技術(shù)總結(jié)
檢查裝置(100)用于測量襯底上的目標(biāo)。相干輻射跟隨用于照射目標(biāo)(T)的照射路徑(實線)。收集路徑(虛線)收集來自目標(biāo)的衍射輻射并且將其傳遞至鎖定圖像檢測器(112)。參考束跟隨參考路徑(點線)。聲光調(diào)制器(108)偏移參考束的光學(xué)頻率，使得鎖定檢測器處的輻射的強度包括時變分量，其具有與衍射輻射與參考輻射的頻率之間的差相對應(yīng)的特征頻率。鎖定圖像檢測器記錄表示時變分量的幅度和相位的二維圖像信息。具有不同偏移(110)的第二參考束跟隨第二參考路徑(點劃線)。兩個參考束之間的敢騷擾可用于強度標(biāo)準(zhǔn)化。

技術(shù)研發(fā)人員：A·辛格;H·P·M·佩萊曼斯;P·沃納爾
受保護的技術(shù)使用者：ASML荷蘭有限公司
文檔號碼：201580037024
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.19
技術(shù)公布日：2017.05.10