一種照明系統的制作方法
【專利摘要】本發明涉及一種照明系統，包括依次排列的光源、橢球碗組件、耦合透鏡組、折轉模塊、微透鏡陣列、石英棒、中繼透鏡組以及照明對象，所述折轉模塊的入光端為正方形，所述折轉模塊的出光端與所述石英棒的入光端形狀相同，所述光源發出的光經所述橢球碗組件的會聚后進入所述耦合透鏡組，再經過所述折轉模塊、微透鏡陣列以及石英棒的多次反射勻光后進入所述中繼透鏡組，最終成像在照明對象上。本發明通過在照明系統中增加折轉模塊，所述折轉模塊的入光端為正方形，出光端為長方形，這樣，既提高了照明系統掩模面的光瞳均勻度，同時提高了系統的能量耦合效率。
【專利說明】—種照明系統

【技術領域】
[0001]本發明涉及光刻機領域，尤其涉及一種照明系統。

【背景技術】
[0002]投影式光刻機是一種將掩模面圖案轉移到基板面/硅片面形成所需要的圖案，進而集成出需要的集成電路(IC)的設備。其中，照明系統為光刻機掩模面提供均勻的照明光斑，是光刻機的能量來源，掩模面的光斑能量和光瞳均勻度是照明系統的重要指標，光斑能量的大小決定了光刻機的產率，而光瞳均勻度決定了光刻機曝光時曝光線條方向性寬度的相對差異，間接地影響到光刻機的分辨率。對于大視場的掃描光學曝光系統，其曝光視場大多為長方形結構，因為視場尺寸的不對稱性，其光瞳均勻度普遍低于對稱結構的視場，請參考圖1，當曝光視場為長方形結構時，掩模面的光瞳均勻度為7%。
[0003]目前，主要有三種方式提高光瞳的均勻度:一種是采用濾光的方式，具體請參考圖2，該裝置由一系列濾波片I拼合組成，在各個濾波片I上安裝能量探測器(圖中未示出)，通過能量探測器探測該處的能量相對大小，將該探測數據反饋至控制系統(圖中未示出)，控制系統控制驅動元件2對濾波片I的相對位置進行調整，從而實現對光瞳均勻度的調節。該裝置將濾波片I調入光路來實現光瞳均勻度補償，其補償精度受能量探測器的檢測精度的影響，且濾波片I的透過濾受溫度的影響，大角度光線被濾除，系統掩模面的照度受濾波片I濾光的影響而降低，且系統復雜，可靠性不高；
[0004]第二種是采用擋光的方式以減少邊沿大角度光線比例，提高光瞳均勻度，利用不同尺寸擋光片的相對位置變化，使擋光片的陰影尺寸和相對位置變化，改變所處區域的光強分布，從而矯正光瞳均勻度。該方案利用擋光片使光散射，改變光強的區域分布和角度分布，擋光片會大大降低光路中能量的通過率，影響到系統的產率，并且對于長方形視場的曝光系統而言，該方案的能量耦合效果太低。
[0005]如圖3所示，另外一種方式是在長方形端口石英棒3的前端設置正方形光闌4，將系統的入射窗口矯正為對稱結構的一種光瞳矯正方案。該方案因為將石英棒3入光端改變為正方形的對稱結構，可以大幅度提高系統的光瞳均勻度，請參考圖4，此時掩模面的光瞳均勻度達到了 0.8%，但對于長方形的入光端，這種正方形光闌4相對于石英棒3的入光端尺寸較小，大大地降低了石英棒3的能量耦合效率，大幅度降低了系統的掩模面照度。


【發明內容】

[0006]本發明提供一種照明系統，以提高長方形視場照明系統掩模面光瞳均勻度的同時，提高能量耦合效率。
[0007]為解決上述技術問題，本發明提供一種照明系統，包括依次排列的光源(圖5中未畫出)、石英棒以及照明對象，還包括折轉模塊，所述折轉模塊設置在所述光源和所述石英棒之間。
[0008]較佳地，還包括橢球碗組件、耦合透鏡組、微透鏡陣列、中繼透鏡組，他們依次的排列順序是所述光源、所述橢球碗組件、所述耦合透鏡組、所述折轉模塊、所述微透鏡陣列、所述石英棒、所述中繼透鏡組以及所述照明對象。
[0009]較佳地，所述折轉模塊的入光端為正方形，所述折轉模塊的出光端與所述石英棒的入光端截面形狀相同。
[0010]較佳地，所述折轉模塊包括第一棱柱、第二棱柱、第一直角棱鏡、第二直角棱鏡、第三直角棱鏡以及第四直角棱鏡，所述第一棱柱的長寬高比為2L:2L:L，所述第二棱柱的長寬高比為2L:L:L，所述第一直角棱鏡的厚度及兩條直角邊的長度比為2L:L:L，所述第二直角棱鏡與所述第一直角棱鏡的尺寸相同，所述第三直角棱鏡的厚度及兩條直角邊的長度比為2L:2L:L，所述第四直角棱鏡與所述第三直角棱鏡的尺寸相同。
[0011]較佳地，射入所述折轉模塊的入光端的一部分光線依次經過第一棱柱、第一直角棱鏡以及第二直角棱鏡，然后射出所述折轉模塊；射入所述折轉模塊的入光端的另一部分光線依次經過第三直角棱鏡、第四直角棱鏡以及第二棱柱，然后射出所述折轉模塊。
