技術總結
本發明公開了一種用于DMD無掩膜光刻機的高速圖像曝光方法，優化DMD光刻曝光控制流程，避免了直接由上位機軟件發送實時曝光圖像到DMD進行曝光，而是利用存儲設備對待加工圖像進行緩存，通過DMD控制板代替上位機軟件完成高速實時曝光圖像處理，無需對每一幀DMD實時曝光圖像都進行一次通信接口傳輸，減少傳輸數據量，有效地減小通信接口的傳輸速率對光刻效率的限制，在實際曝光階段，只是從外部存儲設備中直接獲取曝光圖像信息，并基于曝光圖像信息自動控制DMD微鏡陣列完成快速翻轉，充分發揮硬件控制板的高速數據傳輸和強大的時序控制能力的優勢，大大縮短了數據傳輸時間，提高DMD圖像曝光速度，提升了DMD無掩膜光刻機的工作效率。

技術研發人員：鄒見效;彭超;池文明;徐紅兵;何健
受保護的技術使用者：電子科技大學
文檔號碼：201611179384
技術研發日：2016.12.19
技術公布日：2017.05.10