本發(fā)明屬于精密調(diào)整技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在光機(jī)設(shè)計(jì)中，機(jī)械結(jié)構(gòu)部分的設(shè)計(jì)要保證光學(xué)零件之間的相互位置準(zhǔn)確，在現(xiàn)有加工技術(shù)條件下或者在成本限制的條件下，光機(jī)結(jié)構(gòu)無(wú)法靠加工滿足所需要的精度，這時(shí)就需要采用調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行調(diào)整，使之滿足設(shè)計(jì)精度要求，達(dá)到光學(xué)系統(tǒng)的最佳性能。高精度干涉儀光機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，光學(xué)元件的空間定位精度要求高，因此對(duì)用于光學(xué)元件固定支撐的機(jī)械結(jié)構(gòu)精度提出了挑戰(zhàn)，受現(xiàn)有機(jī)械加工設(shè)備、加工工藝、加工成本的限制，機(jī)械結(jié)構(gòu)難以達(dá)到高的加工精度，這就需要采用調(diào)節(jié)裝置對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行調(diào)整，以滿足高精度干涉儀光學(xué)系統(tǒng)的性能要求。

目前，光學(xué)元件微動(dòng)調(diào)整裝置局限于機(jī)械調(diào)整式、壓電調(diào)整式、壓力調(diào)整式和磁滯伸縮式，尤其以機(jī)械調(diào)整式和壓電調(diào)整式居多。采用壓電式調(diào)整裝置，需要配備復(fù)雜的控制系統(tǒng)，增加了成本和光機(jī)系統(tǒng)的復(fù)雜性，使得整個(gè)光機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)過(guò)于笨重。公開(kāi)號(hào)為US6930842的美國(guó)專利，公開(kāi)了一種采用壓電式調(diào)整的微動(dòng)調(diào)整裝置，應(yīng)用于日本Nikon公司的調(diào)整光刻物鏡，整個(gè)調(diào)整系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，應(yīng)用了許多柔性鉸機(jī)構(gòu)，難以保證加工精度，雖然它的調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝沿鏡座切線分布，但是依然需要較大的調(diào)整空間。

對(duì)于高精度干涉儀主機(jī)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，光學(xué)元件尺寸相對(duì)較小，光機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中應(yīng)使其：結(jié)構(gòu)小巧、簡(jiǎn)潔、重量輕，容易進(jìn)行環(huán)境控制，并且高精度干涉儀主機(jī)結(jié)構(gòu)光學(xué)元件安裝調(diào)整后一般要固定封裝，避免多次調(diào)整拆裝，影響光學(xué)元件的重復(fù)性定位精度。壓電式調(diào)整裝置，一般外形尺寸較大，放在鏡框或鏡座內(nèi)無(wú)法取出，造成整個(gè)干涉儀主機(jī)結(jié)構(gòu)尺寸過(guò)于龐大、主機(jī)結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，不利于后期的環(huán)境控制。機(jī)械式調(diào)整裝置，沒(méi)有復(fù)雜的控制系統(tǒng)，可以根據(jù)提供的鏡框或鏡座的空間，設(shè)計(jì)機(jī)械式調(diào)整裝置的尺寸大小，自由的設(shè)計(jì)機(jī)械式調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的形式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，實(shí)現(xiàn)方便。公開(kāi)號(hào)為US659409的美國(guó)專利公開(kāi)了一種用于調(diào)整光刻物鏡的機(jī)械式調(diào)整裝置，該調(diào)整裝置中機(jī)械式調(diào)整裝置，大多采用柔性鉸機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，成本低，容易實(shí)現(xiàn)。但是此發(fā)明僅限于調(diào)整光刻物鏡沿光軸方向的位移和傾斜，不能沿光學(xué)元件的徑向調(diào)節(jié)，可調(diào)節(jié)自由度較少。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提出一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的難以保證加工精度、占用較大的調(diào)整空間以及可調(diào)節(jié)自由度少的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括光學(xué)元件、壓框、鏡框、鏡座、傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)和徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)；