[0012]較佳地，在右側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在左側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在上部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在下部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0013]較佳地,所述第一直角棱鏡、第二直角棱鏡、第三直角棱鏡和第四直角棱鏡的斜面鍍反射膜，所述第一棱柱、第二棱柱的入光端和所述第一直角棱鏡、第二直角棱鏡、第三直角棱鏡和第四直角棱鏡的入光端鍍增透膜。
[0014]較佳地，在左側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在右側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在上部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在下部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0015]較佳地，在右側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在左側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在下部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在上部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0016]較佳地，在左側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在右側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在下部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在上部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0017]較佳地，所述折轉模塊的入光端位于所述耦合透鏡組的像方焦面處。
[0018]較佳地，所述折轉模塊的入光端位于所述橢球碗組件的焦點處，所述耦合透鏡組的物方焦面與所述折轉模塊的出光端重合。
[0019]較佳地，所述光源和耦合透鏡組的物方焦面分別位于橢球碗組件的兩個焦點上。
[0020]較佳地，所述中繼透鏡組的物方焦面與所述石英棒的出光端重合。
[0021]較佳地，所述照明對象位于所述中繼透鏡組的像方焦面處。
[0022]較佳地，所述耦合透鏡組包括依次排列的耦合前組、濾波片和耦合后組，所述耦合前組和耦合后組分別包括三個球面，所述耦合前組和耦合后組的光焦度均為正。
[0023]較佳地，所述中繼透鏡組包括依次排列的第一中繼組、第二中繼組和第三中繼組。
[0024]較佳地，所述光源為高壓汞燈。
[0025]較佳地，所述照明系統還包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡位于所述橢球碗組件與所述耦合透鏡組之間，所述第二反射鏡位于所述中繼透鏡組和所述照明對象之間。
[0026]較佳地，所述第一反射鏡和第二反射鏡分別為冷光鏡。
[0027]與現有技術相比，本發明提供的一種照明系統具有如下優點:
[0028]1.所述折轉模塊的入光端為正方形，即對稱結構，從而提高了系統的光瞳均勻度；
[0029]2.所述折轉模塊采用反射和折射組件，系統的能量損失較小；
[0030]3.所述折轉模塊的出光端為長方形，與石英棒的形狀和大小相同，大幅度提高了系統的能量耦合效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]圖1為曝光視場為長方形時掩模面光瞳均勻度仿真圖；
[0032]圖2為現有技術的采用濾波片的光瞳均勻度矯正裝置結構示意圖；
[0033]圖3為現有技術的采用正方形光闌的光瞳均勻度矯正裝置結構示意圖；
[0034]圖4為采用圖3所示結構時掩模面光瞳均勻度仿真圖；
[0035]圖5為本發明一【具體實施方式】的照明系統的結構示意圖；
[0036]圖6a?6d為本發明一【具體實施方式】的照明系統中折轉模塊的結構示意圖；
[0037]圖7為本發明一【具體實施方式】的照明系統中耦合透鏡組的結構示意圖；
[0038]圖8為本發明一【具體實施方式】的照明系統中中繼透鏡組的結構示意圖；
[0039]圖9為本發明一【具體實施方式】的照明系統掩模面光瞳均勻度仿真圖；
[0040]圖10折轉模塊的第一種變形方案(其中箭頭代表“物”)側前視圖；
[0041]圖11折轉模塊的第一種變形方案(其中箭頭代表“物”)側后視圖；
