專利名稱：：光阻劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明有關(guān)一種光阻劑，藉以獲致一種有效提升顯影后殘膜率及成膜后熱穩(wěn)定性。冊(cè)餘為制造液晶顯示器(LCD)電路或半導(dǎo)體集成電路內(nèi)所用的微小電路圖案，在基板上的一絕緣體層或?qū)щ娊饘賹由暇鶆蚋采w或涂敷一種包括聚合物樹脂，感光化合物與溶劑的光阻組合物，覆蓋或涂敷的基板經(jīng)溫焙以蒸發(fā)溶劑，溫焙過的基板選擇地曝露于某些型式的輻射如紫外線，電子或X-射線，隨后基板經(jīng)顯影產(chǎn)生所預(yù)期圖案，顯影的基板再以蝕刻脫除絕緣體層或?qū)щ娊饘賹樱⒁迫ビ嗔舻墓庾鑴右酝瓿晌⑿D案移轉(zhuǎn)于基板表面上。光阻劑在曝光(UV光)后會(huì)分解的稱為"正型光阻"，反之，曝光后會(huì)硬化聚合的則是"負(fù)型光阻"，彩色光阻劑為負(fù)型光阻劑的一種，與一般光阻材料(如IC光阻材料)最大不同之處在于彩色光阻劑添加了顏料的成分，也是形成色相的來源，亦為LCD平面顯示器彩色化的關(guān)鍵材料；又，負(fù)型光阻微影制程主要包括有(l)基板洗凈(SubstrateClean)=>(2)涂布(Coating)=>(3)減壓干燥(VacuumDry)=>(4)軟烤(pre-baking)=>(5)曝光(exposure)-〉(6)顯影(Developing)-〉(7)硬烤(Post-baking)等步驟。彩色光阻劑技術(shù)上的差異，除了可從涂布特性及光阻與基板附著性兩方面來考量之外，亦必須能夠符合高分辨率領(lǐng)域的需求。在既有的習(xí)知沖支術(shù)領(lǐng)域當(dāng)中，美國US5847015號(hào)專利文獻(xiàn)、US5232634號(hào)專利文獻(xiàn)、US6432614號(hào)專利文獻(xiàn)、US6348298號(hào)專利文獻(xiàn)雖已揭露有不同成分的彩色光劑(負(fù)型光阻劑)；又，彩色光阻的特性顯影后殘膜率及成膜后熱穩(wěn)定性等特性將直接影響彩色濾光片的品質(zhì)以及產(chǎn)能；由于一般混合物并無法輕易的由單一成分的結(jié)構(gòu)預(yù)知所應(yīng)具備的性質(zhì)，因此上述已知的各種負(fù)型光阻劑雖然僅有些微成份的改變，卻能產(chǎn)生截然不同的性質(zhì)，也都具有特定的適用領(lǐng)域；因此如何針對(duì)實(shí)際的用途需求，針對(duì)彩色光阻的相關(guān)特性加以改良必需經(jīng)過不斷的逐漸變易具有近似性質(zhì)的成份結(jié)構(gòu)，探索可能具有所需求特性的結(jié)構(gòu)，進(jìn)而確定各成份的性質(zhì)是否能夠使最終彩色光阻符合實(shí)際的用途需求。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明旨在提供一種可獲致良好顯影后殘膜率及成膜后熱穩(wěn)定性負(fù)型光阻劑。于實(shí)施時(shí)，負(fù)型光阻劑的主要成分為含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂(Resin)、顏料(Pigment)、感光起始劑(Photoinitiator)、單體(Monomer)、溶劑(Solvent),以及添力口劑(Additives);其中，含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂、感光起始劑、單體及溶劑為光阻劑的必要組合，而顏料及添加劑則依實(shí)際用途調(diào)配，可摻入或不摻入光阻劑配方中。含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂至少包含不飽合乙烯基或曱基乙烯基，及由主單體、次單體所聚合而成。其中，主單體可為曱基丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylmethacrylate)、丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylacrylate)、曱基丙烯酸異波羅洲酯(Isobornylmethacrylate)、丙烯酸異波羅洲酯(Isobomylacrylate)中任一種或以上主單體的組合；次單體可為壓克力單體，例如曱基丙烯酸曱酯(Methylmethacrylate)、曱基丙烯酸(Methacrylicacid)、丙烯酸曱酉旨(Methylacrylate)、丙烯酸(Acrylicacid)、甲基丙烯酸苯甲酯(Benzylmethacrylate)、甲基丙烯酸丁酯(Butylmethacrylate)、丙烯酸辛酯(Octylacrylate)等中任一種，或以上次單體的組合。