàn)4的記載，可以想到的是應(yīng)當(dāng)避免在樹脂中含有纖維基材的情況。即，在專利文獻(xiàn)4中，通過玻璃膜來實(shí)質(zhì)性確定基板整體的熱膨脹作用的構(gòu)成為必須的構(gòu)成(專利文獻(xiàn)4的權(quán)利要求1)。鑒于此，需要盡量減小樹脂對(duì)基板的熱膨脹作用的影響，為此需要將樹脂的彈性模量抑制得低(若樹脂具有高彈性模量，則因該高彈性模量的樹脂使基板整體的熱膨脹作用受到較大影響)。另一方面，若在樹脂中含有纖維基材，則會(huì)造成樹脂高彈性模量化。因此，根據(jù)專利文獻(xiàn)4的記載可知應(yīng)當(dāng)避免樹脂中含有纖維基材O另外，若在專利文獻(xiàn)4的樹脂中含有纖維基材，可以想到的是，纖維基材成為起點(diǎn)而玻璃基板容易產(chǎn)生裂縫的情況。根據(jù)這一點(diǎn)也可以推測(cè)出在專利文獻(xiàn)4中要避免在樹脂中含有纖維基材。現(xiàn)在，在專利文獻(xiàn)4那樣的玻璃基板層與樹脂層的層疊板中，不存在樹脂層中含有纖維基材的層疊板的例子。但是，令人驚奇的是，本發(fā)明的發(fā)明人等為了解決上述的課題進(jìn)行了刻苦研究且結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在包含樹脂固化物層及玻璃基板層的層疊板中，通過使樹脂固化物層中含有纖維基材，能夠獲得具有低熱膨脹系數(shù)及高彈性模量且能夠抑制彎曲而不易產(chǎn)生裂縫的層疊板。本發(fā)明根據(jù)該發(fā)現(xiàn)而完成的，以如下的[I] [12]作為其主旨。[I] 一種層疊體，其包括I層以上的樹脂組合物層及2層以上的玻璃基板層，所述I層以上的樹脂組合物層中的至少I層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層，在任意的2層所述玻璃基板層之間，存在I層以上的所述樹脂組合物層。[2]根據(jù)[I]所述的層疊體，其特征在于，所述玻璃基板層的厚度為30 200 μ m。[3]根據(jù)[I]或[2]所述的層疊體，其特征在于，所述2層以上的玻璃基板層中，最表面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖右约白罾锩鎮(zhèn)鹊牟ＡЩ鍖臃謩e處于比全部的所述樹脂組合物層更表面的表面?zhèn)纫约案锩娴睦锩鎮(zhèn)取4]根據(jù)[1]_[3]中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于，所述I層以上的樹脂組合物層包含，與最表面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖拥谋砻娼佑|的第I樹脂組合物層，和與最里面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖拥睦锩娼佑|的第2樹脂組合物層，所述第I樹脂組合物層及第2樹脂組合物層為由含熱固化性樹脂且不含纖維基材的不含纖維的有機(jī)組合物構(gòu)成的不含纖維的有機(jī)組合物層。[5]根據(jù)[4]所述的層疊體，其特征在于，所述第I樹脂組合物層及所述第2樹脂組合物層的厚度為3 40 μ m。[6]根據(jù)[1]-[5]中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于，所述含纖維的樹脂組合物層含有無機(jī)填充材料。[7]根據(jù)[6]所述的層疊體，其特征在于，所述無機(jī)填充材料為選自二氧化硅、氧化鋁、滑石、云母、氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、硼酸鋁及硼硅酸鹽玻璃中的I種或2種以上。
[8]根據(jù)[1]_[7]中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于，所述纖維基材為選自玻璃纖維、聚酰亞胺纖維、聚酯纖維、聚四氟乙烯纖維中的I種以上。[9]根據(jù)[1]_[8]中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于，所述熱固化性樹脂為選自環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、不飽和酰亞胺樹脂、氰酸酯樹脂、異氰酸酯樹脂、苯并噁嗪樹脂、氧雜環(huán)丁烷樹脂、氨基樹脂、不飽和聚酯樹脂、烯丙基樹脂、二聚環(huán)戊二烯樹脂、硅酮樹脂、三嗪樹脂及密胺樹脂的I種或2種以上。[10]—種層疊板，其包含I層以上的樹脂固化物層及2層以上的玻璃基板層，所述I層以上的樹脂固化物層中的至少I層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂固化物構(gòu)成的含纖維的樹脂固化物層，在任意2層所述玻璃基板層之間，存在I層以上的所述樹脂固化物層。[11]根據(jù)[10]所述的層疊板，其特征在于，40°C下的存儲(chǔ)彈性模量為IOGPa 70GPa。[12]根據(jù)[10]或[11]所述的層疊板，其特征在于，所述層疊板通過將[I] [9]中的任意一項(xiàng)所述的層疊體加熱而獲得。[13] 一種多層層疊板，其包括多個(gè)層疊板，其中，至少一個(gè)層疊板為[10] [12]中任意一項(xiàng)所述的層疊板。[14] 一種印刷配線板，其具有[10] [12]中任意一項(xiàng)所述的層疊板和設(shè)置在所述層疊板的表面上的配線。[15] 一種印刷配線板，其具有[13]所述的多層層疊板和設(shè)置在所述多層層疊板的表面上的配線。[16] 一種[10]_[12]中任一項(xiàng)所述的層疊板的制造方法，其包括在玻璃基板的表面形成樹脂固化物層的樹脂固化物層形成工序。[17]根據(jù)[16]所述的層疊板的制造方法，其特征在于，所述樹脂固化物層形成工序是使用真空層合機(jī)或輥壓層合機(jī)在所述玻璃基板上層疊并固化由所述樹脂組合物構(gòu)成的膜的工序。[18]根據(jù)[16]所述的層疊板的制造方法，其特征在于，所述樹脂固化物層形成工序?yàn)樵谒霾ＡЩ迳吓渲糜伤鰳渲M合物構(gòu)成的膜后，進(jìn)行加壓、固化的工序。[發(fā)明效果]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供具有低熱膨脹系數(shù)及高彈性模量且可抑制彎曲而不易產(chǎn)生裂縫的層疊板及多層層疊板、適于制造這些層疊板及多層層疊板的層疊體、使用了這些層疊板及多層層疊板的印刷配線板、及該層疊板的制造方法。