[0042]圖12折轉模塊的第二種變形方案(其中箭頭代表“物”)側前視圖；
[0043]圖13折轉模塊的第二種變形方案(其中箭頭代表“物”)側后視圖；
[0044]圖14折轉模塊的第三種變形方案(其中箭頭代表“物”)側前視圖；
[0045]圖15折轉模塊的第三種變形方案(其中箭頭代表“物”)側后視圖。
[0046]圖2中:1-濾光片、2-驅動元件；
[0047]圖3中:3-石英棒、4-正方形光闌；
[0048]圖5?圖8中:10_橢球碗組件、20-耦合透鏡組、21-耦合前組、22-濾波片、23-耦合后組、30-折轉模塊、31-第一棱柱、32-第二棱柱、33-第一直角棱鏡、34-第二直角棱鏡、35-第三直角棱鏡、36-第四直角棱鏡、40-微透鏡陣列、50-石英棒、60-中繼透鏡組、61-第一中繼組、62-第二中繼組、63-第三中繼組、70-照明對象、80-第一反射鏡、90-第二反射鏡。

【具體實施方式】
[0049]為了更詳盡的表述上述發明的技術方案，以下列舉出具體的實施例來證明技術效果；需要強調的是，這些實施例用于說明本發明而不限于限制本發明的范圍。
[0050]實施例1
[0051]本發明提供的一種照明系統，如圖5至圖9所示，包括依次排列的光源(圖5中未畫出)、橢球碗組件10、耦合透鏡組20、折轉模塊30、微透鏡陣列40、石英棒50、中繼透鏡組60以及照明對象70，較佳地，所述光源為高壓汞燈，所述橢球碗組件10為橢球碗反射鏡，所述折轉模塊30的入光端為正方形,所述折轉模塊30的出光端與所述石英棒50的入光端的形狀相同，所述光源發出的光經所述橢球碗組件10的會聚后進入所述耦合透鏡組20，再經過所述折轉模塊30、微透鏡陣列40以及石英棒50的多次反射勻光后進入所述中繼透鏡組60，最終成像在照明對象70上。本發明通過在照明系統中增加折轉模塊30，所述折轉模塊30的入光端為正方形，出光端為長方形，這樣，既提高了照明系統掩模面的光瞳均勻度，同時提高了系統的能量耦合效率。
[0052]較佳地，請重點參考圖5，所述光源和耦合透鏡組20的物方焦面分別位于橢球碗組件10的兩個焦點上，所述折轉模塊30的入光端位于所述耦合透鏡組20的像方焦面處，所述微透鏡陣列40位于所述折轉模塊30的出光端和所述石英棒50的入光端之間，所述中繼透鏡組60的物方焦面與所述石英棒50的出光端重合，所述照明對象70位于所述中繼透鏡組60的像方焦面處。這樣，所述光源發出的光經過所述橢球碗組件10的會聚后進入耦合透鏡組20，在所述耦合透鏡組20的像方焦面位置設置折轉模塊30，經過所述折轉模塊30調節的光束經所述微透鏡陣列40和石英棒50的多次反射勻光后進入中繼透鏡組60，經過所述中繼透鏡組60的放大、傳輸作用后成像在照明對象70上，最終在所述照明對象70(本實施例中為掩模板)上形成所需的具有一定數值孔徑、尺寸、視場均勻度和光瞳均勻度的照明光斑。
[0053]需要說明的是，所述物方焦面為經過光學元件入射方向上的焦點且垂直于系統主光軸的平面；相對應的，所述像方焦面為經過光學元件出射方向上的焦點且垂直于系統主光軸的平面。
[0054]較佳地，請重點參考圖6a至圖6d，所述折轉模塊30包括第一棱柱31、第二棱柱32、第一直角棱鏡33、第二直角棱鏡34、第三直角棱鏡35以及第四直角棱鏡36，所述第一棱柱31的長寬高比為2L:2L:L,所述第二棱柱32的長寬高比為2L:L:L，所述第一直角棱鏡33的厚度及兩條直角邊的長度比為2L:L:L，所述第二直角棱鏡34與所述第一直角棱鏡33的尺寸完全相同，所述第三直角棱鏡35的厚度及兩條直角邊的長度比為2L:2L:L，所述第四直角棱鏡36與所述第三直角棱鏡35的尺寸完全相同，在本實施例中，所述石英棒50的入光端尺寸為25*100mm，則，選取L=25mm，這樣，所述折轉模塊30的入光端為50*50mm，而若采用現有技術中的正方形光闌的方案，其正方形光闌的尺寸最大為25*25mm，面積僅為本發明的四分之一，所以，只要折轉模塊30的入光端均處于耦合透鏡組的像方焦面處，則折轉模塊30就可以大幅度提升入光端的面積，使石英棒50的能量耦合效率大幅度提升。當然，可根據所述石英棒50入光端的具體尺寸對L的數值大小進行選擇。