待主單體與次單體聚合后，再行導(dǎo)入不飽合乙烯基或曱基乙烯基而完成該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂。具體實(shí)施方式為能使貴審查委員清楚本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容，以及實(shí)施方式，茲^兌明如下本發(fā)明負(fù)型光阻劑，主要由含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂、顏料、感光起始劑、單體、溶劑，以及添加劑所組成，為一種可獲致良好顯影后殘膜率、成膜后熱穩(wěn)定性及高分辨率的圖像，進(jìn)而能夠應(yīng)用在有高分辨率需求的高分辨率負(fù)型光阻劑。其中，含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂的功能在于附著性、顯影性、顏料分散性、流動(dòng)性、耐熱性、耐化性、解析能力；顏料的功能在于著色及色彩化；感光起始劑的功能在于感光特性、解析能力；單體的功能在于附著性、顯影性、解析能力；溶劑的功能在于縣度與涂布性質(zhì)；添加劑的功能則在于涂布性、流平性及起泡性。其中，含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂、感光起始劑、單體及溶劑為光阻劑的必要組合，而顏料及添加劑則依實(shí)際用途調(diào)配，可摻入或不摻入光阻劑配方中。含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂至少包含不飽合乙烯基或曱基乙烯基，及由主單體、次單體所聚合而成。其中，主單體可為可為曱基丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylmethacrylate)、丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylacrylate)、曱基丙烯酸異波羅洲酯(Isobornylmethacrylate)、丙烯酸異波羅洲酯(Isobomylacrylate)中任一種或以上主單體的組合；次單體可為壓克力單體，例如曱基丙烯酸曱酯(Methylmethacrylate)、曱基丙烯酸(Methacrylicacid)、丙烯酸曱酉旨(Methylacrylate)、丙烯酸(Acrylicacid)、曱基丙烯酸苯曱酯(Benzylmethacrylate)、曱基丙烯酸丁酯(Butylmethacrylate)、丙烯酸辛酯(Octylacrylate)等中任一種，或以上次單體的組合。待主單體與次單體聚合后，再行導(dǎo)入不飽合乙烯基或曱基乙烯基而完成該含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂。其中，主單體，曱基丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylmethacrylate)及丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylacrylate)的結(jié)構(gòu)式如下:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>若R為甲基(methyl),則為甲基丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylmethacrylate);若R為氫(Hydrogen)，則為丙烯酸環(huán)己酯(Cyclohexylaerylate)0主單體，甲基丙烯酸異波羅洲酯(Isobornylmethacrylate)及丙烯酸異波羅洲酯(Isobomylacrylate)的結(jié)構(gòu)式如下<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>若Rl為曱基(methyl)，則為曱基丙烯酸異波羅洲酯(Isobomylmethaciylate);若Rl為氬(Hydrogen)，則為丙烯酸異波羅洲酯(Isobornylacrylate)。其中，該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂包含主單體的摩爾百分比范圍為15%至50%，較佳為20%至40%;次單體的摩爾百分比范圍為20%至50%，較佳為30°/。至50%;而不飽合乙烯基或曱基乙烯基的摩爾百分比范圍為2%至20%，較佳為10%至20%。高分子樹脂在光阻中的重量百分比范圍可以是2%至15%，較佳為3%至10%。