圖1為說明實(shí)施例4所述層疊板的制造方法的示意性剖視圖。符號(hào)的說明I支承體膜2樹脂組合物層2a不含纖維的樹脂固化物層3樹脂膜4玻璃基板層5半固化片5a含纖維的樹脂固化物層6層疊板(中間體)7層疊板
具體實(shí)施例方式以下，對(duì)于本發(fā)明的層疊體、層疊板、多層層疊板、印刷配線板及層疊板的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說明。需要說明的是，在本發(fā)明中，層疊體是指，作為其構(gòu)成成分的熱固化性樹脂為未固化或半固化的層疊體，層疊板是指，作為其構(gòu)成成分的熱固化性樹脂發(fā)生固化的層疊板。[層疊體]本發(fā)明的層疊體為包括I層以上的樹脂組合物層及2層以上的玻璃基板層的層疊體，所述I層以上的樹脂組合物層中的至少I層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層，在任意的2層所述玻璃基板層之間，存在I層以上的所述樹脂組合物層。對(duì)于本發(fā)明的層疊體的尺寸而言，從操作性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在寬度IOmm 1000mm,長度IOmm 3000mm(在以卷狀使用的情況下，長度可適當(dāng)適用)的范圍選擇。特別優(yōu)選為，寬度25mm 550mm,長度25mm 550mm的范圍。本發(fā)明的層疊體的厚度,根據(jù)其用途,優(yōu)選在35 μ m 20mm的范圍選擇。層疊體的厚度更優(yōu)選為50 1000 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為80 600 μ m,尤其優(yōu)選為100 500 μ m,特別優(yōu)選為110 400 μ m。對(duì)于通過使本發(fā)明的層疊體的樹脂組合物層固化來作為樹脂固化物層而獲得的層疊板而言，由于具有與硅片相同程度的低熱膨脹系數(shù)和高彈性模量的玻璃基板層，所以成為低熱膨脹系數(shù)及高彈性模量的結(jié)構(gòu)物，從而能夠抑制彎曲而不易產(chǎn)生裂縫。尤其是，由于該層疊板具有耐熱性高的玻璃基板層，所以，在從100°c到小于樹脂固化物的Tg的溫度區(qū)域內(nèi)具有顯著的低熱膨脹性。另外，由于在含纖維的樹脂固化物層中含有纖維基材，與不含纖維基材的樹脂固化物相比為低熱膨脹系數(shù)且高彈性模量，從而使包含該含纖維的樹脂固化物層的層疊板成為低膨脹系數(shù)和高彈性模量的材料。此外，由于本發(fā)明的層疊體具有2層以上的玻璃基板層，且在任意的2層玻璃基板層之間存在I層以上的樹脂組合物層，與具有與這些玻璃基板層的總計(jì)厚度為相同厚度的I層玻璃基板層的層疊體相比，在形成為如上所述的層疊板時(shí)，成為低熱膨脹系數(shù)及高彈性模量的材料。<層疊體的層疊結(jié)構(gòu)>上述的層疊體的層疊結(jié)構(gòu)只要為在任意的2層玻璃基板層之間存在I層以上的樹脂組合物層的結(jié)構(gòu)，且I層以上的樹脂組合物層中的至少I層為由含熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層，就沒有特別限定。《第I層疊結(jié)構(gòu)》
例如，可為層疊體中的最表面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖蛹白罾锩鎮(zhèn)鹊牟ＡЩ鍖臃謩e處于比全部的樹脂組合物層更表面的表面?zhèn)纫约案锩娴睦锩鎮(zhèn)鹊慕Y(jié)構(gòu)。作為這樣的結(jié)構(gòu)，可示例如下。“ (玻璃基板層/樹脂組合物層)m/玻璃基板層」(m為I以上的整數(shù))其中，“玻璃基板層/樹脂組合物層”是指玻璃基板層和樹脂組合物層層疊。即，“/”是指“/”左右兩側(cè)記載的2層層疊。例如，當(dāng)m為I及2時(shí)的結(jié)構(gòu)分別如下。“玻璃基板層/樹脂組合物層/玻璃基板層” “玻璃基板層/樹脂組合物層/玻璃基板層/樹脂組合物層/玻璃基板層”這些樹脂組合物層中的至少I層有必要為由含熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層。這樣由含樹脂基材的層疊體得到的層疊板為更低膨脹系數(shù)及更高彈性模量。另外，樹脂組合物層全部可由上述的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成，也可其一部份由含熱固化性樹脂且不含纖維基材的不含纖維的有機(jī)組合物構(gòu)成。《第2層疊結(jié)構(gòu)》另外，例如，也可為具有與最表面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖拥谋砻娼佑|的第I樹脂組合物層，和與最里面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖拥睦锩娼佑|的第2樹脂組合物層的結(jié)構(gòu)。作為這樣的結(jié)構(gòu)，可示例如下。“第I樹脂組合物層/ (玻璃基板層/樹脂組合物層)n/玻璃基板層/第2樹脂組合物層“(η為I以上的整數(shù))例如，η為I及2時(shí)的結(jié)構(gòu)分別如下。“第I樹脂組合物層/玻璃基板層/樹脂組合物層/玻璃基板層/第2樹脂組合物層”“第I樹脂組合物層/玻璃基板層/樹脂組合物層/玻璃基板層/樹脂組合物層/玻璃基板層/第2樹脂組合物層”這些樹脂組合物層中的至少I層有必要為由含熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層。這樣由含樹脂基材的層疊體得到的層疊板為更低膨脹系數(shù)及更高彈性模量。 另外，通過具有第I樹脂組合物層及第2樹脂組合物層，避免了玻璃基板層露出而與層疊體的外部物體直接接觸，可提高玻璃基板層的防裂性、操作性(處理容易性)。這些第I樹脂組合物層及第2樹脂組合物層優(yōu)選為由含熱固化性樹脂且不含纖維基材的不含纖維的有機(jī)組合物構(gòu)成的不含纖維的有機(jī)組合物層。由此，可進(jìn)一步提高玻璃基板層的防裂性、操作性(處理容易性)。另外，通過在第I樹脂組合物層及第2樹脂組合物層中不含有纖維基材，可使樹脂組合物層的厚度變薄，可使層疊板更高彈性化。<含纖維的樹脂組合物>上述含纖維的樹脂組合物包含熱固化性樹脂及纖維基材。《熱固化性樹脂》作為熱固化性樹脂并無特殊限制，例如可舉出環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、不飽和酰亞胺樹脂、氰酸酯樹脂、異氰酸酯樹脂、苯并噁嗪樹脂、氧雜環(huán)丁烷樹脂、氨基樹脂、不飽和聚酯樹脂、烯丙基樹脂、二聚環(huán)戊二烯樹脂、硅酮樹脂、三嗪樹脂、密胺樹脂。