[0055]較佳地，請繼續重點參考圖6a至圖6d，在右側所述第一棱柱31中長寬分別為L*2L的一個面與左側所述第三直角棱鏡35的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊30的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在上部所述第二棱柱32中長寬分別為L*2L的一個面與在下部所述第二直角棱鏡34的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊30的出光端，其長寬分別為L*4L,較佳地,光束從所述入光端射入,一部分照射在所述第一棱柱31上,經所述第一直角棱鏡33的斜面的反射進入所述第二直角棱鏡34的一個直角面，再經由所述第二直角棱鏡34的斜面的反射從所述第二直角棱鏡34的另一個長寬分別為L*2L的直角面射出；另一部分照射在所述第三直角棱鏡35的一個長寬分別為L*2L的直角面上，在所述第三直角棱鏡35的斜面發生反射，進入所述第四直角棱鏡36的一個直角面，并在所述第四直角棱鏡36的斜面的反射作用下射入所述第二棱柱32中并射出。這樣，從第一棱柱31和第三直角棱鏡35組成的正方形的入光端射入的光束，經多次反射和透射后，變為從所述第二直角棱鏡34和第二棱柱32組成的長方形的出光端射出的光束。
[0056]較佳地，請繼續參考圖6a至圖6d，所述第一、第二、第三和第四直角棱鏡33、34、35,36的斜面鍍反射膜，所述第一、第二棱柱31、32的入光端和所述第一、第二、第三和第四直角棱鏡33、34、35、36的入光端鍍增透膜，進一步提高能量的耦合效率。
[0057]較佳地，請重點參考圖5，所述照明系統還包括第一反射鏡80和第二反射鏡90，較佳地，所述第一反射鏡80和第二反射鏡90分別為冷光鏡，所述第一反射鏡80位于所述橢球碗組件10與所述耦合透鏡組20之間，所述第二反射鏡90位于所述中繼透鏡組60和所述照明對象70之間，經所述橢球碗組件10反射的光束經所述第一反射鏡80的反射，照射到所述耦合透鏡組20上；經所述中繼透鏡組60處理的光束經所述第二反射鏡90的反射，照射到所述照明對象70上，所述第一反射鏡80和第二反射鏡90可以改變光束的傳播方向，縮小本發明的照明系統所占用的空間。
[0058]較佳地，請重點參考圖7，所述耦合透鏡組20包括依次排列的耦合前組21、濾波片22和耦合后組23，所述耦合前組21和耦合后組23分別包括三個球面，所述耦合前組21和耦合后組23的光焦度均為正，所述耦合前組21將入射到所述濾波片22的光線的入射角調整到小于6°，使得濾波片22保持較好的濾光效果，再經由所述透鏡后組23將光線會聚到所述折轉模塊30的入光端。
[0059]較佳地，請重點參考圖8，所述中繼透鏡組60包括依次排列的第一中繼組61、第二中繼組62和第三中繼組63，所述中繼透鏡組60對多波長的質心光線與光軸的夾角進行優化，實現多波長光線共同作用的質心遠心照明，提供的遠心值更精確、更貼合實際。
[0060]請參考圖9，利用本發明的照明系統得到的掩模面光瞳均勻度仿真圖，其光瞳均勻度為0.85%,與圖4所不的米用正方形光闌方法得到的光瞳均勻度相近,但相對于正方形光闌方法的掩模面照度提高了 25% (受耦合透鏡組20出光端光斑大小的限制，并且耦合透鏡組20像方焦面處光斑能量不均勻，照度提升沒有達到4倍的效果)。由此可知，本發明的照明系統在保證了照明視場光瞳均勻度的前提下，增大了照明視場內邊緣視場的理論數值孔徑，提升了邊緣視場的光照強度，從而補償了由于鍍膜工藝條件、石英棒50的棱邊和棱角的毛邊漫反射以及漏光等因素引起的照明視場內光照強度中間視場高邊緣視場低的影響，進一步有效地保證了照明視場內光照強度的均勻度。
[0061]實施例2
[0062]本實施例相對于實施例1的區別點在于，所述耦合透鏡組的位置設置不同。
[0063]具體地，所述光源和耦合透鏡組20的物方焦面分別位于橢球碗組件10的兩個焦點上，所述折轉模塊30的入光端位于所述橢球碗組件10的焦點處,所述稱合透鏡組20的物方焦面與所述折轉模塊30的出光端重合，所述微透鏡陣列40位于所述折轉模塊30的出光端和所述石英棒50的入光端之間，所述中繼透鏡組60的物方焦面與所述石英棒50的出光端重合，所述照明對象70位于所述中繼透鏡組60的像方焦面處。本實施例能夠在實現提高長方形端面的石英棒50的系統掩模面照度并提高掩模面光瞳均勻度的目標的同時，得到較大的光斑，當然，實施時，可根據不同的光斑需求對實施例1和實施例2進行選擇。
[0064]實施例3
[0065]請參考圖10、11，作為折轉模塊的第一種變形，在左側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在右側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在上部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在下部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0066]射入所述折轉模塊的入光端的一部分光線依次經過第一棱柱、第一直角棱鏡以及第二直角棱鏡，然后射出所述折轉模塊；射入所述折轉模塊的入光端的另一部分光線依次經過第三直角棱鏡、第四直角棱鏡以及第二棱柱，然后射出所述折轉模塊。
