技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
公開光刻膠組合物和制造圖案化器件的方法。所述光刻膠組合物包括：包括結(jié)合有含硅離去基團(tuán)的重復(fù)單元的光刻膠聚合物、包括氟化锍的光致產(chǎn)氟劑、和溶劑。

技術(shù)研發(fā)人員：樸珍;金賢友;韓鎮(zhèn)圭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星電子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.08
技術(shù)公布日：2017.07.18