本案是分案申請(qǐng)。該分案的母案是申請(qǐng)日為2011年11月4日、申請(qǐng)?zhí)枮?01180061580.X、發(fā)明名稱為“MEMS致動(dòng)器對(duì)準(zhǔn)”的發(fā)明專利申請(qǐng)案。

相關(guān)申請(qǐng)案

本申請(qǐng)案為2010年11月15日申請(qǐng)的第12/946,680號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)案的部分接續(xù)案，所述專利申請(qǐng)案以全文引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明整體涉及致動(dòng)器，且更特定來說，涉及并入有適于在(例如)小型相機(jī)或其它裝置中使用的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)致動(dòng)器的透鏡鏡筒。

背景技術(shù)：

用于在小型相機(jī)中使用的致動(dòng)器是眾所周知的。此類致動(dòng)器通常包括音圈，其用于移動(dòng)透鏡以聚焦、變焦或光學(xué)圖像穩(wěn)定。

小型相機(jī)用于多種不同電子裝置中。例如，小型相機(jī)通常用于蜂窩式電話、膝上型計(jì)算機(jī)及監(jiān)視裝置中。小型相機(jī)可具有許多其它應(yīng)用。

常常期望減小小型相機(jī)的大小。隨著電子裝置的大小持續(xù)減小，小型相機(jī)(其為此類電子裝置的部分)的大小通常也必須減小。

此外，期望增強(qiáng)此類小型相機(jī)的抗沖擊性能。隨著小型相機(jī)的大小減小，在制造相機(jī)時(shí)經(jīng)常必須使用更小、更精密的組件。由于此類消費(fèi)品通常會(huì)受到實(shí)質(zhì)性違規(guī)操作(例如粗暴操作及掉落)，因此必須保護(hù)小型相機(jī)的組件免于與此類違規(guī)操作相關(guān)聯(lián)的沖擊的損害。

例如，小型相機(jī)及其它裝置經(jīng)常并入有通常與透鏡鏡筒的光軸共軸對(duì)準(zhǔn)而沿著所述光軸而布置的透鏡鏡筒，即，含有光學(xué)元件(例如，透鏡、光圈、快門、成像儀及類似者)的細(xì)長(zhǎng)管狀結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)例中，可能需要相對(duì)于這些元件中的其它者而可選擇地移動(dòng)這些元件中的一者或一者以上(例如)以獲得特定效果，例如聚焦及變焦效果。因此，隨著并入有透鏡鏡筒的小型相機(jī)及其它裝置的大小減小且減小到必須保護(hù)其免受粗暴操作的沖擊的損害的程度，就產(chǎn)生了對(duì)大小減小的仍能夠承受此類違規(guī)操作的透鏡鏡筒的對(duì)應(yīng)需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了并入有在(例如)小型相機(jī)或其它裝置中使用的經(jīng)同心對(duì)準(zhǔn)的線性致動(dòng)器裝置的透鏡鏡筒，其有效地實(shí)現(xiàn)前述及其它有利目標(biāo)。

在一個(gè)實(shí)例實(shí)施例中，一種用于使致動(dòng)器裝置相對(duì)于鄰近組件(例如致動(dòng)器模塊的后蓋或固定透鏡)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的方法包括：將多個(gè)徑向延伸的凸片安置在致動(dòng)器裝置的外周邊；將對(duì)應(yīng)的多對(duì)凸起安裝特征安置在鄰近組件的前表面上，每一對(duì)凸起安裝特征界定具有在配置上與所述凸片中的對(duì)應(yīng)者的相應(yīng)側(cè)壁互補(bǔ)的側(cè)壁的狹槽；及將所述凸片中的相應(yīng)者插入到所述狹槽中的對(duì)應(yīng)者中。

在另一實(shí)施例中，致動(dòng)器模塊包括具有安置在其外周邊的多個(gè)徑向延伸的凸片的致動(dòng)器裝置以及具有安置在其前表面上的對(duì)應(yīng)的多對(duì)凸起安裝特征的后蓋，每一對(duì)特征界定具有在配置上與所述凸片中的對(duì)應(yīng)者的相應(yīng)側(cè)壁互補(bǔ)的側(cè)壁的狹槽，每一狹槽具有插入在其中的凸片的相應(yīng)一者。

在又一實(shí)施例中，透鏡鏡筒包括：細(xì)長(zhǎng)鏡筒；致動(dòng)器裝置，其具有安置在其外周邊的多個(gè)徑向延伸的凸片；以及固定透鏡，其同心地安置在鏡筒內(nèi)，所述透鏡具有安置在其前表面上的多對(duì)凸起安裝特征，每一對(duì)特征界定具有在配置上與所述凸片中的對(duì)應(yīng)者的相應(yīng)側(cè)壁互補(bǔ)的側(cè)壁的狹槽，每一狹槽具有插入在其中的凸片的相應(yīng)一者，以使致動(dòng)器裝置與鏡筒同心對(duì)準(zhǔn)且安置在相對(duì)于其的選定角度位置處。

本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求書界定，權(quán)利要求書以引用的方式并入本文中。將通過考慮對(duì)一個(gè)或一個(gè)以上實(shí)施例的以下詳細(xì)描述而向所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員提供對(duì)實(shí)施例的更完全的理解，以及實(shí)現(xiàn)其額外優(yōu)點(diǎn)。將參考附加圖片，將首先對(duì)其進(jìn)行簡(jiǎn)單地描述。

附圖說明

圖1說明根據(jù)實(shí)施例的具有致動(dòng)器裝置的電子裝置。

圖2說明根據(jù)實(shí)施例的具有透鏡鏡筒的小型相機(jī)。

圖3A說明根據(jù)實(shí)施例的具有安置于其內(nèi)的致動(dòng)器模塊的透鏡鏡筒。

圖3B以分解圖說明根據(jù)實(shí)施例的透鏡鏡筒及致動(dòng)器模塊。

圖4說明根據(jù)實(shí)施例的具有安置于其內(nèi)的致動(dòng)器裝置的致動(dòng)器模塊。

圖5A說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的俯視圖。

圖5B說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的俯視圖。

圖6A說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的部分。

圖6B說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的部分。

圖6C說明根據(jù)實(shí)施例的平臺(tái)的部分。

圖6D說明根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)定位以用于安裝到致動(dòng)器裝置的可移動(dòng)透鏡的仰視圖。

圖6E說明根據(jù)實(shí)施例的安裝到致動(dòng)器裝置的可移動(dòng)透鏡的側(cè)視圖。

圖7說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的部分。

圖8說明根據(jù)實(shí)施例的處于部署配置的致動(dòng)器裝置的仰視圖。

圖9A說明根據(jù)實(shí)施例的未被施加任何電壓的處于部署配置的致動(dòng)器裝置的部分。

圖9B說明根據(jù)實(shí)施例的被施加較小電壓的處于部署配置的致動(dòng)器裝置的部分。

圖9C說明根據(jù)實(shí)施例的被施加最大電壓的處于部署配置的致動(dòng)器裝置的部分。

圖10說明根據(jù)實(shí)施例的橫向緩沖器組合件。

圖11說明根據(jù)實(shí)施例的鉸鏈撓曲及運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲。

圖12說明根據(jù)實(shí)施例的內(nèi)部運(yùn)動(dòng)控制鉸鏈。

圖13說明根據(jù)實(shí)施例的懸臂撓曲。

圖14說明根據(jù)實(shí)施例的蜿蜒接觸撓曲及部署扭轉(zhuǎn)撓曲。

圖15說明根據(jù)實(shí)施例的部署停止件的俯視圖。

圖16說明根據(jù)實(shí)施例的部署停止件的仰視圖。

圖17A說明根據(jù)實(shí)施例的皮片阻尼器。

圖17B說明根據(jù)實(shí)施例的在沒有施加沖擊的情況下安置于上部模塊蓋與下部模塊蓋之間的可移動(dòng)框架。

圖17C說明根據(jù)實(shí)施例的在施加沖擊的情況下安置于上部模塊蓋與下部模塊蓋之間的可移動(dòng)框架。

圖17D說明根據(jù)實(shí)施例的另一致動(dòng)器裝置的部分俯視圖。

圖17E說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的放大俯視圖。

圖17F說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置的外部鉸鏈撓曲、橫向緩沖器組合件、單一緩沖器皮片，及聯(lián)鎖緩沖器皮片特征。

圖17G及17H說明根據(jù)實(shí)施例的外部鉸鏈撓曲。

圖17I及17J說明根據(jù)實(shí)施例的橫向緩沖器組合件。

圖17K及17L說明根據(jù)實(shí)施例的單一緩沖器皮片及聯(lián)鎖緩沖器皮片的剖面圖。

圖17M說明根據(jù)實(shí)施例的橫向緩沖器組合件、單一緩沖器皮片及聯(lián)鎖緩沖器皮片的俯視圖。

圖17N說明根據(jù)實(shí)施例的單一緩沖器皮片及聯(lián)鎖緩沖器皮片的剖面圖。

圖18說明根據(jù)實(shí)施例的球承窩緩沖器。

圖19說明根據(jù)實(shí)施例的球承窩緩沖器及兩個(gè)框架鉸鏈。

圖20為根據(jù)實(shí)施例進(jìn)行部分組裝的圖3B的第一實(shí)例透鏡鏡筒的分解透視圖，其展示完全安置在其環(huán)形鏡筒內(nèi)的多個(gè)第一光學(xué)元件。

