技術總結
本發明公開了一種硅陣列結構的太赫茲波偏振分束器。它包括基底層、中央矩形硅波導、左一長矩形硅波導、左二長矩形硅波導、左三長矩形硅波導、中一短矩形硅波導、中二短矩形硅波導、中三短矩形硅波導、下一長矩形硅波導、下二長矩形硅波導、右一長矩形硅波導、倒L形硅波導、右二長矩形硅波導、L形硅波導、信號輸入端、第一信號輸出端、第二信號輸出端，信號從信號輸入端輸入，第一信號輸出端輸出TE波，第二信號輸出端輸出TM波，獲得偏振分束性能。本發明具有結構簡單、分束率高，尺寸小，成本低、易于集成等優點。

技術研發人員：章樂;李九生
受保護的技術使用者：中國計量大學
文檔號碼：201611160713
技術研發日：2016.12.15
技術公布日：2017.02.15