從成形性、電絕緣性優(yōu)良的點(diǎn)出發(fā)，其中優(yōu)選環(huán)氧樹脂及氰酸酯樹脂。作為環(huán)氧樹脂，例如，可以列舉出雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹月旨、雙酚F酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、二苯乙烯型環(huán)氧樹脂、含三嗪骨架的環(huán)氧樹脂、含芴骨架的環(huán)氧樹脂、三酚甲烷型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、亞二甲苯基型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯芳烷型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂、二聚環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、多官能苯酚類及蒽等的多環(huán)芳香族類的二環(huán)氧甘油醚化合物。另外，還可以列舉出向這些環(huán)氧樹脂導(dǎo)入了磷化合物的含磷環(huán)氧樹脂。其中，從耐熱性、阻燃性方面考慮，優(yōu)選聯(lián)苯芳烷型環(huán)氧樹脂及萘型環(huán)氧樹脂。可以將它們中的I種或2種以上混合使用。作為氰酸酯樹脂，例如，可以列舉出酚醛清漆型氰酸酯樹脂、雙酚A型氰酸酯樹月旨、雙酚E型氰酸酯樹脂、四甲基雙酚F型氰酸酯樹脂等的雙酚型氰酸酯樹脂，它們一部份三嗪化了的預(yù)聚物。其中，從耐熱性、阻燃性方面考慮，優(yōu)選酚醛清漆型氰酸酯樹脂。可以將它們中的I種或2種以上混合使用。相對(duì)于從含纖維的樹脂組合物的總量中除去纖維基材后的非纖維基材成分的質(zhì)量，含纖維的樹脂組合物中所含的熱固化性樹脂的含量優(yōu)選為20 80質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選為25 60質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為25 50質(zhì)量％，尤其優(yōu)選為25 40質(zhì)量％。《纖維基材》作為纖維基材沒有特別限定，可舉出E玻璃、D玻璃、S玻璃及Q玻璃等無機(jī)物纖維，聚酰亞胺、聚酯及聚四氟乙烯等的有機(jī)纖維，以及它們的混合物等。這些纖維基材具有例如織布、不織布、粗紗、短切原絲薄氈及面氈等的形狀，但可根據(jù)目的的成形物的用途和性能來選擇材質(zhì)及形狀，根據(jù)需要，可單獨(dú)或組合2種類以上的材質(zhì)及形狀。基材的厚度沒有特別限定，例如，可使用約0. 03 0. 5mm,從耐熱性、耐濕性,加工性的方面考慮，適宜為用硅烷偶聯(lián)劑等進(jìn)行了表面處理的材料、或機(jī)械地實(shí)施了開纖處理的材料。相對(duì)于含纖維的樹脂組合物的總量，纖維基材的總計(jì)含量優(yōu)選為10 80體積％的范圍，更優(yōu)選為15 75質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為20 70質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 60質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 55質(zhì)量％。《無機(jī)填充材料》含纖維的樹脂組合物可進(jìn)一步含有無機(jī)填充材料。在含纖維的樹脂組合物中含有無機(jī)填充材料的情況下，相對(duì)于從含纖維的樹脂組合物中除去纖維基材后的非纖維基材成分，無機(jī)填充材料的含量優(yōu)選為5 75體積％的范圍。另外，相對(duì)于從含纖維的樹脂組合物中除去纖維基材后的非纖維基材成分，無機(jī)填充材料的含量更優(yōu)選為15 70質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 70質(zhì)量％。作為無機(jī)填充材料，例如，可以列舉出二氧化硅、氧化鋁、滑石、云母、氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、硼酸鋁、硼硅酸鹽玻璃等。其中，從低熱膨脹性方面考慮優(yōu)選二氧化硅，進(jìn)一步優(yōu)選熱膨脹系數(shù)為0. 6ppm/K左右這種非常小且對(duì)樹脂進(jìn)行高填充時(shí)的流動(dòng)性降低小的球狀非晶質(zhì)二氧化硅。作為球狀非晶質(zhì)二氧化硅，累積50%粒徑為0. 01 10 ii m，優(yōu)選為0. 03 5 ii m。在此，累積50%粒徑是指，當(dāng)以粉末的全部體積為100%而求出基于粒徑的累積度數(shù)分布曲線時(shí)，正好相當(dāng)于體積50%這一點(diǎn)的粒徑的情況，能夠通過利用了激光衍射散亂法的粒度分布測(cè)定裝置等來進(jìn)行測(cè)定。另外，通過在無機(jī)填充材料中使用平均一次粒徑為I y m以下的二氧化硅(納米二氧化硅)，可在層疊板的含纖維的樹脂固化物層上形成細(xì)微的配線。作為納米二氧化硅，比表面積優(yōu)選為20m2/g以上。另外，從鍍覆工藝中的粗化處理后的表面形狀變小的觀點(diǎn)出發(fā)，平均一次粒徑優(yōu)選為IOOnm以下。該比表面積可通過BET法進(jìn)行測(cè)定。另外，此處所述的“平均一次粒徑”不是凝集后的粒子的平均直徑，即二次粒徑，而是未凝集的單體狀態(tài)的平均粒徑。該平均一次粒徑，例如，可通過激光衍射式粒度分布計(jì)進(jìn)行測(cè)定求出。作為這樣的無機(jī)填充材料，優(yōu)選為熱解法二氧化硅。此外，對(duì)于無機(jī)填充材料而言，為了提高耐濕性，優(yōu)選用硅烷偶聯(lián)劑等的表面處理劑進(jìn)行處理，為了提高分散性，優(yōu)選進(jìn)行疏水化處理。在層疊板的含纖維的樹脂固化物層上形成細(xì)微配線的情況下，無機(jī)填充材料的含量優(yōu)選為從含纖維的樹脂組合物中除去纖維基材后的非纖維成分中的20質(zhì)量％以下。若配合量為20質(zhì)量％以下，則可維持粗化處理后的良好的表面形狀，可防止鍍覆特性以及層間的絕緣可靠性的降低。