圖21為根據(jù)實(shí)施例進(jìn)行部分組裝的第一透鏡鏡筒的前端正視圖，其中省略了致動(dòng)器裝置及第二光學(xué)元件以在直接鄰近致動(dòng)器裝置的第一光學(xué)元件的前表面上展示安裝及對(duì)準(zhǔn)特征。

圖22為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒的另一分解透視圖，其展示完全安置在鏡筒內(nèi)的致動(dòng)器裝置。

圖23為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒的前端正視圖，其中省略了第一光學(xué)元件及前蓋以展示安裝在鏡筒內(nèi)的致動(dòng)器裝置。

圖24為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒的另一分解透視圖。

圖25為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒的另一透視圖。

圖26為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)完全組裝的第一透鏡鏡筒的前端正視圖，其展示用一團(tuán)導(dǎo)電粘合劑附接到致動(dòng)器裝置的徑向凸片的柔性電路板的導(dǎo)線。

圖27為根據(jù)實(shí)施例的圖4的致動(dòng)器模塊的分解透視圖。

圖28為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的致動(dòng)器模塊的透視圖。

圖29為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的致動(dòng)器模塊的前端正視圖。

圖30為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)完全組裝的致動(dòng)器模塊的透視圖。

圖31為根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器模塊的部分前端放大正視圖，其展示致動(dòng)器裝置上徑向延伸的凸片既用作對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)又用作模塊的電接觸襯墊。

圖32為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)完全組裝的致動(dòng)器模塊的透視圖，其展示通過數(shù)團(tuán)導(dǎo)電粘合劑電連接到致動(dòng)器裝置的凸片的導(dǎo)線或柔性電路板。

圖33為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)完全組裝的致動(dòng)器模塊的前端正視圖，其展示電連接到致動(dòng)器裝置的凸片的導(dǎo)線或柔性電路板。

圖34為根據(jù)實(shí)施例的在其中根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例安置有致動(dòng)器模塊的透鏡鏡筒的第二實(shí)例實(shí)施例的分解透視圖，其展示安置在其鏡筒內(nèi)的多個(gè)第一光學(xué)元件以及安裝在其致動(dòng)器模塊內(nèi)的第二光學(xué)元件。

圖35為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的第二透鏡鏡筒的透視圖。

圖36為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)部分組裝的第二透鏡鏡筒的前端正視圖，其展示致動(dòng)器裝置的徑向凸片的圓周表面被用來將第一透鏡的光軸同心地且與第二透鏡組的光軸共軸地定位在鏡筒內(nèi)。

圖37為根據(jù)實(shí)施例的經(jīng)完全組裝的第二透鏡鏡筒的前端正視圖。

圖38為根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器模塊的部分前端放大正視圖，其展示致動(dòng)器裝置上的徑向延伸的凸片的另一實(shí)施例用作用于在透鏡鏡筒內(nèi)同心地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器裝置的機(jī)構(gòu)且任選地用作模塊的電接觸襯墊。

圖39為圖38的致動(dòng)器模塊的部分透視圖。

圖40為根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器模塊的部分前端放大正視圖，其展示致動(dòng)器裝置上的徑向延伸的凸片的另一實(shí)施例用作用于在透鏡鏡筒內(nèi)同心地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器裝置的機(jī)構(gòu)且任選地用作模塊的電接觸襯墊。

圖41為根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器模塊的部分前端放大正視圖，其展示致動(dòng)器裝置上的徑向延伸的凸片的替代實(shí)施例用作用于在透鏡鏡筒內(nèi)同心地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器裝置的機(jī)構(gòu)且任選地用作模塊的電接觸襯墊。

通過參考以下詳細(xì)描述而最佳地理解本發(fā)明的實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)了解，相同參考數(shù)字用于指示說明于一個(gè)或一個(gè)以上圖中的相同元件。

具體實(shí)施方式

根據(jù)各種實(shí)施例揭示適宜用于多種不同電子裝置中的致動(dòng)器裝置。致動(dòng)器裝置可經(jīng)調(diào)適以用于相機(jī)中，例如小型相機(jī)。致動(dòng)器裝置可用于手動(dòng)或自動(dòng)聚焦小型相機(jī)。致動(dòng)器裝置可用于使小型相機(jī)變焦，或?yàn)樾⌒拖鄼C(jī)提供光學(xué)圖像穩(wěn)定。致動(dòng)器裝置可用于對(duì)準(zhǔn)相機(jī)內(nèi)的光學(xué)器件。致動(dòng)器裝置可用于電子裝置或任何其它裝置中的任何其它所要的應(yīng)用。

根據(jù)一個(gè)或一個(gè)以上實(shí)施例，致動(dòng)器裝置可包括一個(gè)或一個(gè)以上MEMS致動(dòng)器。可使用單片構(gòu)造形成致動(dòng)器裝置。可使用非單片構(gòu)造形成致動(dòng)器裝置。

可使用當(dāng)代制造技術(shù)形成致動(dòng)器裝置，例如蝕刻及微機(jī)械加工。預(yù)期各種其它制造技術(shù)。

致動(dòng)器裝置可由硅形成(例如，單晶硅及/或多晶硅)。致動(dòng)器裝置可由其它半導(dǎo)體形成，例如硅、鍺、金剛石及砷化鎵。形成致動(dòng)器裝置的材料可經(jīng)摻雜以獲得其所要導(dǎo)電率。致動(dòng)器裝置可由金屬形成，例如鎢、鈦、鍺、鋁或鎳。可使用此類材料的任何所要組合。

根據(jù)各種實(shí)施例揭示對(duì)致動(dòng)器裝置及/或由致動(dòng)器裝置移動(dòng)的項(xiàng)目的運(yùn)動(dòng)控制。運(yùn)動(dòng)控制可用于促進(jìn)項(xiàng)目的所要移動(dòng)，同時(shí)減輕項(xiàng)目的非所要的移動(dòng)。例如，運(yùn)動(dòng)控制可用于促進(jìn)透鏡沿著透鏡的光軸的移動(dòng)，同時(shí)抑制透鏡的其它移動(dòng)。因此，運(yùn)動(dòng)控制可用于促進(jìn)透鏡以單一所要平移自由度移動(dòng)，同時(shí)抑制透鏡在所有其它平移自由度上的移動(dòng)，且同時(shí)抑制透鏡在所有旋轉(zhuǎn)自由度上的移動(dòng)。在另一實(shí)例中，運(yùn)動(dòng)控制可促進(jìn)透鏡在所有三個(gè)平移自由度上的移動(dòng)，同時(shí)抑制透鏡在所有旋轉(zhuǎn)自由度上的移動(dòng)。

因此，可提供單獨(dú)使用及用于電子裝置中的增強(qiáng)的小型相機(jī)。小型相機(jī)適宜用于廣泛多種不同電子裝置中。例如，小型相機(jī)適宜用于例如蜂窩式電話、膝上型計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、手持型裝置及監(jiān)視裝置等電子裝置中。

根據(jù)各種實(shí)施例，提供更小大小及增強(qiáng)的抗沖擊性。增強(qiáng)的制造技術(shù)可用于提供這些優(yōu)點(diǎn)及其它優(yōu)點(diǎn)。此類制造技術(shù)可額外地增強(qiáng)小型相機(jī)的整體質(zhì)量及可靠性，同時(shí)也實(shí)質(zhì)上減小其成本。

圖1說明根據(jù)實(shí)施例的具有致動(dòng)器裝置400的電子裝置100。如本文中所討論，致動(dòng)器裝置400可具有一個(gè)或一個(gè)以上致動(dòng)器550。在一個(gè)實(shí)施例中，致動(dòng)器550可為MEMS致動(dòng)器，例如靜電梳狀驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器。在一個(gè)實(shí)施例中，致動(dòng)器550可為旋轉(zhuǎn)梳狀驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器。

電子裝置100可具有一個(gè)或一個(gè)以上致動(dòng)器550，以移動(dòng)其任何所要的組件。例如，電子裝置100可具有例如小型相機(jī)101等光學(xué)裝置，小型相機(jī)101具有用于移動(dòng)光學(xué)元件(例如一個(gè)或一個(gè)以上可移動(dòng)透鏡301)(展示于圖2中)的致動(dòng)器550，所述光學(xué)元件經(jīng)調(diào)適以提供聚焦、變焦及/或圖像穩(wěn)定。電子裝置100可具有任何所要數(shù)目的致動(dòng)器550，以執(zhí)行任何所要的功能。

電子裝置100可為蜂窩式電話、膝上型計(jì)算機(jī)、監(jiān)視裝置或任何其它所要的裝置。小型相機(jī)101可建置在電子裝置100中、可附接到電子裝置100或可相對(duì)于電子裝置100分離(例如，遠(yuǎn)程)。

圖2說明根據(jù)實(shí)施例的具有透鏡鏡筒200的小型相機(jī)101。透鏡鏡筒200可含有一個(gè)或一個(gè)以上光學(xué)元件，例如可移動(dòng)透鏡301，所述一個(gè)或一個(gè)以上光學(xué)元件可由致動(dòng)器裝置400(展示于圖1中)移動(dòng)。透鏡鏡筒200可具有可固定的一個(gè)或一個(gè)以上光學(xué)元件。例如，透鏡鏡筒200可含有一個(gè)或一個(gè)以上透鏡、孔徑(可變的或固定的)、快門、鏡(其可為平坦的、非平坦的、被供電的或未被供電的)、棱鏡、空間光調(diào)制器、衍射光柵、激光器、LED及/或檢測(cè)器。這些項(xiàng)目中的任一者可為固定的或可由致動(dòng)器裝置400移動(dòng)。

