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MEMS致動器對準的制作方法

文檔序號:12269323閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種制造設備的方法,所述方法包括:

形成致動器裝置,所述致動器裝置具有至少一個致動器、旋轉地耦合至所述至少一個致動器的平臺以及安置在所述致動器裝置的外周邊的多個徑向延伸的凸片,所述致動器具有圍繞樞轉軸線而相對于彼此旋轉移動的多個組件,所述樞轉軸線在所述多個組件的相對的組件之間延伸;

將光學元件放置于所述平臺上或所述平臺的中心開口內;

提供具有前表面的環形結構,所述前表面具有圍繞所述環形結構內的中心開口而布置的多個狹槽,每一狹槽具有與所述凸片中的對應者的相應側壁在配置上互補的側壁;以及

將所述凸片中的各凸片插入到所述狹槽中的對應者中以使得所述光學元件的光軸被放置為與所述環形結構的所述中心開口的中心軸線同軸。

2.根據權利要求1所述的方法,其進一步包括:

提供前蓋,所述前蓋具有中心開口以及安置在所述前蓋外周邊的多個徑向狹槽;以及

將所述前蓋附接到所述致動器裝置的前表面以使得所述徑向狹槽的每一者露出所述多個徑向延伸的凸片的對應者的前表面且所述前蓋的所述中心開口的中心軸線與所述光學元件的所述光軸同軸對準。

3.根據權利要求2所述的方法,其中:

所述多個徑向延伸的凸片中的至少一者的前表面通過導電材料進行鍍敷或涂覆,所述導電材料包括金、單晶硅和/或多晶硅的一者或多者,且

所述至少一個致動器的所述多個組件圍繞所述樞轉軸線而相對于彼此旋轉移動且其中所述樞轉軸線在所述多個組件的相對的邊緣之間延伸。

4.根據權利要求3所述的方法,其進一步包括通過所述徑向狹槽中的對應者將導線或柔性電路板電連接至所述表面。

5.根據權利要求3所述的方法,其中所述連接包括用導電粘合劑將所述導線或柔性電路板粘合到所述表面。

6.根據權利要求1所述的方法,其中:

所述致動器裝置包括單片結構且所述形成的步驟包括使用光刻技術;

所述平臺通過鉸鏈撓曲件而耦合至所述至少一個致動器;且

所述光學元件是第一光學元件。

7.根據權利要求6所述的方法,其進一步包括將第二光學元件放置于所述環形結構的所述中心開口內以使得所述第二光學元件的光軸被放置為與所述第一光學元件的所述光軸同軸。

8.根據權利要求6所述的方法,其進一步包括:

提供具有中心開口的環形透鏡鏡筒;

將第二光學元件放置于所述透鏡鏡筒的所述中心開口內;以及

將所述環形結構插入到所述透鏡鏡筒的所述中心開口內以使得所述凸片的外部圓周表面鄰接所述透鏡鏡筒的內圓周表面且所述第一光學元件的所述光軸與所述第二光學元件的光軸同軸對準。

9.根據權利要求1所述的方法,其進一步包括將所述設備并入到小型相機的透鏡鏡筒內。

10.根據權利要求9所述的方法,其進一步包括將所述小型相機并入到電子裝置內。

11.根據權利要求9所述的方法,其進一步包括利用所述至少一個致動器來實現所述小型相機的聚焦及變焦的至少一者。

12.一種設備,其包括:

致動器裝置,其具有至少一個致動器、旋轉地耦合至所述致動器的每一者的平臺以及安置在所述致動器裝置的外周邊的多個徑向延伸的凸片,所述致動器具有圍繞樞轉軸線而相對于彼此旋轉移動的多個組件,所述樞轉軸線在所述多個組件的相對的邊緣之間延伸;以及

光學元件,其安置于所述平臺上或所述平臺的開口內。

13.根據權利要求12所述的設備,其中所述至少一個致動器的致動致使所述平臺及所述光學元件沿著所述光學元件的光軸以平移移動而共同移動。

14.根據權利要求12所述的設備,其進一步包括:

具有前表面的環形結構,所述前表面具有圍繞所述環形結構內的中心開口而布置的多個狹槽,每一狹槽具有與所述凸片中的對應者的相應側壁在配置上互補的側壁,

其中所述凸片中的各凸片被安置于所述狹槽中的對應者中以使得所述光學元件的光軸被放置為與所述環形結構的所述中心開口的中心軸線同軸。

15.根據權利要求14所述的裝置,其進一步包括:

前蓋,其具有中心開口以及安置在所述前蓋外周邊的多個徑向狹槽,

其中所述前蓋被附接到所述致動器裝置的前表面以使得所述徑向狹槽的每一者露出所述凸片的對應者的前表面,且所述前蓋的所述中心開口的中心軸線與所述光學元件的所述光軸同軸對準。

16.根據權利要求14所述的設備,其中:

所述光學元件包括第一光學元件;且

進一步包括第二光學元件,所述第二光學元件放置于所述環形結構的所述中心開口內以使得所述第二光學元件的光軸被放置為與所述第一光學元件的光軸同軸。

17.根據權利要求16所述的設備,其進一步包括:

具有中心開口的環形透鏡鏡筒以及放置于所述中心開口內的所述第二光學元件以使得所述第二光學元件的光軸與所述中心開口的中心軸線同軸對準,

其中所述環形結構放置于所述透鏡鏡筒的所述中心開口內以使得所述凸片的外部圓周表面鄰接所述透鏡鏡筒的內圓周表面且所述光學元件的所述光軸與所述第二光學元件的所述光軸同軸對準。

18.根據權利要求14所述的設備,其中所述狹槽的每一者由安置于所述環形結構的所述前表面上的一對凸起安裝特征界定且所述平臺通過鉸鏈撓曲件而耦合至所述致動器的每一者。

19.根據權利要求16所述的設備,其中所述第一光學元件和所述第二光學元件的至少一者包括透鏡、一組透鏡、固定孔徑、可變孔徑、快門、鏡、棱鏡、空間光調節器、衍射光柵、激光器、LED和/或光檢測器。

20.根據權利要求12所述的設備,其中所述至少一個致動器的旋轉移動致使所述平臺及所述第一光學元件沿著所述第一光學元件的光軸以完全平移移動而共同移動。

21.一種并入有根據權利要求12所述的設備的透鏡鏡筒。

22.一種并入有根據權利要求21所述的透鏡鏡筒的小型相機。

23.一種并入有根據權利要求22所述的小型相機的電子裝置。

24.一種并入有根據權利要求12所述的設備的蜂窩式電話、膝上型計算機、個人數字助手或監視裝置。

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