長條鏡安裝裝置制造方法
【專利摘要】本發明提供一種長條鏡安裝裝置，設置于光刻機工件臺的主基板下表面上，該長條鏡安裝裝置通過在長條鏡的中間段施加作用力，從而改變了長條鏡的受力狀態，使長條鏡的最小變形處和最大變形處的差值變小，從而起到了矯正長條鏡的平面度的作用，提高了長條鏡的水平精度，該長條鏡安裝裝置無需很高的長條鏡加工精度，降低了長條鏡的加工難度，也無需增加長條鏡的厚度以克服其自重所帶來的形變，大大節省了長條鏡的材料耗費，減少了成本，并且長條鏡水平精度的提高也使工件臺激光干涉儀的Z向測量精度得以提高。
【專利說明】長條鏡安裝裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及光刻【技術領域】，尤其涉及一種長條鏡安裝裝置。
【背景技術】
[0002]光刻機工件臺Z向運動測量通常采用激光干涉儀，其測量光路通過安裝在微動臺上的45度反射鏡和安裝在主基板下表面的長條鏡反射來實現，此外根據光學反射的原理，長條鏡工作鏡面幾何造成的誤差，通常會導致2倍的測量誤差，因此控制長條鏡工作鏡面水平度十分重要。
[0003]長條鏡屬于一種精密光學元器件，加工精度較為苛刻，通常的加工指標為整個通光范圍內平整度不大于IOOnm,且任意50mmX Ilmm范圍內平整度不大于30nm。由于工件臺在X方向運動行程較大，導致長條鏡的長度也不斷變大(通常為300-400mm)，較狹長的幾何外形導致加工控制工作鏡面的平面度十分困難。常用的長條鏡平面度補償方法是在設計時加厚長條鏡的厚度，控制其受自重導致的變形量，但這樣增加了材料的成本(如使用材料:微晶玻璃)，且效果也不甚明顯。
[0004]于2006年10月31日公布的
【發明者】吳飛, 胡志宏, 彭巍, 吳萍, 袁志揚 申請人:上海微電子裝備有限公司