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正型感光性轉印材料和電路布線的制造方法與流程

文檔序號:11706838閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
提供一種正型感光性轉印材料和電路布線的制造方法,即便在低溫且高速下對基板貼合也具有高密合性,能夠以高分辨率形成電路布線。正型感光性轉印材料(100)和使用其的電路布線的制造方法,所述正型感光性轉印材料(100)具有臨時支撐體(12)和正型感光性樹脂層(14),所述正型感光性樹脂層(14)包含具有式A所示的結構單元且重均分子量為1.0×105以下的聚合物、重均分子量比具有式A所示的結構單元的聚合物小的增塑劑和光產酸劑。R31和R32各自獨立地表示氫原子、烷基或芳基,至少R31和R32中的任一者為烷基或芳基,R33表示烷基或芳基,R31或R32與R33可以連結而形成環狀醚,R34表示氫原子或甲基,X0表示單鍵或亞芳基。

技術研發人員:片山晃男;漢那慎一
受保護的技術使用者:富士膠片株式會社
技術研發日:2016.12.20
技術公布日:2017.07.18
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