致動(dòng)器裝置400可移動(dòng)非光學(xué)裝置，例如為了掃描而提供的樣本。樣本可為生物樣本或非生物樣本。生物樣本的實(shí)例包括生物體、組織、細(xì)胞及蛋白質(zhì)。非生物樣本的實(shí)例包括固體、液體及氣體。致動(dòng)器裝置400可用于操縱結(jié)構(gòu)、光、聲或任何其它所要事物。

光學(xué)元件可部分或完全包含于透鏡鏡筒200內(nèi)。透鏡鏡筒200可具有任何所要的形狀，例如，透鏡鏡筒200可實(shí)質(zhì)上為圓形、三角形、矩形、正方形、五邊形、六邊形、八邊形或任何其它形狀或橫截面配置。透鏡鏡筒200可永久或可移除地附接到小型相機(jī)101。可由小型相機(jī)101的外殼的部分界定透鏡鏡筒200。透鏡鏡筒200可部分或完全安置于小型相機(jī)101內(nèi)。

圖3A說明根據(jù)實(shí)施例的安置于透鏡鏡筒200內(nèi)的致動(dòng)器模塊300。致動(dòng)器模塊300可含有致動(dòng)器裝置400。致動(dòng)器裝置400可完全包含于透鏡鏡筒200內(nèi)、部分包含于透鏡鏡筒200內(nèi)或完全在透鏡鏡筒200外部。致動(dòng)器裝置400可經(jīng)調(diào)適以移動(dòng)包含于透鏡鏡筒200內(nèi)的光學(xué)元件、不包含于透鏡鏡筒200內(nèi)的光學(xué)元件及/或任何其它所要的項(xiàng)目。

圖3B以分解圖說明根據(jù)實(shí)施例的透鏡鏡筒200及致動(dòng)器模塊300。可移動(dòng)透鏡301為光學(xué)元件的實(shí)例，其可附接到致動(dòng)器裝置400且可借此移動(dòng)。致動(dòng)器裝置400可安置于上部模塊蓋401與下部模塊蓋402的中間。

可提供額外光學(xué)元件，例如固定(例如，靜止)透鏡302。額外光學(xué)元件可例如促進(jìn)聚焦、變焦及/或光學(xué)圖像穩(wěn)定。可提供任何所要數(shù)目及/或類型的可移動(dòng)(例如，經(jīng)由致動(dòng)器裝置400)及固定的光學(xué)元件。

圖4說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器模塊300。致動(dòng)器模塊300可部分或完全安置于小型相機(jī)101內(nèi)。致動(dòng)器裝置400可部分或完全安置于致動(dòng)器模塊300內(nèi)。例如，致動(dòng)器裝置400可實(shí)質(zhì)上夾在上部模塊蓋401與下部模塊蓋402之間。

致動(dòng)器模塊300可具有任何所要形狀。例如，致動(dòng)器模塊300可實(shí)質(zhì)上為圓形、三角形、正方形、矩形、五邊形、六邊形、八邊形或任何其它形狀或橫截面配置。

在一個(gè)實(shí)施例中，透鏡鏡筒200可實(shí)質(zhì)上為圓形橫截面配置，且致動(dòng)器模塊300可實(shí)質(zhì)上為圓形橫截面配置。實(shí)質(zhì)上圓形的透鏡鏡筒200及實(shí)質(zhì)上圓形的致動(dòng)器模塊300的使用可促進(jìn)大小上的有利縮減。可例如促進(jìn)大小上的縮減，這是因?yàn)閳A形透鏡通常是優(yōu)選的。實(shí)質(zhì)上圓形的透鏡鏡筒200及具有圓形透鏡的實(shí)質(zhì)上圓形的致動(dòng)器模塊300的使用趨向于導(dǎo)致減小浪費(fèi)的體積，且因此趨向于促進(jìn)大小上的縮減。

如本文中所討論，一個(gè)或一個(gè)以上光學(xué)元件(例如可移動(dòng)透鏡301)可安置于形成于致動(dòng)器模塊300中的開口405中(例如，孔)。舉例來說，致動(dòng)器550的致動(dòng)可實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件沿著其光軸410的移動(dòng)。因此，對(duì)致動(dòng)器550的致動(dòng)可移動(dòng)一個(gè)或一個(gè)以上透鏡，以實(shí)現(xiàn)例如聚焦或變焦。

致動(dòng)器模塊300可具有形成于其內(nèi)的切口403，以促進(jìn)致動(dòng)器模塊300的組裝及其內(nèi)含有的致動(dòng)器裝置400的對(duì)準(zhǔn)。切口403及/或部分安置于切口403內(nèi)的電接觸件404可用于促進(jìn)致動(dòng)器模塊300相對(duì)于透鏡鏡筒200的對(duì)準(zhǔn)。

圖5A說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置400的俯視圖，致動(dòng)器裝置400具有電接觸件404、開口405、內(nèi)部鉸鏈撓曲501、運(yùn)動(dòng)學(xué)安裝撓曲502、可移動(dòng)框架505、外部框架506、蜿蜒接觸撓曲508、部署扭轉(zhuǎn)撓曲509、部署停止件510、皮片阻尼器511、球承窩緩沖器(ball-in-socket snubber)513、懸臂撓曲514、運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515、外部鉸鏈撓曲516、固定框架517、平臺(tái)520、透鏡襯墊521、樞轉(zhuǎn)軸525、致動(dòng)器550、空間551及塊552。

塊552(圖5A)經(jīng)展示以表示一些圖中的致動(dòng)器550的齒560(見圖5B及7)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，梳狀驅(qū)動(dòng)器通常包括許多非常小的齒560，其在此比例的圖上較難以圖形展示。例如，致動(dòng)器550在其每一側(cè)上可具有介于1個(gè)與10,000個(gè)之間的齒，且在其每一側(cè)上可具有約2,000個(gè)齒。因此，在一個(gè)實(shí)施例中，塊552可不表示齒560的實(shí)際配置，然而代替齒560而展示，以更好地說明如本文中所討論的致動(dòng)器550的操作。

根據(jù)實(shí)施例，致動(dòng)器裝置400可實(shí)質(zhì)上為六邊形的。六邊形容易促進(jìn)致動(dòng)器裝置400在實(shí)質(zhì)上圓形的透鏡鏡筒200內(nèi)的放置。六邊形也促進(jìn)有效使用晶片的基板面。預(yù)期其它形狀。

致動(dòng)器裝置400可具有多個(gè)致動(dòng)器550。圖5A中僅詳細(xì)地說明一個(gè)致動(dòng)器550。針對(duì)未詳細(xì)說明的兩個(gè)額外致動(dòng)器550而在圖5A中展示空間551。因此，在一個(gè)實(shí)施例中，致動(dòng)器裝置400可具有繞開口405以實(shí)質(zhì)上徑向?qū)ΨQ的圖案安置的三個(gè)致動(dòng)器550，使得致動(dòng)器550彼此間隔開約120°。致動(dòng)器裝置400可具有以任何所要圖案安置的任何所要數(shù)目的致動(dòng)器550。作為進(jìn)一步的實(shí)例，致動(dòng)器裝置400可具有彼此間隔開約180°的兩個(gè)致動(dòng)器550，或可具有彼此間隔開約90°的四個(gè)致動(dòng)器550。

如本文中所討論，致動(dòng)器550可包括一個(gè)或一個(gè)以上MEMS致動(dòng)器、音圈致動(dòng)器，或任何其它所要類型或類型的組合的致動(dòng)器。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，每一致動(dòng)器550可為垂直旋轉(zhuǎn)梳狀驅(qū)動(dòng)器。

致動(dòng)器550可彼此協(xié)作，以沿著光軸410(圖3B)移動(dòng)平臺(tái)520，光軸在圖5A中垂直于致動(dòng)器裝置400的平面。致動(dòng)器550可彼此協(xié)作而以維持平臺(tái)520相對(duì)于光軸410實(shí)質(zhì)上垂直的方式及以實(shí)質(zhì)上減輕平臺(tái)520旋轉(zhuǎn)的方式移動(dòng)平臺(tái)520。

通過在鄰近的齒560之間(由塊552表示)施加電壓差而完成對(duì)致動(dòng)器550的致動(dòng)。此致動(dòng)實(shí)現(xiàn)致動(dòng)器550的旋轉(zhuǎn)，以促進(jìn)本文中描述的平臺(tái)520的移動(dòng)。

在各種實(shí)施例中，平臺(tái)520可經(jīng)調(diào)適而實(shí)質(zhì)上為環(huán)(例如，如圖5A中所展示)。預(yù)期其它形狀。平臺(tái)520可具有任何所要的形狀。

在部署之前，致動(dòng)器裝置400可為實(shí)質(zhì)上平面的結(jié)構(gòu)。例如，致動(dòng)器裝置400可實(shí)質(zhì)上由單一、單件材料形成，例如硅。可由單一裸片形成致動(dòng)器裝置400。裸片可例如約橫跨4毫米到5毫米，且例如約150微米厚。