[0067]實施例4
[0068]請參考圖12、13，作為折轉模塊的第二種變形，在右側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在左側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在下部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在上部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0069]射入所述折轉模塊的入光端的一部分光線依次經過第一棱柱、第一直角棱鏡以及第二直角棱鏡，然后射出所述折轉模塊；射入所述折轉模塊的入光端的另一部分光線依次經過第三直角棱鏡、第四直角棱鏡以及第二棱柱，然后射出所述折轉模塊。
[0070]實施例5
[0071]請參考圖14、15，作為折轉模塊的第三種變形，在左側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在右側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在下部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在上部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
[0072]射入所述折轉模塊的入光端的一部分光線依次經過第一棱柱、第一直角棱鏡以及第二直角棱鏡，然后射出所述折轉模塊；射入所述折轉模塊的入光端的另一部分光線依次經過第三直角棱鏡、第四直角棱鏡以及第二棱柱，然后射出所述折轉模塊。
[0073]綜上所述，本發明提供的一種照明系統，包括依次排列的光源、橢球碗組件10、耦合透鏡組20、折轉模塊30、微透鏡陣列40、石英棒50、中繼透鏡組60以及照明對象70，所述折轉模塊30的入光端為正方形,所述折轉模塊30的出光端與所述石英棒50的入光端形狀相同，所述光源發出的光經所述橢球碗組件10的會聚后進入所述耦合透鏡組20，再經過所述折轉模塊30、微透鏡陣列40以及石英棒50的多次反射勻光后進入所述中繼透鏡組60，最終成像在照明對象70上。本發明通過在照明系統中增加折轉模塊30，所述折轉模塊30的入光端為正方形，出光端為長方形，這樣，既提高了照明系統掩模面的光瞳均勻度，同時提高了系統的能量耦合效率。
[0074]顯然，本領域的技術人員可以對發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發明也意圖包括這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種照明系統，包括依次排列的光源、石英棒以及照明對象，其特征在于，還包括折轉模塊，所述折轉模塊設置在所述光源和所述石英棒之間。
2.如權利要求1所述的一種照明系統，其特征在于，還包括橢球碗組件、耦合透鏡組、微透鏡陣列、中繼透鏡組，他們依次的排列順序是所述光源、所述橢球碗組件、所述耦合透鏡組、所述折轉模塊、所述微透鏡陣列、所述石英棒、所述中繼透鏡組以及所述照明對象。
3.如權利要求2所述的一種照明系統，其特征在于，所述折轉模塊的入光端為正方形，所述折轉模塊的出光端與所述石英棒的入光端截面形狀相同。
4.如權利要求3所述的一種照明系統，其特征在于，所述折轉模塊包括第一棱柱、第二棱柱、第一直角棱鏡、第二直角棱鏡、第三直角棱鏡以及第四直角棱鏡，所述第一棱柱的長寬高比為2L:2L:L，所述第二棱柱的長寬高比為2L:L:L，所述第一直角棱鏡的厚度及兩條直角邊的長度比為2L:L:L，所述第二直角棱鏡與所述第一直角棱鏡的尺寸相同，所述第三直角棱鏡的厚度及兩條直角邊的長度比為2L:2L:L，所述第四直角棱鏡與所述第三直角棱鏡的尺寸相同。
5.如權利要求4所述的一種照明系統,其特征在于,射入所述折轉模塊的入光端的一部分光線依次經過第一棱柱、第一直角棱鏡以及第二直角棱鏡，然后射出所述折轉模塊；射入所述折轉模塊的入光端的另一部分光線依次經過第三直角棱鏡、第四直角棱鏡以及第二棱柱，然后射出所述折轉模塊。