所述光學(xué)元件通過(guò)壓框固定在鏡框上，所述鏡框外側(cè)設(shè)置有鏡座，所述光學(xué)元件和所述鏡框連接處分別設(shè)置有一組傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行傾斜調(diào)整，所述鏡框和所述鏡座連接處分別設(shè)置有一組徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，對(duì)鏡框整體進(jìn)行徑向調(diào)整；

所述光學(xué)元件外圓周均布三個(gè)凸緣；

所述壓框?yàn)橥鈭A周均布三個(gè)凸臺(tái)的環(huán)形結(jié)構(gòu)；所述壓框的三個(gè)凸臺(tái)下端面分別和光學(xué)元件的三個(gè)凸緣上端面接觸；

所述鏡框?yàn)榄h(huán)形結(jié)構(gòu)，內(nèi)側(cè)壁圓周均布三個(gè)定位滑槽，鏡框內(nèi)側(cè)壁每個(gè)定位滑槽下端分別加工有支撐結(jié)構(gòu)A；所述鏡框下端面圓周均布三個(gè)下定位槽，每個(gè)下定位槽位于相鄰兩個(gè)定位滑槽之間；所述光學(xué)元件的三個(gè)凸緣下端面分別和所述支撐結(jié)構(gòu)A上端面接觸，凸臺(tái)和凸緣與對(duì)應(yīng)的定位滑槽配合；

所述鏡座內(nèi)側(cè)壁圓周均布三個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B，每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B分別和鏡框下端面的一個(gè)下定位槽配合。

所述光學(xué)元件和所述鏡框連接處分別設(shè)置有一組傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)具體為：所述壓框的每個(gè)凸臺(tái)上設(shè)置有軸向的螺紋孔A，所述鏡框上的每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)A上表面設(shè)置有軸向的光孔；內(nèi)側(cè)壁沿徑向開(kāi)有方槽，所述鏡框側(cè)壁與所述方槽對(duì)應(yīng)位置開(kāi)有徑向的螺紋孔B；

所述傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括壓緊螺釘A、壓簧A、滾珠A、微調(diào)螺釘A、傾斜微調(diào)楔塊、滾珠B和擋板；所述壓緊螺釘A和所述螺紋孔A螺紋連接，所述螺紋孔A下端和所述滾珠A接觸，所述滾珠A下端和所述光學(xué)元件的凸緣上表面接觸，所述滾珠A和所述壓緊螺釘A之間設(shè)置有一個(gè)壓簧A；所述擋板通過(guò)螺釘固定在所述支撐結(jié)構(gòu)A內(nèi)側(cè)壁上，所述傾斜微調(diào)楔塊設(shè)置在方槽中，大尺寸一端位于外側(cè)，所述傾斜微調(diào)楔塊和所述擋板之間設(shè)置有一個(gè)壓簧A，所述微調(diào)螺釘A和所述鏡框上的螺紋孔B螺紋連接，所述微調(diào)螺釘A端部和所述傾斜微調(diào)楔塊端面接觸，所述滾珠B位于所述支撐結(jié)構(gòu)A上的光孔上，下端和所述傾斜微調(diào)楔塊接觸，上端和所述光學(xué)元件的凸緣下表面接觸。

所述鏡座側(cè)壁與所述鏡框上的螺紋孔B相對(duì)應(yīng)位置開(kāi)有槽口。

所述鏡框和所述鏡座連接處分別設(shè)置有一組徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)具體為：所述鏡框側(cè)壁和所述下凹槽對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有螺紋孔C，所述鏡座上的每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B上端的鏡座內(nèi)側(cè)壁上開(kāi)有T型滑槽，每個(gè)所述支撐結(jié)構(gòu)B上端面遠(yuǎn)離側(cè)壁位置開(kāi)有定位孔，支撐結(jié)構(gòu)B內(nèi)開(kāi)有徑向的方孔，方孔上端開(kāi)孔，外側(cè)穿過(guò)鏡座外壁和外部連通；