另一方面，由于通過含有無機(jī)填充材料可期待含纖維的樹脂組合物的低熱膨脹化、高彈性化，因此在形成細(xì)微配線的同時(shí)重視低熱膨脹化、高彈性化的情況下，無機(jī)填充材料的含量優(yōu)選為3 20質(zhì)量％。《其他成分》在該含纖維的樹脂組合物中，除了上述成分以外，還可以添加固化劑、固化促進(jìn)齊U、熱塑性樹脂、彈性體、阻燃劑、紫外線吸收劑、抗氧化劑、光聚合引發(fā)劑、熒光增白劑、密接性提聞劑等。作為固化劑的例子，例如，在采用環(huán)氧樹脂的情況下，可以使用苯酚酚醛清漆、甲酚酚醛清漆等多官能酚類化合物；二氰胺、二氨基二苯甲烷、二氨基二苯基砜等胺化合物；鄰苯二甲酸酐、苯均四酸二酐、馬來酐、馬來酐共聚物等的酸酐；聚酰亞胺。可以并用這些固化劑中的幾種。作為固化促進(jìn)劑的例子，可以列舉出例如作為環(huán)氧樹脂的固化促進(jìn)劑的咪唑類及其衍生物；有機(jī)磷系化合物；仲胺類、叔胺類及季銨鹽等。作為紫外線吸收劑的例子，可以列舉出苯并三唑系的紫外線吸收劑等。作為抗氧化劑，可以列舉出受阻酚系或苯乙烯化酚的抗氧化劑等。作為光聚合引發(fā)劑的例子，可以列舉出苯甲酮類、芐基縮酮類、噻噸酮系等的光聚合引發(fā)劑。作為熒光增白劑的例子，可以列舉出二苯乙烯衍生物等的熒光增白劑。作為密接性提高劑的例子，可以列舉出尿素硅烷等尿素化合物、硅烷偶聯(lián)劑等的密接性提高劑。〈含纖維的樹脂組合物層>含纖維的樹脂組合物層由上述的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成。需要說明的是，在含纖維的樹脂組合物層中，除了含纖維的樹脂組合物的未固化物之外還包含半固化物。對(duì)于本發(fā)明的含纖維的樹脂組合物層的尺寸而言，優(yōu)選在寬度IOmm 1000mm，長度IOmm 3000mm(在以卷狀使用的情況下,長度可適當(dāng)適用)的范圍選擇。從操作性的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選為，寬度25mm 550mm，長度25mm 550mm的范圍。本發(fā)明的含纖維的樹脂組合物層的每I層的厚度優(yōu)選在3 ii m 200 ii m的范圍選擇。從層疊體以及層疊板的低熱膨脹化、高彈性模量化的觀點(diǎn)出發(fā)，樹脂組合物的每I層的厚度優(yōu)選為3 150 ii m,更優(yōu)選為10 120 u m,進(jìn)一步優(yōu)選為20 120 u m,特別優(yōu)選為25 110 u m。本發(fā)明的含纖維的樹脂組合物層相對(duì)于層疊體總體優(yōu)選以4 90體積％的比例被含有，更優(yōu)選以10 80體積％，進(jìn)一步優(yōu)選以20 70體積％，尤其優(yōu)選以25 60體積％的比例被含有。另外，本發(fā)明的層疊體以及層疊板至少具有I層的含纖維基材的樹脂組合物層，除此以外還可具有不含纖維基材的樹脂組合物層。不含纖維基材的樹脂組合層，例如可在玻璃層和含纖維基材的樹脂組合物層之間配置，以提高兩層的粘接性等目的而使用。該含纖維的樹脂組合物層的干燥后的樹脂含有率優(yōu)選為20 90質(zhì)量％，更優(yōu)選為25 85質(zhì)量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選為30 80質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為40 70質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為45 70質(zhì)量％。若為20質(zhì)量％以上，則提高加工性及操作性(處理容易性)。若為90質(zhì)量％以下，則纖維基材的含量較多，將該層疊體的含纖維的樹脂組合物層固化而成的層疊板成為低熱膨脹系數(shù)及高彈性的材料。需要說明的是，樹脂含有率是指含纖維的樹脂組合物的總量中的除纖維基材以外的成分量。另外，當(dāng)含纖維的樹脂組合物中含有無機(jī)填充材料時(shí)，優(yōu)選為熱固化性樹脂及無機(jī)填充材料的總計(jì)量的5 75體積％，更優(yōu)選為15 70體積％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 70體積％。若無機(jī)填充材料的含量為熱固化性樹脂及無機(jī)填充材料的總計(jì)量的5 75體積％，則熱膨脹系數(shù)的低減效果充分，且具有適度的流動(dòng)性，從而成形性優(yōu)良。即，若無機(jī)填充材料的含量為5體積％以上，則熱膨脹系數(shù)的低減效果充分，若為75體積％以下，則流動(dòng)性增加從而成形性良好。<不含纖維的樹脂組合物層>不含纖維的樹脂組合物層由含熱固化性樹脂且不含纖維基材的不含纖維的有機(jī)組合物構(gòu)成。該不含纖維的樹脂組合物含熱固化性樹脂，還可進(jìn)一步含有無機(jī)填充材料或其他成分。這些熱固化性樹脂、無機(jī)填充材料，及其他成分的詳細(xì)內(nèi)容與關(guān)于所述含纖維的樹脂組合物進(jìn)行說明的內(nèi)容相同。在使用該不含纖維的樹脂組合物層作為所述第I及第2樹脂組合物層的情況下，從達(dá)到防止玻璃基板層的裂縫、提高操作性(處理容易性)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為3pm以上。另一方面，從確保將該樹脂組合物層固化而成的層疊板的低熱膨脹系數(shù)及高彈性模量的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為40 y m以下。從這些觀點(diǎn)出發(fā)，第I及第2樹脂組合物層的厚度優(yōu)選為3 40iim，更優(yōu)選為10 30iim，進(jìn)一步優(yōu)選為15 25 y m。另外，這些第I及第2樹脂組合物層優(yōu)選地不含無機(jī)填充材料。在本發(fā)明使用不含纖維的樹脂組合物層的情況下，不含纖維的樹脂組合物層相對(duì)于層疊體總體優(yōu)選以I 40體積％的比例被含有，更優(yōu)選以I 30體積％，進(jìn)一步優(yōu)選以I 25體積％的比例被含有。〈玻璃基板層〉作為構(gòu)成玻璃基板層的玻璃基板，從達(dá)成層疊體的薄型化和加工性的觀點(diǎn)考慮，玻璃基板層的每I層的厚度優(yōu)選30 200 ii m的薄型化玻璃膜，考慮到處理的容易性等實(shí)用性，厚度更加優(yōu)選為50 150 u m,進(jìn)一步優(yōu)選為80 120 u m。在此所述的玻璃基板層的 厚度是指玻璃基板層的平均的厚度。玻璃基板層的平均的厚度可使用千分尺、膜厚測(cè)定器等的公知的厚度測(cè)定機(jī)器進(jìn)行測(cè)定。