6.如權利要求5所述的一種照明系統，其特征在于，在右側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在左側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在上部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在下部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
7.如權利要求6所述的一種照明系統,其特征在于，所述第一直角棱鏡、第二直角棱鏡、第三直角棱鏡和第四直角棱鏡的斜面鍍反射膜，所述第一棱柱、第二棱柱的入光端和所述第一直角棱鏡、第二直角棱鏡、第三直角棱鏡和第四直角棱鏡的入光端鍍增透膜。
8.如權利要求5所述的一種照明系統，其特征在于，在左側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在右側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在上部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在下部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
9.如權利要求5所述的一種照明系統，其特征在于，在右側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在左側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在下部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在上部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
10.如權利要求5所述的一種照明系統，其特征在于，在左側所述第一棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在右側所述第三直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的入光端，其長寬分別為2L*2L ;在下部所述第二棱柱中長寬分別為L*2L的一個面與在上部所述第二直角棱鏡的一個長寬分別為L*2L的面組成所述折轉模塊的出光端，其長寬分別為L*4L。
11.如權利要求2所述的一種照明系統，其特征在于，所述折轉模塊的入光端位于所述耦合透鏡組的像方焦面處。
12.如權利要求2所述的一種照明系統，其特征在于，所述折轉模塊的入光端位于所述橢球碗組件的焦點處，所述耦合透鏡組的物方焦面與所述折轉模塊的出光端重合。
13.如權利要求2至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，所述光源和耦合透鏡組的物方焦面分別位于橢球碗組件的兩個焦點上。
14.如權利要求2至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，所述中繼透鏡組的物方焦面與所述石英棒的出光端重合。
15.如權利要求2至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，所述照明對象位于所述中繼透鏡組的像方焦面處。
16.如權利要求2至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，所述耦合透鏡組包括依次排列的耦合前組、濾波片和耦合后組，所述耦合前組和耦合后組分別包括三個球面，所述耦合前組和耦合后組的光焦度均為正。
17.如權利要求2至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，所述中繼透鏡組包括依次排列的第一中繼組、第二中繼組和第三中繼組。
18.如權利要求1至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，所述光源為高壓汞燈。
19.如權利要求2至12中任一所述的一種照明系統，其特征在于，還包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡位于所述橢球碗組件與所述耦合透鏡組之間，所述第二反射鏡位于所述中繼透鏡組和所述照明對象之間。
20.如權利要求19所述的一種照明系統，其特征在于，所述第一反射鏡和第二反射鏡分別為冷光鏡。
【文檔編號】G03F7/20GK104423174SQ201310380266
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月27日 優先權日:2013年8月27日
【發明者】景磊, 湛賓洲 申請人:上海微電子裝備有限公司