技術特征：

1.一種用于DMD無掩膜光刻機的高速圖像曝光方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)、設原始待曝光圖像是一幅分辨率為m×n的一位位圖圖像，數字微鏡器件DMD的分辨率為r×c；掃描帶圖像預處理模塊對原始待曝光圖像進行分割,其中，m、n分別表示待曝光圖像的行數和列數，r、c分別DMD中微鏡陣列的行數和列數；

(1.1)、為處理掃描式曝光工藝中在待刻蝕的基片未完全進入和未完全離開DMD視場時，對于未進入和已離開的部分，DMD需要顯示全黑的情況，將原始m×n的圖像兩側分別添加r行0，擴展為一幅(m+2r)×n的圖像；

(1.2)、再將擴展后的圖像分割為個(m+2r)×c大小的掃描帶圖像，若n不是c的整數倍，則需要對最后一個掃描帶補列0，其中，表示n/c向上取整；

(1.3)、將分割后的個掃描帶圖像的數據按照光刻掃描方向依次通過通信接口發送到掃描帶圖像存儲模塊；

(2)、掃描帶圖像存儲模塊在存儲器中從基地址D₀開始，向高字節地址開辟字節的內存空間，再從基地址D₀開始，將接收到的個掃描帶圖像的數據按照掃描方向逐行依次存儲在所開辟的內存空間中；

(3)、可變步長高速實時曝光圖像處理模塊從存儲設備中獲取掃描帶圖像數據，根據可設置的掃描步長d和掃描曝光信號，按照以下步驟進行高速實時曝光圖像處理；

(3.1)、掃描觸發子模塊接收工件臺運動掃描曝光信號信號，使高速實時曝光圖像拼接動作同時觸發；

(3.2)、曝光圖像拼接子模塊根據可設置的掃描步長d和DMD掃描曝光圖像計數器N的值確定實時掃描曝光圖像每次拼接的內存地址位置D_t+ND₁d，并將該位置作為圖像刷新子模塊每次拼接操作的起始地址，其中，D_t＝D₀+(t-1)(m+2r)D₁表示第t個掃描帶圖像在存儲器內存中的基地址，t為掃描帶圖像編號，D₁表示一行DMD掃描曝光圖像數據所占用內存空間的地址數；

(3.3)、曝光圖像刷新子模塊從存儲器中高速讀取掃描帶圖像數據，從步驟(3.2)中所得的起始位置開始，每次連續讀取c比特的數據，組成DMD曝光圖像的一行，再依次將r行圖像數據拼接成一幀新的DMD曝光圖像，并實時發送到基于曝光圖像信息的微鏡陣列控制模塊，用于替換DMD的前一幀曝光圖像，從而生成連續的DMD高速實時曝光圖像序列；

(4)、基于曝光圖像信息的微鏡陣列控制模塊實時接收步驟(3)中生成的DMD高速實時曝光圖像數據，并將圖像數據逐行加載到DMD微結構的CMOS存儲器中，等待加載完r行數據后，基于曝光圖像信息自動控制DMD微鏡陣列快速翻轉到正確的位置，使曝光圖像正確顯示在DMD上，從而完成對DMD實時曝光圖像序列的顯示和控制。

2.一種用于DMD無掩膜光刻機的高速圖像曝光方法，其特征在于，所述的掃描步長d可設置為1到r，r表示DMD中微鏡陣列的行數。