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外延片曝光裝置的制作方法

文檔序號:11152889閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明公開了一種外延片曝光裝置,包括影像定準器,影像定準器頂部設有數字電子偏振畫面捕捉結構,數字電子偏振畫面捕捉結構與影像定準器之間安裝有曝光燈,數字電子偏振畫面捕捉結構與影像定準器之間通過可調節裝置連接,影像定準器底部位于一操作平臺上,影像定準器與操作平臺之間鉸接,操作平臺靠近兩側面下表面處安裝有云臺,云臺與操作平臺之間固定連接,兩云臺之間連接有耗能板,耗能板不止一個,耗能板上設有導軌。本外延片曝光裝置提高了設備的制動化和智能化程度,使得安全系數大幅度提高,提高了曝光精度,使其線條更加均勻,同時延長了曝光設備的使用壽命,具有良好的調節性,調試簡單,方便操作。

技術研發人員:姚海林
受保護的技術使用者:東莞唯度電子科技服務有限公司
文檔號碼:201611010280
技術研發日:2016.11.17
技術公布日:2017.05.10

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