致動(dòng)器裝置400可由MEMS技術(shù)形成，例如銑削或蝕刻。多個(gè)致動(dòng)器裝置400可形成于單一晶片上。致動(dòng)器裝置400的整體形狀或占用面積可經(jīng)調(diào)適以增強(qiáng)單一晶片上多個(gè)致動(dòng)器裝置400的形成。

在操作之前，根據(jù)實(shí)施例，每一致動(dòng)器550的固定框架517可經(jīng)部署以相對(duì)于彼此而偏移由塊552表示的鄰近齒560對(duì)。部署可導(dǎo)致致動(dòng)器裝置400的實(shí)質(zhì)上非平面的整體配置。當(dāng)部署時(shí)，每一致動(dòng)器550可具有其從外部框架506的平面延伸的部分(例如，固定框架517)。固定框架517可從外部框架506的平面以相對(duì)于其的角度延伸。因此，當(dāng)部署時(shí)，固定框架517可相對(duì)于外部框架506而實(shí)質(zhì)上在平面外。

一旦部署，固定框架517可固定或鎖定就位，使得(當(dāng)未致動(dòng)致動(dòng)器550時(shí))固定框架517并不相對(duì)于外部框架506進(jìn)一步移動(dòng)，且相對(duì)于外部框架506及相對(duì)于可移動(dòng)框架505有角度地偏移或旋轉(zhuǎn)。固定框架517可機(jī)械地固定在適當(dāng)位置，粘合地結(jié)合在適當(dāng)位置，或機(jī)械固定及粘合地結(jié)合的任何所要組合。

致動(dòng)器550的致動(dòng)可致使可移動(dòng)框架505朝向部署的固定框架517旋轉(zhuǎn)，以實(shí)現(xiàn)平臺(tái)520的所要移動(dòng)。運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515及外部鉸鏈撓曲516協(xié)作以促進(jìn)如本文中所討論的可移動(dòng)框架505的運(yùn)動(dòng)控制的旋轉(zhuǎn)。可移動(dòng)框架505繞樞轉(zhuǎn)軸525旋轉(zhuǎn)。

圖5B說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器裝置400的俯視圖，其具有展示于致動(dòng)器550中的齒560來代替代表其的塊552。為清晰起見，在圖5B中所展示的齒560可考慮在數(shù)目上減小，且在大小上夸大。

圖6A說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器550中的一者的俯視圖，其具有內(nèi)部鉸鏈撓曲501、球承窩緩沖器513、可移動(dòng)框架505、外部鉸鏈撓曲516、運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515、懸臂撓曲514、固定框架517、樞轉(zhuǎn)軸525、蜿蜒接觸撓曲508、偽運(yùn)動(dòng)學(xué)安裝及電接觸件404，及平臺(tái)520。圖6A進(jìn)一步說明橫向緩沖器組合件1001，其進(jìn)一步在本文中描述。

內(nèi)部鉸鏈撓曲501與懸臂撓曲514協(xié)作，以傳遞從可移動(dòng)框架505到平臺(tái)520的所要運(yùn)動(dòng)。因此，致動(dòng)器550的致動(dòng)導(dǎo)致可移動(dòng)框架505的旋轉(zhuǎn)，此又導(dǎo)致如本文中所討論的平臺(tái)520的平移。

可移動(dòng)框架505可以類似于門在其鉸鏈上樞轉(zhuǎn)的方式在外部鉸鏈撓曲516上樞轉(zhuǎn)。在將剪切力施加到致動(dòng)器裝置400后，致動(dòng)器550的兩個(gè)外部鉸鏈撓曲516中的一者可即刻處于拉伸中，而外部鉸鏈撓曲516可處于壓縮中。兩個(gè)運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515在此類情況中趨向于減輕外部鉸鏈撓曲516的非所要的屈曲。

每一致動(dòng)器可實(shí)質(zhì)上安置于提供相對(duì)較高橫向剛性及相對(duì)較軟旋轉(zhuǎn)剛性的運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)內(nèi)。在一個(gè)實(shí)施例中，運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可具有一個(gè)或一個(gè)以上(例如，兩個(gè))外部鉸鏈撓曲516，且可具有一個(gè)或一個(gè)以上(例如，兩個(gè))運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515。因此，可移動(dòng)框架505的移動(dòng)可實(shí)質(zhì)上受其所要的旋轉(zhuǎn)而約束。

在一個(gè)實(shí)施例中，用于一個(gè)致動(dòng)器550的運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可包括外部框架506、可移動(dòng)框架505、運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515、外部鉸鏈撓曲516、內(nèi)部鉸鏈撓曲501、懸臂撓曲514及平臺(tái)520。在一個(gè)實(shí)施例中，運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)可包括趨向于將平臺(tái)520的移動(dòng)限制于所要的平移移動(dòng)的所有結(jié)構(gòu)。

根據(jù)實(shí)施例，每一致動(dòng)器550可實(shí)質(zhì)上包含于運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)中，以實(shí)質(zhì)上限制對(duì)致動(dòng)器裝置400上的基板面的競(jìng)爭(zhēng)。因?yàn)槊恳恢聞?dòng)器550及其相關(guān)聯(lián)的運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)實(shí)質(zhì)上占據(jù)致動(dòng)器裝置400的相同表面積，所以其并不競(jìng)爭(zhēng)基板面。因此，隨著致動(dòng)器550在大小上增加，其相關(guān)聯(lián)的運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)也可在大小上增加。在某些實(shí)施例中，期望增加致動(dòng)器550的大小，以借此增加所提供的力。在某些實(shí)施例中，也期望增加運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的大小，以維持其合意地限制平臺(tái)520的移動(dòng)的能力。可移動(dòng)框架550可被視為運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的部分。

圖6B說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器550，為清晰起見，用陰影展示固定框架517。陰影固定框架517可部署到致動(dòng)器裝置400的平面外的位置，且可固定于此部署的位置中。

可移動(dòng)框架505可支撐致動(dòng)器550的移動(dòng)部分，例如一些齒560(見圖7)。固定框架517可支撐致動(dòng)器550的固定部分，例如其它齒560(見圖7)。對(duì)致動(dòng)器550施加電壓可致使可移動(dòng)框架505繞外部鉸鏈撓曲516朝向固定框架517旋轉(zhuǎn)。電壓的移除或減小可準(zhǔn)許由內(nèi)部鉸鏈撓曲514、外部鉸鏈撓曲516及運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515施加的彈簧力將可移動(dòng)框架505旋轉(zhuǎn)遠(yuǎn)離固定框架517。可移動(dòng)框架505與固定框架517之間可提供足夠間隙以適應(yīng)此所要的移動(dòng)。

圖6C說明根據(jù)實(shí)施例的具有徑向變化571的平臺(tái)520的部分。在一個(gè)實(shí)施例中，徑向變化571可形成于平臺(tái)520中，以準(zhǔn)許平臺(tái)520擴(kuò)展。徑向變化571可在平臺(tái)520中有角度地彎曲。因此，光學(xué)元件(例如可移動(dòng)透鏡301)可插入于平臺(tái)520的開口405中，開口405可擴(kuò)展以容納可移動(dòng)透鏡301，且開口405可夾住可移動(dòng)透鏡301。開口405可隨著平臺(tái)520的徑向變化571變形而擴(kuò)展(例如，趨向于伸直)，以便增加開口405的圓周。

圖6D說明可移動(dòng)透鏡的透視圖，其經(jīng)定位以安裝到致動(dòng)器裝置400，且圖6E說明根據(jù)實(shí)施例的附接到致動(dòng)器裝置400的可移動(dòng)透鏡301的側(cè)視圖。在一個(gè)實(shí)施例中，可移動(dòng)透鏡301可粘合地結(jié)合到平臺(tái)520，例如通過將可移動(dòng)透鏡301的支架522粘合地結(jié)合到透鏡襯墊521。例如，環(huán)氧樹脂523可用于將可移動(dòng)透鏡301粘合地結(jié)合到平臺(tái)520。可移動(dòng)透鏡301可由透鏡襯墊521支撐。

圖7說明根據(jù)實(shí)施例的致動(dòng)器550的部分，其展示在致動(dòng)器550的齒560上疊加的塊552。如本文中所討論，塊552代表齒560。

圖8說明根據(jù)實(shí)施例的處于部署配置的致動(dòng)器裝置400的仰視透視圖。在部署配置中，未致動(dòng)的可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506實(shí)質(zhì)上在平面內(nèi)，且經(jīng)部署固定框架517相對(duì)于外部框架506及可移動(dòng)框架505而實(shí)質(zhì)上在平面外。

可經(jīng)由電接觸件404而將電壓施加到每一致動(dòng)器550。例如，三個(gè)接觸件404中的兩者可用于將電壓從透鏡鏡筒200施加到致動(dòng)器裝置400。可不使用或可使用第三接觸件404以冗余地從透鏡鏡筒200將一個(gè)極性的電壓施加到致動(dòng)器裝置400。

可將實(shí)質(zhì)上相同的電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550，以導(dǎo)致其移動(dòng)框架505的實(shí)質(zhì)上相同的移動(dòng)。將實(shí)質(zhì)上相同的電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550可導(dǎo)致平臺(tái)520相對(duì)于外部框架506的平移，使得平臺(tái)520保持實(shí)質(zhì)上平行于外部框架506。因此，隨著光學(xué)元件移動(dòng)，光學(xué)元件(例如可移動(dòng)透鏡301)可維持所要對(duì)準(zhǔn)，例如沿著其光軸410(圖3B)。