每組所述的徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括壓緊螺釘B、彈片、柔性鉸、微調(diào)螺釘B、徑向微調(diào)楔塊、壓簧B、滾珠C和擋塊；所述壓緊螺釘B和所述螺紋孔C螺紋連接，端部和所述壓框側(cè)壁接觸，所述滾珠C設(shè)置在每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B上的定位孔中，上端和壓框的下凹槽端面接觸，所述徑向微調(diào)楔塊設(shè)置在方孔中，大尺寸一端位于外側(cè)，所述徑向微調(diào)楔塊和方孔內(nèi)壁之間設(shè)置有一個(gè)壓簧B，所述擋塊通過(guò)螺釘固定在鏡座外側(cè)壁方孔對(duì)應(yīng)位置，所述微調(diào)螺釘B和所述擋塊螺紋配合，端部和所述徑向微調(diào)楔塊接觸，用于徑向調(diào)節(jié)的菱形的柔性鉸一端通過(guò)螺釘固定在T型滑槽的豎直槽內(nèi)，另一端和所述鏡框接觸，下端和徑向微調(diào)楔塊上端面接觸；具有豎直方向柔性的彈片一端固定在所述T型滑槽的水平槽內(nèi)，另一端和所述鏡框上端面接觸。

所述柔性鉸包括固定板、柔性狹縫A、徑向圓弧接觸點(diǎn)和垂向圓弧接觸點(diǎn)；所述固定板通過(guò)螺釘固定在所述T型滑槽的豎直槽內(nèi)，四組所述柔性狹縫A構(gòu)成菱形結(jié)構(gòu)，所述徑向圓弧接觸點(diǎn)和所述鏡框的外側(cè)壁接觸，所述垂向圓弧接觸點(diǎn)和所述徑向微調(diào)楔塊上端面接觸。

所述彈片包括定位板和定位爪，所述定位爪一端和所述定位板的一個(gè)側(cè)壁固定，另一端下端面為圓弧壓緊點(diǎn)，定位板與定位爪固定的側(cè)壁和定位板整體之間開(kāi)有柔性狹縫B，所述定位板通過(guò)螺釘固定在所述T型滑槽的水平槽內(nèi)，所述定位爪的圓弧壓緊點(diǎn)和鏡框上端面接觸。

所述鏡框上端面和所述下凹槽對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有上凹槽，所述定位爪的圓弧壓緊點(diǎn)和所述上凹槽接觸。

所述鏡座上端外沿處還設(shè)置有多個(gè)圓周均布的槽孔，多個(gè)鏡座同軸設(shè)置時(shí)，多個(gè)鏡座位于同一軸線上的多組槽孔分別通過(guò)一個(gè)鎖緊機(jī)構(gòu)連接固定。

所述鎖緊機(jī)構(gòu)為螺桿結(jié)構(gòu)，螺桿結(jié)構(gòu)穿過(guò)位于同一軸線上的槽孔，兩端通過(guò)螺母固定。

本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)光學(xué)元件微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)為傾斜和徑向調(diào)整，均為三組120°圓周分布。光學(xué)元件在加工時(shí)，圓周上留出三個(gè)均布的凸緣，用于光學(xué)元件的傾斜調(diào)整，光學(xué)元件的三個(gè)凸緣通過(guò)三個(gè)滾珠支撐在鏡框凸臺(tái)上，滾珠安放在鏡框凸臺(tái)上的小螺紋孔內(nèi)，三個(gè)滾珠能保證光學(xué)元件為三點(diǎn)支撐，沒(méi)有過(guò)約束現(xiàn)象。通過(guò)調(diào)節(jié)微動(dòng)螺釘，推動(dòng)放在鏡框凸緣里的傾斜微調(diào)楔塊，傾斜微調(diào)楔塊滑動(dòng)時(shí)推動(dòng)滾珠在圓槽內(nèi)上下移動(dòng)，通過(guò)合理的調(diào)節(jié)三個(gè)均布的傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件繞X軸或Y軸的旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到光學(xué)元件的傾斜調(diào)整；而在三個(gè)傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)同步微動(dòng)時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件沿Z軸的平移。鏡框的下端均勻分布有三個(gè)下凹槽，鏡框安放在帶有支撐結(jié)構(gòu)的鏡座上，鏡框和鏡座之間有三個(gè)滾珠，三個(gè)滾珠能保證鏡框?yàn)槿c(diǎn)支撐，沒(méi)有過(guò)約束現(xiàn)象，鏡座內(nèi)壁均布安放有三個(gè)柔性鉸機(jī)構(gòu)，柔性鉸一個(gè)端面緊靠在鏡框外圓柱壁上，通過(guò)調(diào)整安放在鏡座支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)的徑向微調(diào)楔塊，徑向微調(diào)楔塊沿光學(xué)元件的徑向滑動(dòng)，推動(dòng)柔性鉸上下運(yùn)動(dòng)，柔性鉸為菱形結(jié)構(gòu)，柔性鉸的上下運(yùn)動(dòng)就轉(zhuǎn)化為鏡框的徑向運(yùn)動(dòng)，光學(xué)元件和鏡框此時(shí)相對(duì)固定，從而調(diào)整光學(xué)元件的徑向運(yùn)動(dòng)，合理的調(diào)整三個(gè)徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，就能使光學(xué)元件沿X軸和Y軸平移。