例如，在為長方形或正方形的玻璃基板層的情況下，使用千分尺測(cè)定4角和中央的厚度，將其平均值作為玻璃基板層的平均的厚度進(jìn)行求出。另外，作為玻璃基材的原料，可以使用硅酸堿系玻璃、無堿玻璃、石英玻璃等的玻璃，從低熱膨脹性的觀點(diǎn)考慮優(yōu)選硼硅酸鹽玻璃。對(duì)于本發(fā)明的玻璃基板層的尺寸而言，優(yōu)選在寬度IOmm 1000mm,長度IOmm 3000mm(在以卷狀使用的情況下，長度可適當(dāng)適用)的范圍選擇。從操作性的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選為，寬度25mm 550mm,長度25mm 550mm的范圍。對(duì)于該玻璃基板層的熱膨脹系數(shù)而言，越接近硅片的熱膨脹系數(shù)(3ppm/°C左右)則越能夠抑制層疊體或由該層疊體獲得的層疊板的彎曲，但是其優(yōu)選為8ppm/°C以下，更優(yōu)選為6ppm/°C以下,進(jìn)一步更優(yōu)選為4ppm/°C以下。對(duì)于該玻璃基板層的40°C下的存儲(chǔ)彈性模量而言，其越大越好，但是優(yōu)選為20GPa以上，更優(yōu)選為25GPa以上，進(jìn)一步更優(yōu)選為30GPa以上。該玻璃基板層相對(duì)于層疊體整體優(yōu)選為10 70體積更優(yōu)選為15 70體積％，進(jìn)一步優(yōu)選為20 70體積％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 70體積％，進(jìn)一步優(yōu)選為40 70體積。若玻璃基板層的含量為10體積％以上，則在得到低熱膨脹性、高彈性的層疊體方面有利，相反若玻璃基板層的含量為70體積％以下，則在加工性、操作性(處理的容易性)的點(diǎn)上有利。從同樣的觀點(diǎn)出發(fā)，樹脂組合物層，即含纖維的樹脂組合物層和不含纖維的樹脂組合物層的總量相對(duì)于層疊體總體優(yōu)選為30 90體積％，更優(yōu)選為30 85體積％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 80體積％，進(jìn)一步優(yōu)選為30 70體積，進(jìn)一步優(yōu)選為30 60體積％。〈支承體膜〉上述的層疊體可以在其表面具有支承體膜。對(duì)于該支承體膜，在如下的對(duì)層疊體的制造方法進(jìn)行的說明中將進(jìn)行詳細(xì)地說明。[層疊體的制造方法]上述層疊體的制造方法包含在所述玻璃基板的表面形成所述樹脂固化物膜的樹脂固化物層形成工序。該樹脂固化物層形成工序沒有特別限定，但優(yōu)選為例如，利用使用了真空層合機(jī)、輥壓層合機(jī)等的加壓層積，在玻璃基板上層疊、固化由樹脂組合物構(gòu)成的膜的工序。真空層積、輥壓層積可使用市售的真空層合機(jī)、輥壓層合機(jī)進(jìn)行。需要說明的是，作為上述的樹脂組合物中的熱固化性樹脂，適宜使用在層積時(shí)的溫度以下熔融的材料。例如，在使用真空層合機(jī)或輥壓層合機(jī)進(jìn)行層積的情況下，一般在140°C以下進(jìn)行，所以，熱固化性樹脂優(yōu)選在140°C以下熔融。以下，對(duì)含纖維的樹脂組合物層(半固化片)的制造例，不含纖維的樹脂組合物層的制造例，及利用加壓層積的層疊體的制造例進(jìn)行說明。<含纖維的樹脂組合物層(半固化片)的制造例>半固化片可通過如下方法適宜地獲得，即將含所述熱固化性樹脂及根據(jù)需要的所述無機(jī)填充材料的樹脂組合物含浸或涂布在纖維基材上后，通過加熱干燥使之B階段化(半固化)。該B階段化，通常可通過在100 200°C的溫度下、加熱干燥I 30分鐘左右 來進(jìn)行。作為該樹脂組合物層的涂布裝置，可使用逗點(diǎn)式涂布機(jī)、棒涂機(jī)、吻式涂布機(jī)、輥式涂布機(jī)、凹版涂布機(jī)、模具涂布機(jī)等，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言公知的涂布裝置，優(yōu)選地根據(jù)制作的膜厚進(jìn)行適宜選擇。該半固化片可在支承體膜上形成，另外，可在半固化片中的與支承體膜形成面相反側(cè)的表面上，設(shè)有用于保護(hù)該表面的保護(hù)膜。作為支承體膜，可以列舉出例如聚乙烯、聚氯乙烯等的聚烯烴、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(以下，省略稱作“PET”)、聚萘二甲酸乙二醇酯等的聚酯、聚碳酸酯、聚酰亞胺，進(jìn)一步可以列舉出脫模紙或銅箔、鋁箔等金屬箔等。在使用銅箔作為支承體膜使用的情況下，能夠?qū)~箔直接作為導(dǎo)體層而形成回路。在這種情況下，作為銅箔，可以列舉出壓延銅、電解銅箔等，一般使用厚度為2 y m 36 y m的銅箔。在使用厚度薄的銅箔的情況下，為了提高作業(yè)性，可以使用帶載體銅箔。對(duì)于支承體膜，除了毛面處理、電暈處理之外，也可以實(shí)施脫模處理。支承體膜的厚度通常為10 ii m 150 ii m,優(yōu)選為25 50 ii m。在比IOiim薄的情況下，在處理性方面存在困難。另一方面，支承體膜如所述那樣通常被最終剝離或除去，若厚度超過150 u m，從節(jié)省能量的觀點(diǎn)考慮不優(yōu)選。作為保護(hù)膜，可使用與支承體膜同樣的材料，也可使用不同材料。保護(hù)膜的厚度沒有特別限定，可與支承膜相同，但更優(yōu)選為I 40i!m的范圍。<不含纖維的樹脂組合物層的制造例>作為不含纖維的樹脂組合物層的制造方法的一例，將在有機(jī)溶劑中溶解不含纖維的樹脂組合物，制備清漆。然后，將所述的支承體膜作為支承體，涂布該清漆，并通過加熱、噴吹熱風(fēng)等使有機(jī)溶劑干燥，從而形成不含纖維的樹脂組合物層。另外，在干燥前、干燥中、或干燥后，可對(duì)該不含纖維的樹脂組合物層中未形成有支承體膜的面，設(shè)置所述保護(hù)膜。作為該樹脂組合物層的涂布裝置，可使用逗點(diǎn)式涂布機(jī)、棒涂機(jī)、吻式涂布機(jī)、輥式涂布機(jī)、凹版涂布機(jī)、模具涂布機(jī)等，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言公知的涂布裝置，優(yōu)選地根據(jù)制作的膜厚，進(jìn)行適宜選擇。<基于加壓層積的層疊體的制造例>加壓層積可通過使用真空層合機(jī)、輥壓層合機(jī)這樣的加壓層合機(jī)，將I片的半固化片或多片(例如2 20片)的半固化片重疊而成的半固化片重合體、玻璃基板、以及根據(jù)需要的上述不含纖維的樹脂組合物層進(jìn)行層積來進(jìn)行。