顏料可以選擇性的為CI顏料黃(1，3，11,12,13,14，15,16，17，20,24,31,53,55，60，61,65,71,73,74，81，83，93，95,97，98，99，100，101，104,106，108，109，110，113,114,116,117,119，120，126，127,129，138,139，150,151，152，153，154，155,156，166，167，168，175)、CI顏料橙(1，5,13,14，16,17,24,34,36,38，40，43，46，49，51，61,63，64,71，73)、CI顏料紅(1，2，3，4，5，6，7，8，9，10，11，12，14，15，16，2007117,18，19,21，22,23,30,31，32，37,38，40，41，42，48:1，48:2,48:3,48:4,49:1，49:2,50:1，52:1，53:1，57,57:1,57:2，58:2，58:4，60:1，63:1,63:2,64:1，81:1，83，88，90:1,97,101,102，104，105，106，108，112，113，114，122,123，144,146，149，150，151，155,166，168，170,171，172，174，175，176，177，178,179，180，185，187，188，190,193，CI顏料紫(1，19,23,29，32,36，38，39)、CI顏料藍(lán)(1，2,15，15:3，15:4,15:6,16，22，60，66)、CI顏料綠(7,36,37)、CI顏料棕(23，25,28)、CI顏料黑(1，7)的無機(jī)顏料(金屬氧化物或金屬錯(cuò)合物)或有機(jī)顏^)"，或以上顏料的任意混合，但不以此為限。顏料在光阻中的重量百分比范圍可以是2%至15%。單體可為壓克力單體，例如DIPENTAERYTHRITOLHEXAACRYLATE(六乙酸二異戊四醇)，或以非水溶性及水溶性單體區(qū)分，其中，非水溶性單體(water-insolubleMonomer)可以為PENTAERYTHRITOLTRIACRYLATE(戊赤藻糖醇三丙烯酸酯)、TRIMETHYLOLPROPANETRIACRYLATE(三曱基醚丙烷三丙烯酸酯)、TRIMETHYLOLPROPANETRIMETHACRYLATE(三曱基醚丙烷三曱基丙烯酸酯)、TRIS(2-HYDROXYETHYL)ISOCYANURATETRIACRYLATE)(三，二-乙醇異氰酸酯三丙烯酸酯)，(DI-TRIMETHYLOLPROPANETETRAACRYLATE(二，三甲醇丙烷四丙烯酸酯)、DIPENTAERYTHRITOLPENTAACRYLATE(二異戊四醇五丙烯酸酯)、PENTAACRYLATEESTER(五丙烯酸酯)、PENTAERYTHRITOLTETRAACRYLATE)(四乙酸異戊四醇)；DIHEXAERYTHRITOLHEXAACRYLATE(六乙酸二己四醇)、DIPENTAERYTHRITOLHEXAACRYLATE(六乙酸二異戊四醇)，或?yàn)镸uti-fUnctionMonomer(多官能基單體)、Dendritic/Hyper-branchedacrylate。ligomers(樹狀/多叢蔟丙烯酸酉旨寡體)、Hyper-branchedpolyesteracrylates(多叢蔟聚瞇丙烯酸酯)、Urethaneaciylates(氨曱酸乙酯)。水溶性單體(water-solublemonomer)貝寸可為Ethoxylated(聚氧乙烯)(簡稱EO)base和Propoxylated(聚氧丙烯)(簡稱PO)base的單體(monomer);例如為2(2-ETHOXYETHOXY)ETHYLACRYLATE(二-(二-氧乙烯氧乙烯)乙烯基丙烯酸酯、ETHOXYLATED(15)TRIMETHYLOLPROPANETRIACRYLATE(十五聚氧乙烯三曱醇丙烷三丙烯酸酯)、ETHOXYLATED(30)BISPHENOLADIACRYLATE(三十個(gè)氧乙烯二,二-雙對(duì)酚曱烷二丙烯酸酯)、ETHOXYLATED(30)BISPHENOLADIMETHACRYLATE(三十個(gè)氧乙烯二，二-雙對(duì)酚甲烷二曱基丙烯酸酯)、ETHOXYLATED(20)TRIMETHYLOLPROPANETRIACRYLATE(二十個(gè)氧乙烯三曱醇丙烷三丙烯酸酯)、METHOXY乙烯三曱醇丙烷三丙烯酸酯)、METHOXYPOLYETHYLENEGLYCOL(550)MONOMETHACRYLATE(曱基氧五百五十個(gè)氧乙烯單甲基丙烯酸酯)、POLYETHYLENEGLYCOL(200)DIACRYLATE(二百個(gè)氧乙烯二丙烯酸酯)、POLYETHYLENEGLYCOL(400)DIACRYLATE(四百個(gè)氧乙烯二丙烯酸酯)、二甲基丙烯酸酯)、POLYETHYLENEGLYCOL(600)DIACRYLATE(六百個(gè)氧乙烯二丙烯酸酯)、POLYETHYLENEGLYCOL(600)DIMETHACRYLATE(六百個(gè)氧乙烯二曱基丙烯酸酯)、POLYPROPYLENEGLYCOLMONOMETHACRYLATE(聚氧丙烯單甲基丙烯酸酯)，其分子通式如下(a)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>x,y，z數(shù)值可由0至600或600以上，且x+y+z#0。