本發(fā)明采用楔塊與滾珠和柔性鉸等結(jié)構(gòu)組合，實(shí)現(xiàn)低成本高精度的透鏡元件的徑向和傾斜調(diào)整，采用壓簧來(lái)防止調(diào)整機(jī)構(gòu)產(chǎn)生回程誤差；并且微調(diào)螺釘孔均在鏡座外圓柱面上，安裝后調(diào)整方便，也便于實(shí)現(xiàn)多個(gè)透鏡組組合在一起調(diào)整。本發(fā)明中的結(jié)構(gòu)件分別加工，容易保證加工精度，調(diào)整過(guò)程中徑向調(diào)整和傾斜調(diào)整均在鏡座外壁處實(shí)現(xiàn)，避免占用較大的調(diào)整空間，可調(diào)節(jié)自由度多。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)光學(xué)元件調(diào)整的五個(gè)自由度示意圖；

圖2為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中壓框、鏡框和鏡座安裝爆炸圖；

圖4為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中光學(xué)元件結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中壓框結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中鏡框結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中鏡座結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖9為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)示意圖；

圖10為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)示意圖；

圖11為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中柔性鉸結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中彈片結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中徑向微調(diào)楔塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖14為本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)中擋塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖15為多個(gè)本發(fā)明的一種光學(xué)元件的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)同軸連接結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1、光學(xué)元件，101、凸緣，2、壓框，201、凸臺(tái)，202、螺紋孔A，3、鏡框，301、定位滑槽，302、支撐結(jié)構(gòu)A，303、光孔，304、方槽，305、螺紋孔B，306、上凹槽，307、下凹槽，308、螺紋孔C，4、鏡座，401、支撐結(jié)構(gòu)B，402、定位孔，403、方孔，404、T型滑槽，405、槽口，406、槽孔，5、傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，501、壓緊螺釘A，502、壓簧A，503、滾珠A，504、滾珠B，505、微調(diào)螺釘A，506、傾斜微調(diào)楔塊，507、擋板，6、徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，601、壓緊螺釘B，602、彈片，6021、定位板，6022、定位爪，6023、圓弧壓緊點(diǎn)，6024、柔性狹縫B，603、柔性鉸，6031、固定板，6032、柔性狹縫A，6033、徑向圓弧接觸點(diǎn)，6034、垂向圓弧接觸點(diǎn)，604、微調(diào)螺釘B，605、擋塊，606、徑向微調(diào)楔塊，607、壓簧B，608、滾珠C，7、鎖緊機(jī)構(gòu)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明。

參見(jiàn)附圖1，本發(fā)明的一種光學(xué)元件1的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件1沿X軸、Y軸、Z軸的位移調(diào)整和繞X軸、Y軸的傾斜調(diào)整，特別適用于高精度干涉儀主光路系統(tǒng)中各光學(xué)元件1的精密調(diào)整定位。進(jìn)行光學(xué)元件1傾斜和徑向調(diào)整的微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整螺釘都在鏡座4的外圓柱表面，這樣就可以把幾組光學(xué)元件1的微動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組合在一起，對(duì)各個(gè)光學(xué)元件1單獨(dú)進(jìn)行調(diào)整。