可將實(shí)質(zhì)上不同的電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550，以導(dǎo)致其移動(dòng)框架505的實(shí)質(zhì)上不同的移動(dòng)。通過使用三個(gè)接觸件404及共同回線(common return)，可將實(shí)質(zhì)上不同的電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550。因此，每一接觸件404可將單獨(dú)控制的電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550中的專用一者。

將實(shí)質(zhì)上不同的電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550可導(dǎo)致平臺(tái)520相對(duì)于外部框架506的平移，使得平臺(tái)實(shí)質(zhì)上相對(duì)于外部框架506傾斜。因此，當(dāng)施加實(shí)質(zhì)上不同的電壓時(shí)，平臺(tái)520并不一定保持實(shí)質(zhì)上平行于外部框架。將不同電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550可用于例如將平臺(tái)520與外部框架506對(duì)準(zhǔn)。將不同電壓施加到三個(gè)致動(dòng)器550可用于促進(jìn)例如光學(xué)圖像穩(wěn)定或透鏡對(duì)準(zhǔn)。

圖9A說明根據(jù)實(shí)施例的未被施加任何電壓的處于部署配置的致動(dòng)器裝置400的部分。沒有任何電壓施加到致動(dòng)器裝置400，可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506而實(shí)質(zhì)上在平面內(nèi)，且經(jīng)部署固定框架517相對(duì)于外部框架506及可移動(dòng)框架505而實(shí)質(zhì)上在平面外。

圖9B說明根據(jù)實(shí)施例的被施加較小電壓的處于部署配置的致動(dòng)器裝置400的部分。在施加較小電壓的情況下，可移動(dòng)框架505已朝向經(jīng)部署固定框架517旋轉(zhuǎn)，且處于部分致動(dòng)的位置中。

圖9C說明根據(jù)實(shí)施例的被施加最大電壓的處于部署配置的致動(dòng)器裝置400的部分。如可見，可移動(dòng)框架505已進(jìn)一步朝向經(jīng)部署固定框架517旋轉(zhuǎn)，且處于完全致動(dòng)的位置中。

圖10說明根據(jù)實(shí)施例的橫向緩沖器組合件1001的俯視圖。橫向緩沖器組合件1001可具有第一緩沖器部件1002及第二緩沖器部件1003。第一緩沖器部件1002可形成于固定框架517上，且第二緩沖器部件可形成于可移動(dòng)框架505上。第一緩沖器部件1002及第二緩沖器部件1003可協(xié)作以在沖擊或較大加速度期間抑制可移動(dòng)框架505相對(duì)于固定框架517(且因而也相對(duì)于外部框架506)的非所要的橫向移動(dòng)。第一緩沖器部件1002與第二緩沖器部件1003之間的空隙“D”可為約2微米到3微米寬，以限制此非所要的橫向移動(dòng)。

圖11說明根據(jù)實(shí)施例的運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515及外部鉸鏈撓曲516的透視圖。運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515及外部鉸鏈撓曲516可比致動(dòng)器裝置400的其它部分更薄，以提供運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515及外部鉸鏈撓曲516的所要?jiǎng)傂浴＠纾谝粋€(gè)實(shí)施例中，外部鉸鏈撓曲516、內(nèi)部鉸鏈撓曲501及運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515可具有約100微米的寬度及約2微米到3微米的厚度。

運(yùn)動(dòng)控制扭轉(zhuǎn)撓曲515可位于樞轉(zhuǎn)軸525上。在一個(gè)實(shí)施例中，樞轉(zhuǎn)軸525是連接兩個(gè)外部鉸鏈撓曲516的中心的線。在一個(gè)實(shí)施例中，樞轉(zhuǎn)軸525為可移動(dòng)框架506繞其旋轉(zhuǎn)的絞合線或軸。

圖12說明根據(jù)實(shí)施例的內(nèi)部鉸鏈撓曲501的透視圖。內(nèi)部鉸鏈撓曲501可比致動(dòng)器裝置400的其它部分更薄，以提供內(nèi)部鉸鏈撓曲501的所要?jiǎng)傂浴＠纾谝粋€(gè)實(shí)施例中，內(nèi)部鉸鏈撓曲501可為約500微米長(zhǎng)，60微米寬，及2微米到3微米厚。

圖13說明根據(jù)實(shí)施例的懸臂撓曲514的透視圖，其具有內(nèi)部鉸鏈撓曲501、第一變薄區(qū)段1301、較厚區(qū)段1302及第二變薄區(qū)段1303。可使用懸臂撓曲514將可移動(dòng)框架505的移動(dòng)傳遞到平臺(tái)520。懸臂撓曲514可用于促進(jìn)將可移動(dòng)框架505的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為平臺(tái)520的平移。

內(nèi)部鉸鏈撓曲501可在平臺(tái)520平移時(shí)彎曲以準(zhǔn)許可移動(dòng)框架505旋轉(zhuǎn)。隨著可移動(dòng)框架505將移動(dòng)傳遞到平臺(tái)520，第一變薄區(qū)段1301及第二變薄區(qū)段1303可彎曲以準(zhǔn)許可移動(dòng)框架505與平臺(tái)520之間的距離上的變化。

懸臂撓曲514可在靠近其末端處更薄，且可在靠近其中心處更厚。此配置可決定懸臂撓曲514的所要比率的剛性。例如，可需要具有相比較低的剛性，以隨著可移動(dòng)框架505將移動(dòng)傳遞到平臺(tái)520而徑向地補(bǔ)償可移動(dòng)框架505與平臺(tái)520之間的距離上的變化。

圖14說明根據(jù)實(shí)施例的蜿蜒接觸撓曲508及部署扭轉(zhuǎn)撓曲509的透視圖。蜿蜒接觸撓曲508可促進(jìn)電接觸件404與經(jīng)部署固定框架之間的電接觸。部署扭轉(zhuǎn)撓曲509可在部署期間促進(jìn)經(jīng)部署固定框架517相對(duì)于外部框架506的旋轉(zhuǎn)。

圖15說明根據(jù)實(shí)施例的部署停止件510的透視俯視圖，其展示當(dāng)部署時(shí)，部署停止件510并不接觸頂部側(cè)上的外部框架506。環(huán)氧樹脂1501可施加于部署停止件510及外部框架506的頂表面上，以相對(duì)于外部框架506將部署停止件510固定到適當(dāng)位置內(nèi)。因此，環(huán)氧樹脂1501可相對(duì)于外部框架506而將經(jīng)部署固定框架517固定到適當(dāng)位置內(nèi)。經(jīng)部署固定框架517的各個(gè)部分可用作部署停止件517。例如，當(dāng)經(jīng)部署固定框架被部署時(shí)，經(jīng)部署固定框架517的鄰接外部框架506的其它部分可用作部署停止件510。

圖16說明根據(jù)實(shí)施例的部署停止件510的透視仰視圖，其展示當(dāng)部署時(shí)，部署停止件510接觸底部側(cè)上的外部框架506。環(huán)氧樹脂1501可施加到部署停止件510及外部框架506的底表面，以將部署停止件510相對(duì)于外部框架506固定到適當(dāng)位置內(nèi)。在需要時(shí)，環(huán)氧樹脂1501可施加到部署停止件510及外部框架506的頂表面及底表面兩者。

圖17A說明根據(jù)實(shí)施例的皮片阻尼器511的透視圖。皮片阻尼器511位于在致動(dòng)器550的既定操作(例如，致動(dòng))期間的所要的相對(duì)運(yùn)動(dòng)相對(duì)低的地方及在沖擊期間潛在的非所要的相對(duì)運(yùn)動(dòng)相對(duì)高的地方。例如，皮片阻尼器511可形成于樞轉(zhuǎn)軸525上。

阻尼材料1701可跨外部框架506與可移動(dòng)框架505之間形成的空隙1702而延伸。阻尼材料1701可具有較高阻尼系數(shù)。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，阻尼材料1701可具有介于0.7與0.9之間的阻尼系數(shù)。例如，阻尼材料1701可具有約0.8的阻尼系數(shù)。在一個(gè)實(shí)施例中，阻尼材料1701可為環(huán)氧樹脂。

阻尼材料1701可容易地準(zhǔn)許可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506的所要運(yùn)動(dòng)。阻尼材料1701可抑制歸因于沖擊而造成的可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506的非所要的運(yùn)動(dòng)。因此，在對(duì)致動(dòng)器550的致動(dòng)期間，阻尼材料1701可準(zhǔn)許可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506的旋轉(zhuǎn)，且在沖擊期間，阻尼材料1701可抑制可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506的橫向運(yùn)動(dòng)及/或平面外的運(yùn)動(dòng)。

皮片阻尼器511可具有從可移動(dòng)框架505延伸的皮片1706，且可具有從外部框架506延伸的皮片1707。可于皮片1706與皮片1707之間形成空隙1702。

延伸部分1708可從皮片1706延伸，且/或延伸部分1709可從皮片1707延伸。延伸部分1708及延伸部分1709可延伸空隙1702的長(zhǎng)度，使得可使用比沒有延伸部分1708及/或延伸部分1709時(shí)可能使用的阻尼材料更多的阻尼材料1701。

溝槽1719可形成于皮片1706及/或1707中，且不同于皮片1706及1707的材料的溝槽材料1720可沉積于溝槽1719中。例如，皮片1706及1707可由單晶硅形成，且溝槽材料1720可由多晶硅形成。對(duì)于皮片1706及1707及對(duì)于溝槽材料1720可使用任何所要的材料組合，以便實(shí)現(xiàn)皮片1706及1707的所要?jiǎng)傂浴?/p>