真空層積、輥壓層積可使用市售的真空層合機(jī)、輥壓層合機(jī)進(jìn)行。需要說明的是，作為這些半固化片及不含纖維的樹脂組合物層，在使用附著有支承體膜、保護(hù)膜的結(jié)構(gòu)的情況下，將這些支承體膜、保護(hù)膜除去后，再進(jìn)行加壓層積。然而，構(gòu)成層疊體的最表面的半固化片及不含纖維的樹脂組合物層的支承體膜也可不除去，而供給加壓層積。關(guān)于層積的條件，根據(jù)需要將半固化片、玻璃基板、以及根據(jù)需要的不含纖維的組合物層進(jìn)行預(yù)熱，壓接溫度(層積溫度)優(yōu)選為60V 140°C，壓接壓力優(yōu)選為I Ilkgf/cm2，優(yōu)選在這樣的條件下進(jìn)行層積。另外，在使用真空層合機(jī)的情況下，優(yōu)選在空氣壓20mmHg(26. 7hPa)以下的減壓下進(jìn)行層積。另外，層積的方法可以為間歇式，也可以是利用輥進(jìn)行的連續(xù)式。如上述那樣進(jìn)行層積后，冷卻至接近室溫。這樣可制造層疊體。需要說明的是，作為上述的樹脂組合物中的熱固化性樹脂，適宜使用在層積時(shí)的溫度以下熔融的材料。例如，在使用真空層合機(jī)或輥壓層合機(jī)進(jìn)行層積的情況下，一般在140°C以下進(jìn)行，所以，上述樹脂組合物中的熱固化性樹脂優(yōu)選在140°C以下熔融。[層疊板]本發(fā)明的層疊板為包含I層以上的樹脂固化物層及2層以上的玻璃基板層的層疊板，所述I層以上的樹脂固化物層中的至少I層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂固化物構(gòu)成的含纖維的樹脂固化物層，在任意2層所述玻璃基板層之間，存在I層以上的所述樹脂固化物層。對(duì)于本發(fā)明的層疊板的尺寸而言，優(yōu)選在寬度IOmm 1000mm,長度IOmm 3000mm(在以卷狀使用的情況下，長度可適當(dāng)適用)的范圍選擇。從操作性的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選為，寬度25mm 550mm,長度25mm 550mm的范圍。本發(fā)明的層疊板的厚度,根據(jù)其用途,優(yōu)選在35 ii m 20mm的范圍選擇。層疊板的厚度更優(yōu)選為50 1000 u m,進(jìn)一步優(yōu)選為80 600 u m,尤其優(yōu)選為100 500 u m,特別優(yōu)選為110 400 Um0該層疊板優(yōu)選為將上述層疊體的樹脂組合物層制成樹脂固化物層后的結(jié)構(gòu)。此時(shí)，該玻璃基板層以及樹脂組合物的詳細(xì)情況與在前述的關(guān)于層疊體的記載中說明的情況相同。另外，樹脂固化物層的厚度優(yōu)選與前述的樹脂組合物層的厚度等同，層疊板中的樹脂固化物以及玻璃基板層的比例優(yōu)選與前述的層疊體中的樹脂固化物以及玻璃基板層的比例等同。<含纖維的樹脂固化物層>該含纖維的樹脂固化物層的厚度優(yōu)選為3 200 y m。若為3 y m以上，則層疊板的裂縫會(huì)得到抑制。若為200 以下，則相對(duì)地玻璃基板的厚度變大，從而能夠?qū)崿F(xiàn)層疊板的低熱膨脹系數(shù)化及高彈性模量化。根據(jù)該觀點(diǎn)可知，含纖維的樹脂固化物層的厚度更優(yōu)選為3 150 ii m,進(jìn)一步更優(yōu)選為10 120 u m,進(jìn)一步優(yōu)選為20 120 u m,進(jìn)一步優(yōu)選為40 IlOil m。但是，根據(jù)玻璃基板層的厚度和層數(shù)及含纖維的樹脂固化物層的種類和層數(shù)的不同，含纖維的樹脂固化物層的厚度的適當(dāng)范圍有所不同，所以不局限于上述范圍。該含纖維的樹脂固化物層的40°C下的存儲(chǔ)彈性模量優(yōu)選為10 80GPa。若為IOGPa以上，則玻璃基板層得到保護(hù)，層疊板的裂縫得到抑制。若為SOGPa以下，則因玻璃基板層與含纖維的樹脂固化物層的熱膨脹系數(shù)差產(chǎn)生的應(yīng)力得到抑制，從而層疊板的彎曲及裂縫得到抑制。根據(jù)該觀點(diǎn)可知，含纖維的樹脂固化物層的存儲(chǔ)彈性模量優(yōu)選為12 75GPa，更加優(yōu)選為15 70GPa。在層疊板的單面或兩面可以具有銅、鋁或鎳等金屬箔。金屬箔可以用于電絕緣材料用途即可，對(duì)其沒有特殊限制。〈層疊板的特性〉從抑制層疊板的彎曲以及裂縫的觀點(diǎn)出發(fā)，層疊板的40°C下的存儲(chǔ)彈性模量優(yōu)選為10 70GPa，更優(yōu)選為20 60GPa，進(jìn)一步優(yōu)選為25 50GPa，尤其優(yōu)選為25 45GPa。從抑制層疊板的彎曲以及裂縫的觀點(diǎn)出發(fā)，層疊板的50 120°C的范圍中的平均的熱膨脹系數(shù)優(yōu)選為I IOppm/°C,更優(yōu)選為2 8ppm/°C,進(jìn)一步優(yōu)選為2 6ppm/°C,尤 其優(yōu)選為2 5. 5ppm/°C。從抑制層疊板的彎曲以及裂縫的觀點(diǎn)出發(fā)，層疊板的120 190°C的范圍中的平均的熱膨脹系數(shù)優(yōu)選為I 15ppm/°C,更優(yōu)選為2 IOppm/°C,進(jìn)一步優(yōu)選為2 8ppm/°C,尤其優(yōu)選為2 6ppm/°C。[層疊板的制造方法]對(duì)上述的層疊板的制造方法沒有特別限定。以下，對(duì)層疊板的制造方法的具體例進(jìn)行說明。<利用由層積得到的層疊體的加熱固化的制造例>在利用所述的層積得到的層疊體中，通過使樹脂組合物層加熱固化，可制造層疊板。加熱固化的條件可在150°C 220°C下20分鐘 80分鐘的范圍內(nèi)選擇，更優(yōu)選為160°C 200°C下30分鐘 120分鐘。在使用實(shí)施了脫模處理的支承體膜的情況下，也可使之加熱固化后，再剝離支承體膜。通過該方法，由于在層疊板的制造時(shí)無需加壓，可抑制在制造時(shí)產(chǎn)生裂縫。<基于壓合法的制造例>另外，本發(fā)明的層疊板可以通過壓合法來制造。例如，通過壓合法對(duì)利用所述層積獲得的層疊體進(jìn)行加熱、加壓、使其固化，從而能夠制造層疊板。另外，還可通過將I片的半固化片或多片(例如2 20片)的半固化片重疊而成的半固化片重合體、玻璃基板、以及根據(jù)需要的不含纖維的組合物層進(jìn)行重合，通過壓合法進(jìn)行加熱、加壓，使之固化，來制造層疊板。此時(shí)，可在最外側(cè)的半固化片的表面進(jìn)一步添附支承體膜后，通過壓合法進(jìn)行加熱、加壓，使之固化，來制造層疊板。該壓合法從均勻地成形的方面出發(fā)為優(yōu)選，但由于層疊時(shí)玻璃基板容易破裂，層疊條件受到限制。另一方面，如前所述那樣，利用由層積而得到的層疊體的加熱固化(層積法)的制造法在玻璃基板不容易裂縫、生產(chǎn)上容易的方面出發(fā)為優(yōu)選，但隨著含纖維的樹脂組合物和纖維基材的性狀或含量不同，有時(shí)存在成形困難的情況。因此，優(yōu)選地根據(jù)需要將壓合法和層積法靈活使用。[多層層疊板及其制造方法]