參見(jiàn)附圖2-附圖7，本發(fā)明的一種光學(xué)元件1的五自由度微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括光學(xué)元件1、壓框2、鏡框3、鏡座4、傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5和徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)6；

所述光學(xué)元件1通過(guò)壓框2固定在鏡框3上，所述鏡框3外側(cè)設(shè)置有鏡座4，所述光學(xué)元件1和所述鏡框3搭接處分別設(shè)置有一組傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5，對(duì)光學(xué)元件1進(jìn)行傾斜調(diào)整，所述鏡框3和所述鏡座4連接處分別設(shè)置有一組徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)6，對(duì)鏡框3整體進(jìn)行徑向調(diào)整；

所述光學(xué)元件1外圓周均布三個(gè)凸緣101；

所述壓框2為外圓周均布三個(gè)凸臺(tái)201的環(huán)形結(jié)構(gòu)；所述壓框2的三個(gè)凸臺(tái)201下端面分別和光學(xué)元件1的三個(gè)凸緣101上端面接觸；

所述鏡框3為環(huán)形結(jié)構(gòu)，內(nèi)側(cè)壁圓周均布三個(gè)定位滑槽301，鏡框3內(nèi)側(cè)壁每個(gè)定位滑槽301下端分別加工有支撐結(jié)構(gòu)A302；所述鏡框3下端面圓周均布三個(gè)下定位槽，每個(gè)下定位槽位于相鄰兩個(gè)定位滑槽301之間；所述光學(xué)元件1的三個(gè)凸緣101下端面分別和所述支撐結(jié)構(gòu)A302上端面接觸，凸臺(tái)201和凸緣101與對(duì)應(yīng)的定位滑槽301配合；

所述鏡座4內(nèi)側(cè)壁圓周均布三個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B401，每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B401分別和鏡框3下端面的一個(gè)下定位槽配合。

參見(jiàn)附圖8和附圖9，所述光學(xué)元件1和所述鏡框3搭接處分別設(shè)置有一組傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5具體為：所述壓框2的每個(gè)凸臺(tái)201上設(shè)置有軸向的螺紋孔A202，所述鏡框3上的每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)A302上表面設(shè)置有軸向的光孔303，和螺紋孔A202相對(duì)應(yīng)；內(nèi)側(cè)壁沿徑向開(kāi)有方槽304，所述鏡框3側(cè)壁與所述方槽304對(duì)應(yīng)位置開(kāi)有徑向的螺紋孔B305；