圖17B說明在沒有施加到其的沖擊的情況下安置于上部模塊蓋401與下部模塊蓋402之間的可移動(dòng)框架505。在缺乏沖擊時(shí)，可移動(dòng)框架505保持于其未致動(dòng)的位置中，且外部鉸鏈撓曲516不彎曲。

圖17C說明在可移動(dòng)框架505已經(jīng)由于沖擊而移動(dòng)到抵靠下部模塊蓋402的位置后的可移動(dòng)框架505，所述沖擊例如可起因于電子裝置100掉落。可由下部模塊外殼402限制或緩沖可移動(dòng)框架505的移動(dòng)，且借此可限制外部鉸鏈撓曲516的非所要的雙倍彎曲。以類似方式，上部模塊外殼401可限制可移動(dòng)框架505的移動(dòng)，及外部鉸鏈撓曲516的雙倍彎曲。因此，可減輕外部鉸鏈撓曲516內(nèi)非所要的壓力。

圖17D到17H說明外部鉸鏈撓曲1752的替代實(shí)施例。如此類圖中所說明，在一些實(shí)施例中，外部鉸鏈撓曲1752可為X形的，以增加對(duì)可移動(dòng)框架505在橫向方向上的運(yùn)動(dòng)控制。外部鉸鏈撓曲516、1752可大體上趨向于彎曲，例如繞其中央部分彎曲，以促進(jìn)可移動(dòng)框架505相對(duì)于外部框架506的移動(dòng)。預(yù)期其它形狀。例如，外部鉸鏈撓曲1752可成形為H、I、M、N、V、W、Y形，或可具有任何其它所要形狀。每一外部鉸鏈撓曲1752可包括與外部框架506及可移動(dòng)框架505互連的任何所要數(shù)目的結(jié)構(gòu)。所述結(jié)構(gòu)可互連或可不互連。結(jié)構(gòu)可相對(duì)于彼此而實(shí)質(zhì)上為相同的，或可相對(duì)于彼此而實(shí)質(zhì)上為不同的。每一外部鉸鏈撓曲1752可相對(duì)于每一其它鉸鏈撓曲1752為實(shí)質(zhì)上相同的，或可相對(duì)于其它鉸鏈撓曲1752為實(shí)質(zhì)上不同的。

可通過如本文中所討論的蝕刻而形成外部鉸鏈撓曲516、1752及任何其它結(jié)構(gòu)。外部鉸鏈撓曲及任何其它結(jié)構(gòu)可包括單晶硅、多晶硅或其任何組合。

圖17D到F及17I到17N展示橫向緩沖器組合件1754的替代實(shí)施例，上文結(jié)合本文中的圖10討論了橫向緩沖器組合件的另一實(shí)施例。圖17D到F及17I到17N的橫向緩沖器組合件1754相對(duì)于圖10的橫向緩沖器組合件1001大體上具有更多圓形曲線。

圖17D到17F說明對(duì)于約束組件(例如，可移動(dòng)組件505)在±Z方向上的垂直移動(dòng)以及其橫向移動(dòng)(即，在±X及/或±Y方向上)兩者有用的聯(lián)鎖緩沖器皮片特征1756的實(shí)例實(shí)施例。

如圖17F中所說明，此聯(lián)鎖皮片特征包括形成一對(duì)皮片1756A及1756B，所述對(duì)皮片1756A及1756B分別從可移動(dòng)組件505及固定組件506延伸且在形成于另一相對(duì)組件上的對(duì)應(yīng)肩部1762上延伸。可移動(dòng)組件505上的皮片1756A限制可移動(dòng)組件505在–Z方向上的移動(dòng)，且固定組件506上的皮片1756B限制可移動(dòng)組件505在+Z方向上的移動(dòng)。另外，如圖17K、17L及17N中所說明，兩個(gè)組件505及506之間的空隙1760(其可如上文結(jié)合圖49A到49F所討論般形成)可限制可移動(dòng)組件505在±X及/或±Y方向上的移動(dòng)。

如圖17M中所說明，皮片1756A及1756B的相應(yīng)前末端可界定在其相對(duì)末端處的隅角，且所述隅角中的一者或一者以上可并入有橢圓嵌條1766。

如圖17D到17L及17K到17N中所說明，可提供單一緩沖器皮片1758，以用于約束致動(dòng)器裝置1750中的組件(例如，可移動(dòng)組件505)的橫向移動(dòng)。例如，緩沖器皮片1758(其在一些實(shí)施例中可包括多晶硅)可從固定組件(例如，組件506)且朝向可移動(dòng)組件505延伸但不在其上延伸，以限制可移動(dòng)組件505橫向(即，在±X及/或±Y方向上)的運(yùn)動(dòng)。如圖17K、17L及17N中所說明，可使固定組件506與可移動(dòng)組件505之間的空隙1764比緩沖器皮片1758與可移動(dòng)組件505之間的空隙1768相對(duì)更大，使得緩沖器皮片1758并不干涉可移動(dòng)組件505的正常旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，但確實(shí)發(fā)揮作用以防止其非所要的橫向運(yùn)動(dòng)。

圖18說明根據(jù)實(shí)施例的球承窩緩沖器513。球承窩緩沖器513可具有實(shí)質(zhì)上圓柱形的球518，球518可滑動(dòng)地安置于實(shí)質(zhì)上互補(bǔ)的圓柱形承窩519內(nèi)。球承窩緩沖器513準(zhǔn)許平臺(tái)520相對(duì)于外部框架506的所要移動(dòng)，且限制其它移動(dòng)。

圖19說明根據(jù)實(shí)施例的球承窩513及兩個(gè)框架鉸鏈526的透視圖。框架鉸鏈526可為在另外實(shí)質(zhì)上剛硬的外部框架506中的鉸鏈撓曲。框架鉸鏈526準(zhǔn)許外部框架506在平面外變形，同時(shí)維持平面內(nèi)所要的剛度。

圖3B為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的在其中安置有致動(dòng)器裝置400的透鏡鏡筒200的第一實(shí)例實(shí)施例的分解透視圖。如在圖3B中所說明，透鏡鏡筒組合件201包括具有對(duì)應(yīng)于光軸410的中心軸的環(huán)形透鏡鏡筒200。

多個(gè)第一光學(xué)元件(即，固定透鏡302)安置在透鏡鏡筒200內(nèi)以使得固定透鏡302的相應(yīng)光軸彼此之間及與透鏡鏡筒200的光軸410共軸對(duì)準(zhǔn)。上文結(jié)合圖5A討論的類型的致動(dòng)器裝置400安置在透鏡鏡筒200內(nèi)，位于固定透鏡302的前面。致動(dòng)器裝置400包括致動(dòng)器550(例如，在一個(gè)實(shí)施例中旋轉(zhuǎn)作用的致動(dòng)器)、通過懸臂撓曲(例如，柔性鉸鏈)514耦合到致動(dòng)器550中的每一者的移動(dòng)平臺(tái)520以及移動(dòng)平臺(tái)520內(nèi)與裝置400的中心軸同心的中心開口405。致動(dòng)器裝置400以下文更詳細(xì)地描述的方式同心地安裝在透鏡鏡筒200內(nèi)，位于固定透鏡302的前面，以使得裝置400的中心軸與透鏡鏡筒200的光軸410及固定透鏡302的光軸共軸對(duì)準(zhǔn)。

可實(shí)質(zhì)上類似于致動(dòng)器模塊300的前蓋401的前蓋(例如)通過粘合性結(jié)合劑而附接到致動(dòng)器裝置400的前表面，以使得前蓋401內(nèi)的中心開口304與移動(dòng)平臺(tái)520內(nèi)的中心開口405同心安置。可移動(dòng)透鏡301安裝在移動(dòng)平臺(tái)520的中心開口405內(nèi)，以使得可移動(dòng)透鏡101的光軸與透鏡鏡筒200的中心軸410、固定透鏡302的光軸以及致動(dòng)器裝置400的中心軸共軸對(duì)準(zhǔn)，且使得致動(dòng)器550的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)致使移動(dòng)平臺(tái)520及可移動(dòng)透鏡101沿著可移動(dòng)透鏡101的光軸(且因此實(shí)質(zhì)上共軸地沿著透鏡鏡筒200的光軸410)以完全平移移動(dòng)而共同移動(dòng)。

圖20為經(jīng)部分組裝的圖3B的第一透鏡鏡筒200的另一分解透視圖，其中固定透鏡302展示為完全安置在透鏡鏡筒200內(nèi)，且圖21為經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒200的前端正視圖，其中省略了致動(dòng)器裝置400、前蓋401以及可移動(dòng)透鏡101以展示安置在直接鄰近致動(dòng)器裝置400的固定透鏡302的前表面305上的凸起的致動(dòng)器裝置安裝特征308及向前突出的對(duì)準(zhǔn)銷306。