當(dāng)然亦可添加兩種以上單體混合成共單體(co-monomer)。尤其，所使用的單體(Monomer)以水溶性單體混合非水溶性單體為佳，比例范圍非水溶性單體/水溶性單體=95:5至5:95。單體或共單體在光阻中的重量百分比范圍可以是2%至10%。感光起始劑(Photoinitiator),可以選自苯乙酮系化合物(acetophenone)、二苯甲酮(Benzophenone)系4匕合物或二。米峻系4匕合物(bis-imidazole)，或以上感光起始劑任意的混合，但不以此為限。感光起始劑在光阻中的重量百分比范圍可以是1%至10%。溶劑(Solvent)可以為乙二醇丙醚(ethyleneglycolmonopropylether)、二甘醇二曱醚(di-ethyleneglycoldimethylether)、四氫呔喃、乙二醇曱醚(ethyleneglycolmonomethylether)、乙二醇乙醚(ethyleneglycolmonoethylether)、二甘醇一曱醚(di-ethyleneglycolmono-methylether)、二甘醇一乙醚(di-ethyleneglycolmono-ethylether)、二甘醇一丁醚(di-ethyleneglycolmono-butylether)、丙二醇曱醚醋酸酯(propyleneglycolmono-methyletheracetate)、丙二醇乙醚醋酸酉旨(propyleneglycolmono-ethyletheracetate)、丙二醇丙醚醋酸酉旨(propyleneglycolmono-propyletheracetate)、3-乙氧基丙酸乙酉旨(ethyl3-ethoxypropionate)等，或以上溶劑任意的混合，但不以此為限。溶劑在光阻中的重量百分比范圍可以是42%至88%。添加劑一般為顏料分散劑，此為含有顏料的光阻所必需加入的成份，一般為非離子型界面活性劑，舉例如Solsperse39000，Solsperse21000，此分散劑在光阻中的重量百分比范圍可以是1%至14%。H!cHcCHHcCHc=oCHo=coHe如oci一Heo22HeHeHeHeHeHeoHeI十2OHeoc2H-c-R-c2Hob具體的實(shí)施例如下所述，然而，并非以此局限本發(fā)明。高分子樹脂釆用以下的組成，如表1所列表l高分子樹脂的組成<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>其中，比較樹脂l,不含官能基不飽合乙烯基或曱基乙烯基，也不含主單體而僅有含次單體；實(shí)施例樹脂2，含有官能基不飽合曱基乙烯基、主單體甲基丙烯酸環(huán)己酯及次單體；實(shí)施例樹脂3，含有官能基不飽合甲基乙烯基、主單體曱基丙烯酸環(huán)己酯及曱基丙烯酸異波羅洲酉旨，以及次單體。將上述高分子樹脂比較樹脂l、實(shí)施例樹脂2及實(shí)施例樹脂3搭配顏料、顏料分散劑、單體、感光起始劑及溶劑，調(diào)制成光阻配方如表2所列表2光阻配方<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>比較配方1、實(shí)施例配方2及實(shí)施例配方3具有相同的顏料、顏料分散劑、單體、感光起始劑及溶劑組成。其中，比較配方l,以比較樹脂1為高分子樹脂；實(shí)施例配方2以實(shí)施例樹脂2為高分子樹脂；實(shí)施例配方3,以實(shí)施例樹脂3為高分子樹脂。將上述比較配方1、實(shí)施例配方2及實(shí)施例配方3進(jìn)行顯影后殘膜率及成膜后熱穩(wěn)定性測試，結(jié)果如表3所列表3測試結(jié)果<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>其中，將各配方以旋轉(zhuǎn)涂布(SpinCoating,400rpm)方式，涂布于100xl00x0.7mm玻璃基板上，經(jīng)過前烘烤(Pre-baking:100°Cxlmin)、曝光(UVGfflline,100mJ/cm2)、顯影(顯影液沖洗基板60sec,顯影液:DEV-K100,新應(yīng)材公司制作)、熱烤(23(TCx60min)后，進(jìn)行測試結(jié)果。測試方法如下顯影后殘膜率％=(顯影液沖洗60sec后的剩余膜厚/顯影前的原始膜厚)x100%;熱穩(wěn)定性(膜潰縮率％，at230°C，60min)=(熱烤后膜厚/顯影后膜厚)x1000/0。表3的測試結(jié)果顯示，實(shí)施例配方2及實(shí)施例配方3具有良好的顯影后殘膜率，實(shí)施例配方2及實(shí)施例配方3的顯影后殘膜率高達(dá)95%及98%,優(yōu)于比命支配方1的87%;于成膜后熱穩(wěn)定性方面，實(shí)施例配方2及實(shí)施例配方3的熱穩(wěn)定性高達(dá)75%及79%，優(yōu)于比較配方1的70%;因此于總體表現(xiàn)方面，實(shí)施例配方2及實(shí)施例配方3為具有顯影后殘膜率及成膜后熱穩(wěn)定性的負(fù)型光阻劑，優(yōu)于比較配方1的配方組成。