所述傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5包壓緊螺釘A501、壓簧A502、滾珠A503、微調(diào)螺釘A505、傾斜微調(diào)楔塊506、滾珠B504和擋板507；所述壓緊螺釘A501和所述螺紋孔A202螺紋連接，所述螺紋孔A202下端和所述滾珠A503接觸，所述滾珠A503下端和所述光學(xué)元件1的凸緣101上表面接觸，所述滾珠A503和所述壓緊螺釘A501之間設(shè)置有一個(gè)壓簧A502；所述擋板507通過(guò)螺釘固定在所述支撐結(jié)構(gòu)A302內(nèi)側(cè)壁上，所述傾斜微調(diào)楔塊506設(shè)置在方槽304中，大尺寸一端位于外側(cè)，所述傾斜微調(diào)楔塊506和所述擋板507之間設(shè)置有一個(gè)壓簧A502，所述微調(diào)螺釘A505和所述鏡框3上的螺紋孔B305螺紋連接，所述微調(diào)螺釘A505端部和所述傾斜微調(diào)楔塊506端面接觸，所述滾珠B504位于所述支撐結(jié)構(gòu)A302上的光孔303上，下端和所述傾斜微調(diào)楔塊506接觸，上端和所述光學(xué)元件1的凸緣101下表面接觸。當(dāng)調(diào)整透鏡繞X軸或Y軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋進(jìn)微調(diào)螺釘使其推動(dòng)傾斜微調(diào)楔塊506沿透鏡徑向方向滑動(dòng)，此時(shí)壓簧A502壓縮，對(duì)傾斜微調(diào)楔塊506產(chǎn)生的推力能有效防止微調(diào)螺釘A505由于螺紋間隙產(chǎn)生的空程和跳動(dòng)，傾斜微調(diào)楔塊506徑向滑動(dòng)推動(dòng)滾珠B504在鏡框3的光孔303內(nèi)向上運(yùn)動(dòng)，滾珠B504推動(dòng)光學(xué)元件1的凸緣101向上運(yùn)動(dòng)，從而使光學(xué)元件1發(fā)生微小傾斜，通過(guò)合理的調(diào)整三個(gè)均布的傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5，就能使透鏡繞X軸或者Y軸旋轉(zhuǎn)，達(dá)到所需要的透鏡傾斜精度要求。光學(xué)元件1的凸緣101向上運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，推動(dòng)滾珠A503向上運(yùn)動(dòng)，滾珠A503向上的運(yùn)動(dòng)使對(duì)應(yīng)的壓簧A502產(chǎn)生了對(duì)滾珠A503的壓力，滾珠A503和滾珠B504對(duì)光學(xué)元件1始終有著壓緊力，保證光學(xué)元件1調(diào)整后的位置穩(wěn)定。當(dāng)三個(gè)圓周均布的傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5的微調(diào)螺釘A505同步旋進(jìn)或者旋出時(shí)，則可使光學(xué)元件1沿著Z軸上下平移，達(dá)到相鄰兩個(gè)透鏡組之間距離精度的要求。

所述鏡座4側(cè)壁與所述鏡框3上的螺紋孔B305相對(duì)應(yīng)位置開(kāi)有槽口405。留出空間，供調(diào)節(jié)安裝在鏡框3上的調(diào)節(jié)螺釘A之用。

參見(jiàn)附圖10、附圖13和附圖14，所述鏡框3和所述鏡座4搭接處分別設(shè)置有一組徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)6具體為：所述鏡框3側(cè)壁和所述下凹槽307對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有螺紋孔C308，所述鏡座4上的每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B401上端的鏡座4內(nèi)側(cè)壁上開(kāi)有T型滑槽404，每個(gè)所述支撐結(jié)構(gòu)B401上端面遠(yuǎn)離側(cè)壁位置開(kāi)有定位孔402，支撐結(jié)構(gòu)B401內(nèi)開(kāi)有徑向的方孔403，方孔403上端開(kāi)孔，外側(cè)穿過(guò)鏡座4外壁和外部連通；