本發(fā)明的多層層疊板為包括多個(gè)層疊板的多層層疊板，至少一個(gè)層疊板為前述的本發(fā)明的層疊板。對(duì)于該多層層疊板的制造方法沒有特殊限制。例如，通過重疊、層疊成形多片(例如，2 20片)所述層疊體，能夠制造多層層疊板。具體而言，能夠使用多級(jí)壓合、多級(jí)真空壓合、連續(xù)成形機(jī)、高壓釜成形機(jī)等，在溫度100 250°C左右、壓力2 IOOMPa左右、及加熱時(shí)間0.1 5小時(shí)左右的范圍內(nèi)進(jìn)行成形。[印刷配線板及其制造方法]本發(fā)明的印刷配線板具有上述的層疊板或多層層疊板、和設(shè)置在層疊板或多層層疊板的表面的配線。接下來，對(duì)該印刷配線板的制造方法進(jìn)行說明。〈通孔等的形成〉根據(jù)需要可以通過鉆孔機(jī)、激光、等離子或它們的組合等方法對(duì)上述層疊板進(jìn)行開孔，從而形成通孔或透孔。作為激光，一般使用碳酸氣體激光、YAG激光、UV激光、準(zhǔn)分子激光等。〈導(dǎo)體層的形成〉接下來，通過干式鍍敷或濕式鍍敷在層疊板上形成導(dǎo)體層。作為干式鍍敷，可以使用蒸鍍、濺射、離子鍍敷等公知的方法。對(duì)于濕式鍍敷的情況而言，首先，利用過錳酸鹽(過錳酸鉀、過錳酸鈉等)、重鉻酸鹽、臭氧、過氧化氫/硫酸(即，過氧化氫和硫酸的混合物)、硝酸等的氧化劑對(duì)層疊板的表面進(jìn)行粗化處理，從而形成凸凹的粗面(anchor)。作為氧化劑，特別優(yōu)選使用過錳酸鉀、過錳酸鈉等的氫氧化鈉水溶液(堿性過錳酸水溶液)。接下來，利用將無電解鍍敷和電解鍍敷組合的方法形成導(dǎo)體層。另外，形成與導(dǎo)體層相反圖案的防止鍍敷層，從而能夠僅以無電解鍍敷來形成導(dǎo)體層。需要說明的是，作為層疊體，使用在表面具有由金屬箔構(gòu)成的支承體膜的情況下，能夠省略該導(dǎo)體層的形成工序。〈配線圖案的形成〉作為其后的圖案形成的方法，例如能夠使用公知的脫除法(subtractiveprocess)、半加成法等。[多層印刷配線板及其制造方法]作為上述的印刷配線板的一形態(tài)，可以如上述那樣多層層疊形成了配線圖案的層疊板而作為多層印刷配線板。當(dāng)制造該多層印刷配線板時(shí)，通過將形成有上述配線圖案的層疊板隔著前述的粘接膜進(jìn)行多層層疊而實(shí)現(xiàn)多層化。然后，通過鉆孔機(jī)加工或激光加工形成透孔或盲通孔，通過鍍敷或?qū)щ娦院齽┬纬蓪娱g配線。如此，能夠制造多層印刷配線板。[帶金屬箔的層疊板及多層層疊板、及它們的制造方法]需要說明的是，所述的層疊板及多層層疊板可以為在單面或兩面具有銅、鋁或鎳等金屬箔的帶金屬箔的層疊板及多層層疊板。對(duì)于該帶金屬箔的層疊板的制造方法沒有特殊限制。例如，如前述那樣作為支承體膜使用金屬箔，由此能夠制造帶金屬箔的層疊板。另外，將通過所述層積獲得的層疊體重疊一片或多片(例如2 20片)，利用在其單面或兩面配置有金屬箔的結(jié)構(gòu)進(jìn)行層疊成形，由此能夠制造帶有金屬箔的層疊板。關(guān)于成形條件，能夠適用電絕緣材料用層疊板、多層板的方法，例如，使用多級(jí)壓合、多級(jí)真空壓合，連續(xù)成形機(jī)、高壓釜成形機(jī)在溫度100 250°C左右、壓力2 IOOMPa左右、及加熱時(shí)間0.1 5小時(shí)左右的范圍內(nèi)進(jìn)行成形。<熱膨脹系數(shù)的評(píng)價(jià)方法>層疊板的熱膨脹系數(shù)可使用熱機(jī)械分析裝置(TMA Thermal MecanicalAanlysis)、依賴溫度的三維變位測(cè)定裝置(DIC :Degital Image Correlation)、激光干涉法等的裝置進(jìn)行測(cè)定。<彈性模量的評(píng)價(jià)方法>
對(duì)于層疊板的彈性模量而言，除了利用廣域粘彈性測(cè)定裝置的存儲(chǔ)彈性模量的測(cè)定以外，作為靜態(tài)彈性模量可測(cè)定彎曲彈性模量。彎曲彈性模量可通過進(jìn)行3點(diǎn)彎曲試驗(yàn)等進(jìn)行求出。[實(shí)施例]以下，使用實(shí)施例及比較例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)地說明，但本發(fā)明不受這些記載的限定。需要說明的是，在實(shí)施例及比較例中，“份”及“ ”分別意味著“質(zhì)量份”及“質(zhì)
量％”。<具有不飽和馬來酰亞胺基的樹脂組合物的溶液的制造>向帶有溫度計(jì)、攪拌裝置、回流冷卻管且?guī)侄科鞯哪軌蚣訜峒袄鋮s的容積為2升的反應(yīng)容器中放入4，4’ -雙(4-氨基苯氧基)聯(lián)苯69. 10g，雙(4-馬來酰亞胺苯基)砜429. 90g，對(duì)氨基苯酚41. 00g，及丙二醇單甲基醚360. 00g，在回流溫度下反應(yīng)2小時(shí)，從而獲得具有酸性取代基和不飽和馬來酰亞胺基的樹脂組合物的溶液。<含有熱固化性樹脂組合物的清漆的制造>(I)作為固化劑(A)，使用具有上述不飽和馬來酰亞胺基的樹脂組合物的溶液，(2)作為熱固化性樹脂(B)，使用2官能團(tuán)萘型環(huán)氧樹脂〔大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制，商品名，HP-4032D〕，(3)作為改性咪唑(C)，使用異氰酸酯封閉咪唑(日語4 ^ 7才、一卜7 ^夕4^夕' '/一 > )〔第一工業(yè)制藥(株)制，商品名G8009L〕，(4)作為無機(jī)填充材料(D),使用熔融二氧化娃〔Admatech(株)制，商品名SC2050-KC，濃度70%，一次粒子的平均粒徑500nm，基于BET法的比表面積6. 8m2/g〕，(5)作為賦予阻燃性的含磷化合物(E)，使用含磷酚醛樹脂〔三光化學(xué)(株)制，商品名HCA-HQ，磷含量9. 6質(zhì)量％〕，(6)作為化學(xué)粗化可能的化合物(F)，使用交聯(lián)丁腈橡膠(NBR)粒子[〔JSR(株)制，商品名XER-91),(7)作為稀釋溶劑，使用甲基乙基酮，按照表I所示的配合比例進(jìn)行(質(zhì)量份)混合，從而制作出樹脂含量(樹脂成分的總計(jì))為65質(zhì)量％，溶劑為35質(zhì)量％的均勻的清漆(G)。[表 I]