如上所述，本發(fā)明提供一種可獲致顯影后殘膜率及成膜后熱穩(wěn)定性的負(fù)型光阻劑，爰依法提呈發(fā)明專利的申請(qǐng)；然而，以上的實(shí)施說明及圖式所示，是本發(fā)明較佳實(shí)施例，并非以此局限本發(fā)明，是以，舉凡與本發(fā)明的構(gòu)造、裝置、特征等近似、雷同者，均應(yīng)屬本發(fā)明的創(chuàng)設(shè)目的及申請(qǐng)專利范圍之內(nèi)。權(quán)利要求1.一種光阻劑，由含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂、感光起始劑、單體以及溶劑所組成；其中，該含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂至少包含不飽合乙烯基或甲基乙烯基，及由主單體、次單體所聚合而成，該主單體為選自甲基丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸異波羅洲酯、丙烯酸異波羅洲酯中任一種或以上主單體的組合；該次單體為壓克力單體。2、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，其中該壓克力單體選自甲基丙烯酸甲酯、曱基丙烯酸、丙烯酸曱酯、丙烯酸、曱基丙烯酸苯甲酯、曱基丙烯酸丁酯、丙烯酸辛酯等中任一種，或以上壓克力單體的組合。3、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，其中該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂待主單體與次單體聚合后，再行導(dǎo)入不飽合乙烯基或曱基乙烯基而完成該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂。4、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，其中該次單體在該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂中為20%至50%的摩爾百分比。5、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，其中該主單體在該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂中為15%至50%的摩爾百分比。6、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，其中該不飽合乙烯基或甲基乙烯基在該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂中為2%至20%的摩爾百分比。7、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂在該光阻劑中為2%至15%重量百分比。8、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該感光起始劑在該光阻劑中為1%至10°/。重量百分比。9、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該單體在該光阻劑中為2%至10。/。重量百分比。10、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該溶劑在該光阻劑中為42%至88%重量百分比。11、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該光阻劑更可包含顏料。12、如權(quán)利要求11所述的光阻劑，該顏料為CI顏料黃、CI顏料橙、CI顏料紅、CI顏料紫、CI顏料藍(lán)、CI顏料綠、CI顏料棕、CI顏料黑的無機(jī)顏料或有機(jī)顏料的任一種，或以上顏料的任意混合。13、如權(quán)利要求11所述的光阻劑，該顏料在該光阻劑中為2%至15%重量百分比。14、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該光阻劑更可包含添加劑。15、如權(quán)利要求14所述的光阻劑，該添加劑在光阻劑中的重量百分比為1%至14%重量百分比。16、如權(quán)利要求14所述的光阻劑，該添加劑為顏料分散劑。17、如權(quán)利要求14所述的光阻劑，該添加劑為非離子型界面活性劑。18、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該單體可為水溶性單體。