如在圖20及21中所說明，直接鄰近致動(dòng)器裝置400的第一固定透鏡302包括多個(gè)向前突出的對(duì)準(zhǔn)銷306以及多個(gè)凸起的平臺(tái)狀安裝特征308，兩者都對(duì)稱安置在其前表面305的外部邊緣周圍。凸起的平臺(tái)安裝特征308中的一些對(duì)應(yīng)于致動(dòng)器裝置400上可放置粘合劑以將裝置400結(jié)合到直接鄰近的固定透鏡302的前表面305的區(qū)域，且前蓋401還可具備類似的凸起安裝特征308以使得其能夠附接到(例如，使用粘合劑)致動(dòng)器裝置400的前表面及/或第一固定透鏡302或致動(dòng)器模塊300的后蓋402的前表面上的對(duì)應(yīng)的凸起安裝特征308。

在一些實(shí)施例中，凸起安裝特征308可包括兩種不同類型的特征。舉例來說，位于致動(dòng)器裝置400的外部邊緣處的凸起特征308可包括用以將前蓋401結(jié)合到第一固定透鏡302或致動(dòng)器模塊300的后蓋402的徑直連接特征。致動(dòng)器裝置400可僅在直接鄰近對(duì)準(zhǔn)銷306的區(qū)域中粘合地附接到前蓋401及固定透鏡302或致動(dòng)器模塊402的后蓋402。內(nèi)部一組T形凸起特征308可用作停止將致動(dòng)器裝置400的平臺(tái)520的移動(dòng)部分預(yù)裝載到(例如)無窮遠(yuǎn)位置焦點(diǎn)的停止件。如在圖3B中所說明，裝置400進(jìn)一步包括對(duì)稱安置在其外周邊的電接觸件404(也稱為徑向?qū)?zhǔn)及安裝凸片404)，每一凸片404具有安置在其中的外部圓周表面503及對(duì)準(zhǔn)孔口310。

圖22為經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒200的另一分解透視圖，其展示致動(dòng)器裝置400完全安置在透鏡鏡筒200內(nèi)，且圖23為經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒200的前端正視圖，其中省略了可移動(dòng)透鏡101及前蓋401以展示同心安裝在透鏡鏡筒200內(nèi)的致動(dòng)器裝置400。如在圖22及23中所說明，致動(dòng)器裝置400(例如)通過粘合性結(jié)合附接到安置在鄰近的第一光學(xué)元件305上的凸起的致動(dòng)器裝置安裝特征308，以使得對(duì)準(zhǔn)銷306中的每一者嚙合凸片404中的對(duì)準(zhǔn)孔口310中的對(duì)應(yīng)一者，且凸起安裝特征308的凸片狀一者安置在致動(dòng)器裝置400的凹部504的相應(yīng)一者內(nèi)，以便將致動(dòng)器裝置400與直接鄰近的固定透鏡302同心對(duì)準(zhǔn)(參看圖20及21)，且使得凸片404的外部圓周表面503分別鄰接透鏡鏡筒200的內(nèi)表面，且借此將致動(dòng)器裝置400與透鏡鏡筒200同心對(duì)準(zhǔn)。

圖24及25為經(jīng)部分組裝的第一透鏡鏡筒200的其它分解透視圖，且圖26為經(jīng)完全組裝的第一透鏡鏡筒200的前端正視圖。如在圖24到26中所說明，在一個(gè)實(shí)施例中，前蓋401可包括對(duì)稱安置在其外周邊的多個(gè)徑向狹槽(例如，切口)403，每一狹槽403暴露凸片404中的相應(yīng)一者的前表面。在其中致動(dòng)器裝置400是由導(dǎo)電材料(例如半導(dǎo)體材料(例如硅))制成的實(shí)施例中，凸片404(包括其前表面)也將為導(dǎo)電性的。替代地，凸片404中的至少一者的前表面可通過以導(dǎo)電材料(例如，金、單晶硅或多晶硅)對(duì)其進(jìn)行鍍敷而被制成導(dǎo)電性的。

在任一情形中，如在圖26中所說明，被狹槽403暴露的凸片404的導(dǎo)電性前表面提供用于將外部接地及電力信號(hào)傳遞給致動(dòng)器裝置400的致動(dòng)器550的便利方式。舉例來說，在圖26中所說明的實(shí)例實(shí)施例中，載運(yùn)(例如)電性接地或電力信號(hào)的導(dǎo)線或柔性電路板312可通過(例如)安置在對(duì)應(yīng)徑向狹槽403內(nèi)及導(dǎo)電性表面上的一團(tuán)導(dǎo)電粘合劑314而電連接到凸片404的導(dǎo)電性前表面。

如上文所論述，第一透鏡鏡筒200中的可移動(dòng)及固定透鏡301、302中的任一者可包括透鏡之外的其它光學(xué)元件，例如一組透鏡，其包括復(fù)合透鏡、孔徑(可變的或固定的)、快門、鏡(其可為平坦的、非平坦的、被供電的或未被供電的)、棱鏡、空間光調(diào)節(jié)器、衍射光柵、激光器、LED、檢測(cè)器及類似者。這些光學(xué)元件301、302的類型及布置可如(例如)以下各者中的任一者中所描述：2010年2月16日申請(qǐng)的第7,663,817號(hào)美國(guó)專利、2008年2月21日公布的第2008/0044172號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)公開案、2006年10月17日申請(qǐng)的第11/550,305號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)案以及2006年8月16日申請(qǐng)的第11/505,660號(hào)美國(guó)專利申請(qǐng)案，所有所述申請(qǐng)案的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。

參考圖3B，在一個(gè)實(shí)施例中，可移動(dòng)及固定透鏡301、302中的一者或一者以上(例如可移動(dòng)透鏡301)可同心安裝在環(huán)形透鏡固持器內(nèi)，且透鏡301或302、透鏡固持器、環(huán)形透鏡鏡筒200及前蓋401中的至少一者可出于成本降低及抗沖擊性而包括塑料材料(例如，熱成形或熱固性塑料)。

圖27為圖4的致動(dòng)器模塊300的分解透視圖，圖28為經(jīng)部分組裝的致動(dòng)器模塊300的透視圖，圖29為經(jīng)部分組裝的致動(dòng)器模塊300的前端正視圖，且圖30為經(jīng)完全組裝的致動(dòng)器模塊300的透視圖。如在這些圖中所說明，致動(dòng)器模塊300包括上文所描述的第一透鏡鏡筒200的特征中的許多特征，且包括(作為直接鄰近致動(dòng)器裝置400而安置的固定透鏡302的替代)具有中心開口2702的后蓋(例如，下部模塊蓋或外殼)402及對(duì)稱安置在其前表面的外周邊的多個(gè)凸起的致動(dòng)器裝置安裝特征308及向前突出的對(duì)準(zhǔn)銷306。

致動(dòng)器裝置400安裝(例如，使用粘合劑)在后蓋402的前表面上的凸起安裝特征308上。致動(dòng)器裝置400包括對(duì)稱安置在其外周邊的中心開口405及徑向凸片404。如上文，每一凸片404具有弓形外部圓周表面503且安置在其中的對(duì)準(zhǔn)孔口310。

凸片404與對(duì)準(zhǔn)銷306、圓周表面503與對(duì)準(zhǔn)孔口310之間的相互關(guān)系在圖31中進(jìn)行更加清晰地說明，圖31為同心安裝在透鏡鏡筒200內(nèi)的致動(dòng)器模塊300的部分放大前端正視圖，其展示致動(dòng)器裝置400上的徑向延伸的凸片404既用作對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)又用作致動(dòng)器模塊300的電接觸襯墊。特定來說，致動(dòng)器裝置400附接到后蓋402的前表面上的凸起安裝特征308，以使得對(duì)準(zhǔn)銷306中的每一者嚙合在對(duì)準(zhǔn)孔口310的對(duì)應(yīng)一者內(nèi)、凸片狀安裝特征308凹進(jìn)致動(dòng)器裝置400的凹處504中的相應(yīng)一者內(nèi)、且后蓋402及致動(dòng)器裝置400的相應(yīng)中心開口2702及405借此彼此同心對(duì)準(zhǔn)。此外，當(dāng)致動(dòng)器模塊300隨后被插入到環(huán)形透鏡鏡筒200內(nèi)時(shí)，凸片404的弓形外部圓周表面503分別與透鏡鏡筒200的內(nèi)表面3102鄰接，以便在透鏡鏡筒200內(nèi)同心地精確地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器模塊300。

致動(dòng)器模塊300包括與上文所描述的第一透鏡鏡筒200的前蓋401非常類似的前蓋401，其中其可包括在其后表面上的多個(gè)凸起的致動(dòng)器裝置安裝特征308、中心開口304以及對(duì)稱安置在其外周邊的多個(gè)徑向狹槽403。如在上文的第一透鏡鏡筒200中，前蓋401可附接到(例如，使用粘合劑)致動(dòng)器裝置400的前表面上的凸起安裝特征308，以使得徑向狹槽403中的每一者暴露凸片404中的相應(yīng)一者的前表面，且前蓋401的中心開口304與后蓋402及致動(dòng)器裝置400的相應(yīng)中心開口2702及405同心對(duì)準(zhǔn)。

如在圖32及33中所說明，可以類似于上文結(jié)合第一透鏡鏡筒200及圖26所描述的方式的方式將用于控制致動(dòng)器模塊300的外部電力及接地信號(hào)傳遞到致動(dòng)器模塊300中。在圖32及33中所說明的實(shí)例實(shí)施例中，載運(yùn)(例如)電接地或電力信號(hào)的導(dǎo)線或柔性電路板312可通過(例如)安置在前蓋401中的徑向狹槽403內(nèi)及凸片404的前表面上的一團(tuán)導(dǎo)電粘合劑314而電連接到徑向凸片404中的一者或一者以上的導(dǎo)電性前表面。