每組所述的徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)6包括壓緊螺釘B601、彈片602、柔性鉸603、微調(diào)螺釘B604、徑向微調(diào)楔塊606、壓簧B607、滾珠C608和擋塊605；所述壓緊螺釘B601和所述螺紋孔C308螺紋連接，端部和所述壓框2側(cè)壁接觸，所述滾珠C608設(shè)置在每個(gè)支撐結(jié)構(gòu)B401上的定位孔402中，上端和壓框2的下凹槽307端面接觸，所述徑向微調(diào)楔塊606設(shè)置在方孔403中，大尺寸一端位于外側(cè)，所述徑向微調(diào)楔塊606和方孔403內(nèi)壁之間設(shè)置有一個(gè)壓簧B607，所述擋塊605通過(guò)螺釘固定在鏡座4外側(cè)壁方孔403對(duì)應(yīng)位置，所述微調(diào)螺釘B604和所述擋塊605螺紋配合，端部和所述徑向微調(diào)楔塊606接觸，用于徑向調(diào)節(jié)的菱形的柔性鉸603一端通過(guò)螺釘固定在T型滑槽404的豎直槽內(nèi)，另一端和所述鏡框3接觸，下端和徑向微調(diào)楔塊606上端面接觸；具有豎直方向柔性的彈片602一端固定在所述T型滑槽404的水平槽內(nèi)，另一端和所述鏡框3上端面接觸。進(jìn)行光學(xué)元件1的徑向調(diào)整時(shí)，旋進(jìn)微調(diào)螺釘B604推動(dòng)徑向微調(diào)楔塊606沿透鏡徑向滑動(dòng)，壓簧B607保證調(diào)整時(shí)微調(diào)螺釘B604沒(méi)有空程和跳動(dòng)現(xiàn)象，徑向微調(diào)楔塊606徑向滑動(dòng)，推動(dòng)柔性鉸603的垂向圓弧接觸點(diǎn)6034向上運(yùn)動(dòng)，柔性鉸603產(chǎn)生變形向上移動(dòng)，柔性鉸603的徑向圓弧接觸點(diǎn)6033就推動(dòng)鏡框3外壁沿光學(xué)元件1徑向移動(dòng)；滾珠C608安放在鏡座4的定位孔402中，滾珠C608支撐鏡框3的下端面，保證鏡框3為三點(diǎn)支撐且能沿透鏡徑向滑動(dòng)，鏡框3上端面被彈片602壓緊，壓緊螺釘B601安裝在鏡框3的螺釘孔C上，且壓緊螺釘B601頂住壓框2，透鏡、壓框2、鏡框3就相對(duì)固定，這樣鏡框3的徑向移動(dòng)就變成透鏡的徑向移動(dòng)。通過(guò)合理的調(diào)整圓周均布的三個(gè)徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)6就能使光學(xué)元件1沿著X軸、Y軸移動(dòng)，達(dá)到透鏡所需要的位置精度要求。

參見(jiàn)附圖11，所述柔性鉸603包括固定板6031、柔性狹縫A6032、徑向圓弧接觸點(diǎn)6033和垂向圓弧接觸點(diǎn)6034；所述固定板6031通過(guò)螺釘固定在所述T型滑槽404的豎直槽內(nèi)，四組所述柔性狹縫A6032構(gòu)成菱形結(jié)構(gòu)，當(dāng)垂向圓弧接觸點(diǎn)6034垂直上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)使徑向圓弧接觸點(diǎn)603330產(chǎn)生水平的運(yùn)動(dòng)，所述徑向圓弧接觸點(diǎn)6033和所述鏡框3的外側(cè)壁接觸，所述垂向圓弧接觸點(diǎn)6034和所述徑向微調(diào)楔塊606上端面接觸。

參見(jiàn)附圖12，所述彈片602包括定位板6021和定位爪6022，所述定位爪6022一端和所述定位板6021的一個(gè)側(cè)壁固定，另一端下端面為圓弧壓緊點(diǎn)6023，定位板6021與定位爪6022固定的側(cè)壁和定位板6021整體之間開(kāi)有柔性狹縫B6024，所述定位板6021通過(guò)螺釘固定在所述T型滑槽404的水平槽內(nèi)，所述定位爪6022的圓弧壓緊點(diǎn)6023和鏡框3上端面接觸。

所述鏡框3上端面和所述下凹槽307對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有上凹槽306，所述定位爪6022的圓弧壓緊點(diǎn)6023和所述上凹槽306接觸。

所述鏡座4上端外沿處還設(shè)置有多個(gè)圓周均布的槽孔406，多個(gè)鏡座4同軸設(shè)置時(shí)，多個(gè)鏡座4位于同一軸線上的多組槽孔406分別通過(guò)一個(gè)鎖緊機(jī)構(gòu)7連接固定。

安裝時(shí)，先安裝好鏡框3的傾斜微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)5，然后把光學(xué)元件1安裝在鏡框3中，再把壓框2安裝在鏡框3中，用壓緊螺釘A501鎖死壓框2；鏡框3坐在安裝好滾珠C608和徑向微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)6的鏡座4中，用彈片602把鏡框3固定。

參見(jiàn)附圖15，所述鎖緊機(jī)構(gòu)7為螺桿結(jié)構(gòu)，螺桿結(jié)構(gòu)穿過(guò)位于同一軸線上的槽孔406，兩端通過(guò)螺母固定。