19、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該單體可為非水溶性單體。20、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該單體可為水溶性單體與非水溶性單體所混合。21、如權(quán)利要求20所述的光阻劑，該水溶性單體在單體中為5°/。至95%重量百分比。22、^口4又利要求20所述的光阻劑，該非7jC〉容'性單體在單體中為5%至95%重量百分比。23、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該感光起始劑為I線光起始劑、苯乙酮系化合物、二苯曱酮系化合物或二咪唑系化合物的任一種或以上光起始劑的任意混合。24、如權(quán)利要求1所述的光阻劑，該溶劑為乙二醇丙醚、二甘醇二曱醚、四氬呋喃、乙二醇曱醚、乙二醇乙醚、二甘醇一曱醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一丁醚、丙二醇曱醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯的任一種或以上溶劑任意的混合。25、一種光阻劑，至少包含含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂，2%至15%重量百分比；感光起始劑，1%至10%重量百分比；單體，2%至10%重量百分比；溶劑，42%至88%重量百分比；該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂至少包含不飽合乙烯基或曱基乙烯基，及由主單體、'次單體所聚合而成，該主單體為選自曱基丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸環(huán)己酯、曱基丙烯酸異波羅洲酯、丙烯酸異波羅洲酯中任一種或以上主單體的組合；該次單體為壓克力單體。26、如權(quán)利要求25所述的光阻劑，其中該壓克力單體選自曱基丙烯酸曱酯、曱基丙烯酸、丙烯酸曱酯、丙烯酸、曱基丙烯酸苯曱酯、曱基丙烯酸丁酯、丙烯酸辛酯等中任一種，或以上壓克力單體的組合。27、如權(quán)利要求25所述的光阻劑，其中該含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂待主單體與次單體聚合后，再行導(dǎo)入不飽合乙烯基或曱基乙烯基而完成該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂。28、一種光阻劑，至少包含含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂，2%至15%重量百分比；顏料，2%至15%重量百分比；感光起始劑，1%至10%重量百分比；單體，2%至10%重量百分比；:容劑，42%至88%重量百分比；添加劑，1%至14%重量百分比；該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂至少包含不飽合乙烯基或曱基乙烯基，及由主單體、次單體所聚合而成，該主單體為選自甲基丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸環(huán)己酯、曱基丙烯酸異波羅洲酯、丙烯酸異波羅洲酯中任一種或以上主單體的組合；該次單體為壓克力單體。29、如權(quán)利要求28所述的光阻劑，其中該壓克力單體選自曱基丙烯酸曱酯、曱基丙烯酸、丙烯酸曱酯、丙烯酸、曱基丙烯酸苯曱酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸辛酯等中任一種，或以上壓克力單體的組合。30、如權(quán)利要求28所述的光阻劑，其中該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂待主單體與次單體聚合后，再行導(dǎo)入不飽合乙烯基或曱基乙烯基而完成該含有不飽合乙烯基或曱基乙烯基的高分子樹脂。全文摘要本發(fā)明的光阻劑為一種新的負(fù)型光阻組成，其主要成分為含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂、顏料、感光起始劑、單體、溶劑，以及添加劑；含有不飽合乙烯基或甲基乙烯基的高分子樹脂由主單體及次單體所聚合而成。主單體可為甲基丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸異波羅洲酯、丙烯酸異波羅洲酯；次單體可為壓克力單體。文檔編號(hào)G03F7/027GK101256361SQ20071007960公開日2008年9月3日申請(qǐng)日期2007年2月26日優(yōu)先權(quán)日2007年2月26日發(fā)明者溫世豪,賴育成,邱貞文,郭光埌,陳健龍申請(qǐng)人:新應(yīng)材股份有限公司