表 I
_]
權(quán)利要求
1.一種層疊體，其包括I層以上的樹脂組合物層及2層以上的玻璃基板層，所述I層以上的樹脂組合物層中的至少I層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層， 在任意的2層所述玻璃基板層之間，存在I層以上的所述樹脂組合物層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體，其特征在于， 所述玻璃基板層的厚度為30 200 μ m。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層疊體，其特征在于， 所述2層以上的玻璃基板層中，最表面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖右约白罾锩鎮(zhèn)鹊牟ＡЩ鍖臃謩e處于比全部的所述樹脂組合物層更表面的表面?zhèn)纫约案锩娴睦锩鎮(zhèn)取?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于， 所述I層以上的樹脂組合物層包含，與最表面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖拥谋砻娼佑|的第I樹脂組合物層，和與最里面?zhèn)鹊牟ＡЩ鍖拥睦锩娼佑|的第2樹脂組合物層， 所述第I樹脂組合物層及第2樹脂組合物層為由含熱固化性樹脂且不含纖維基材的不含纖維的有機(jī)組合物構(gòu)成的不含纖維的有機(jī)組合物層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的層疊體，其特征在于， 所述第I樹脂組合物層及所述第2樹脂組合物層的厚度為3 40 μ m。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于， 所述含纖維的樹脂組合物層含有無機(jī)填充材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的層疊體，其特征在于， 所述無機(jī)填充材料為選自二氧化硅、氧化鋁、滑石、云母、氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、硼酸鋁及硼硅酸鹽玻璃中的I種或2種以上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于， 所述纖維基材為選自玻璃纖維、聚酰亞胺纖維、聚酯纖維、聚四氟乙烯纖維中的I種以上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的層疊體，其特征在于， 所述熱固化性樹脂為選自環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、不飽和酰亞胺樹脂、氰酸酯樹脂、異氰酸酯樹脂、苯并噁嗪樹脂、氧雜環(huán)丁烷樹脂、氨基樹脂、不飽和聚酯樹脂、烯丙基樹脂、二聚環(huán)戊二烯樹脂、硅酮樹脂、三嗪樹脂及密胺樹脂的I種或2種以上。
10.一種層疊板，其包含I層以上的樹脂固化物層及2層以上的玻璃基板層，所述I層以上的樹脂固化物層中的至少I層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂固化物構(gòu)成的含纖維的樹脂固化物層， 在任意2層所述玻璃基板層之間，存在I層以上的所述樹脂固化物層。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的層疊板，其特征在于， 40°C下的存儲(chǔ)彈性模量為IOGPa 70GPa。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的層疊板，其特征在于，所述層疊板通過將權(quán)利要求1 9中的任意一項(xiàng)所述的層疊體加熱而獲得。
13.—種多層層疊板，其包括多個(gè)層疊板，其中，至少一個(gè)層疊板為權(quán)利要求10 12中任意一項(xiàng)所述的層疊板。
14.一種印刷配線板，其具有權(quán)利要求10 12中任意一項(xiàng)所述的層疊板和設(shè)置在所述層疊板的表面上的配線。
15.一種印刷配線板，其具有權(quán)利要求13所述的多層層疊板和設(shè)置在所述多層層疊板的表面上的配線。
16.—種權(quán)利要求10-12中任一項(xiàng)所述的層疊板的制造方法,其包括在玻璃基板的表面形成樹脂固化物層的樹脂固化物層形成工序。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的層疊板的制造方法，其特征在于， 所述樹脂固化物層形成工序是使用真空層合機(jī)或輥壓層合機(jī)在所述玻璃基板上層疊并固化由所述樹脂組合物構(gòu)成的膜的工序。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的層疊板的制造方法，其特征在于， 所述樹脂固化物層形成工序?yàn)樵谒霾ＡЩ迳吓渲糜伤鰳渲M合物構(gòu)成的膜后，進(jìn)行加壓、固化的工序。
全文摘要
一種層疊體，其包括1層以上的樹脂組合物層及2層以上的玻璃基板層，所述1層以上的樹脂組合物層中的至少1層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂組合物構(gòu)成的含纖維的樹脂組合物層，在任意2層所述玻璃基板層之間，存在1層以上的所述樹脂組合物層。一種層疊板，其包含1層以上的樹脂固化物層及2層以上的玻璃基板層，所述1層以上的樹脂固化物層中的至少1層為由含有熱固化性樹脂及纖維基材的含纖維的樹脂固化物構(gòu)成的含纖維的樹脂固化物層，在任意2層所述玻璃基板層之間，存在1層以上的所述樹脂固化物層。一種印刷配線板，其具有上述的層疊板和設(shè)置在層疊板的表面上的配線。一種層疊板的制造方法，包括在玻璃基板的表面形成樹脂固化物層的樹脂固化物層形成工序。
文檔編號(hào)B32B37/10GK103009720SQ201210356779
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月22日
發(fā)明者青島真裕, 高橋佳弘, 山崎由香, 上方康雄, 村井曜 申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社