如在圖34到37中所說明，上文所描述的致動(dòng)器模塊300可用于根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例制造第二實(shí)例透鏡鏡筒組合件3400。如同上文的第一透鏡鏡筒組合件201，第二透鏡鏡筒3400包括并入有多個(gè)固定透鏡302的環(huán)形透鏡鏡筒200(參看圖3B)。致動(dòng)器模塊300安裝到(例如，通過用粘合劑將后蓋402的后表面結(jié)合到直接鄰近的固定透鏡302)鏡筒200內(nèi)，位于固定透鏡302的前面。在此實(shí)施例中，如結(jié)合圖31在上文所論述，凸片404的外部圓周表面503分別鄰接鏡筒200的內(nèi)表面3102且用于在透鏡鏡筒200內(nèi)同心地精確地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器模塊300。

如在上文所描述的第一透鏡鏡筒200中，透鏡鏡筒200、可移動(dòng)的及固定的透鏡301、302、環(huán)形透鏡固持器及前蓋與后蓋401及402中的一些或全部可包括塑料材料。

如結(jié)合圖20到23及圖31在上文所論述，可使用致動(dòng)器裝置400的徑向延伸的凸片404(例如)通過使用(例如)粘合劑將致動(dòng)器裝置400附接到透鏡鏡筒200的鄰近固定透鏡302的前表面305(或致動(dòng)器模塊300的后蓋402)上，以使固定透鏡302的前表面(或致動(dòng)器模塊后蓋402)上的對(duì)準(zhǔn)銷306中的每一者嚙合在凸片404中的對(duì)準(zhǔn)孔口310中的對(duì)應(yīng)一者中，且凸片404的弓形外部圓周表面503分別鄰接透鏡鏡筒200的圓柱形內(nèi)表面3102且借此在透鏡鏡筒200內(nèi)同心地且旋轉(zhuǎn)地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器裝置及模塊300兩者，而在透鏡鏡筒200內(nèi)同心地且旋轉(zhuǎn)地對(duì)準(zhǔn)致動(dòng)器裝置400(或致動(dòng)器模塊300)。雖然此對(duì)準(zhǔn)布置對(duì)多數(shù)應(yīng)用來說是令人滿意的，但在極其小型的應(yīng)用的情況下，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)銷306的大小對(duì)應(yīng)減小時(shí)，其可能會(huì)變得太小而無法使用(例如)常規(guī)的注塑模制技術(shù)來可靠地制造，且由于其易碎性對(duì)應(yīng)地增加，所述對(duì)準(zhǔn)銷可在插入到由相對(duì)較硬的材料(例如，硅)制成的凸片404的對(duì)應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔口310中時(shí)易于遭受損壞。

分別在圖38及39的部分前端放大正視圖及透視圖中說明避免了前述問題的致動(dòng)器裝置400對(duì)準(zhǔn)布置3800的替代實(shí)施例。如可在這些圖中看到，與圖31中所說明的對(duì)準(zhǔn)布置不同，替代對(duì)準(zhǔn)孔口3800用分別嚙合在對(duì)應(yīng)的互補(bǔ)狹槽3804內(nèi)的凸片3802(例如徑向凸片)取代凸片404中的對(duì)準(zhǔn)銷306及對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔口310，每一者由分別安置在凸片3802的相對(duì)側(cè)的一對(duì)凸起安裝特征308或“臺(tái)面”進(jìn)行界定。如在上文所論述，在透鏡鏡筒200實(shí)施例中，凸起安裝特征308可形成在鄰近固定透鏡302的前表面上(例如，參看圖3B)，且在致動(dòng)器模塊300實(shí)施例中，凸起安裝特征308可形成在模塊300的后蓋402的前表面上(例如，參看圖27)。

在圖38及39中所說明的特定“狹槽中條”的實(shí)例實(shí)施例中，在致動(dòng)器裝置400的運(yùn)動(dòng)安裝撓曲502的對(duì)應(yīng)一者的中心周圍存在每一者彼此相隔120度定位的三個(gè)徑向延伸的凸片3802以在徑向方向上給予凸片順應(yīng)性，但在其它可能的實(shí)施例中，取決于手邊的應(yīng)用，凸片3802的數(shù)目、安裝及角度間隔可變化。在一個(gè)有利的實(shí)施例中，凸片3802可包括使用眾所周知的光刻技術(shù)與致動(dòng)器裝置400的撓曲502及剩余部分一起形成的硅。

如在圖38及39中所展示，凸片3802包括下部徑向延伸的條形“腿”部及比下部寬的上部沿圓周延伸的橫條或“頭”部。運(yùn)動(dòng)安裝撓曲502的上部側(cè)壁表面與凸起安裝特征308的下部側(cè)壁表面協(xié)作，且在具有頭部的實(shí)施例中，凸片3802的較寬的頭部的下部側(cè)壁表面與凸起安裝特征308的相對(duì)的上部側(cè)壁表面協(xié)作，以將致動(dòng)器裝置400定位在徑向方向上。凸片3802的下部的側(cè)壁與安裝特征308的相對(duì)的內(nèi)部側(cè)壁協(xié)作以相對(duì)于鄰近組件(即，固定透鏡302)或致動(dòng)器模塊后蓋402兩者將裝置400定位在圓周或旋轉(zhuǎn)方向上。凸片3802的腿部可具有一般彼此平行的側(cè)壁，進(jìn)而導(dǎo)致大體上“I”形凸片3802，例如在圖40中所說明。替代地，凸片3802可包括比腿部寬的橫向頭部，進(jìn)而導(dǎo)致大體上“T”形凸片3802，例如在圖41中所說明或如在圖38及39中所說明，對(duì)實(shí)施例的各個(gè)實(shí)例來說，凸片3802可具有相對(duì)于彼此既平行又成角度的側(cè)壁以形成較寬的頭部，進(jìn)而導(dǎo)致大體上“Y”形凸片3802。在任何情形下，狹槽3804的互補(bǔ)性側(cè)壁優(yōu)選經(jīng)配置以與凸片3802的互補(bǔ)性側(cè)壁的輪廓緊密匹配。

圖38及39中所說明的對(duì)準(zhǔn)布置3800的優(yōu)點(diǎn)有若干，包括可使用于界定狹槽3804的凸起安裝特征308比圖31的對(duì)準(zhǔn)銷306大得多，且因此例如出于注射模制的目的，要穩(wěn)健得多。而且，可能維持狹槽3804的寬度的較高的準(zhǔn)確性，原因在于此特征由在其中形成所述特征且安裝特征308的塑料在其周圍收縮的模具的鋼精確界定。此外，如果凸片3802的側(cè)壁成角度且凸片以90度或更大的角增量進(jìn)行布置，那么致動(dòng)器裝置400固有地以自身為中心，因?yàn)樵诎惭b粘合劑的熱固化期間凸起特征308的材料將擴(kuò)展，且借此將占據(jù)任何游隙，進(jìn)而迫使凸片3802精確到達(dá)凸起安裝特征308之間的中點(diǎn)。替代地，如果凸片3802的側(cè)壁成角度，那么出于所要的最終居中準(zhǔn)確性的目的，可允許安裝特征308之間的較大間隙。

如上文所論述，在致動(dòng)器裝置400是由導(dǎo)電材料(例如，半導(dǎo)體材料(例如，硅))制成的實(shí)施例中，凸片3802，包含其前表面，也將為導(dǎo)電性的。替代地，凸片3802中的至少一者的前表面可通過用導(dǎo)電材料(例如，金、單晶硅或多晶硅)對(duì)其進(jìn)行鍍敷而被制成導(dǎo)電性的。在其它情形中，如上文所論述，凸片3802的導(dǎo)電性前表面提供用于將外部接地及電力信號(hào)傳遞到致動(dòng)器裝置400的致動(dòng)器550的便利機(jī)構(gòu)。

盡管將本文中所揭示的致動(dòng)器描述為MEMS致動(dòng)器，但此描述僅是通過實(shí)例的方式，且不通過限制的方式。各種實(shí)施例可包含非MEMS致動(dòng)器、非MEMS致動(dòng)器的組件及/或非MEMS致動(dòng)器的特征。

因此，可提供適宜使用于廣泛多種不同電子裝置中的致動(dòng)器。也可提供對(duì)致動(dòng)器及/或由致動(dòng)器移動(dòng)的項(xiàng)目的運(yùn)動(dòng)控制。因而，可提供使用于電子裝置中的增強(qiáng)的小型相機(jī)。

根據(jù)各種實(shí)施例，提供用于小型相機(jī)的更小大小及增強(qiáng)的抗沖擊性。增強(qiáng)的制造技術(shù)可用于提供這些優(yōu)點(diǎn)及其它優(yōu)點(diǎn)。因此，此類制造技術(shù)可額外地增強(qiáng)小型相機(jī)的整體質(zhì)量及可靠性，同時(shí)也實(shí)質(zhì)上減小其成本。

在可適用之處，本文中闡明的各種組件可組合為復(fù)合組件及/或分離成子組件。在可適用之處，本文中描述的各種步驟的排序可改變，組合為復(fù)合步驟及/或分離成子步驟，以提供本文中描述的特征。

本文中描述的實(shí)施例說明本發(fā)明，但不限制本發(fā)明。也應(yīng)理解，根據(jù)本發(fā)明的原理，許多修改及變化為可能的。