技術特征：

技術總結
本發明涉及光刻膠組合物、形成圖案的方法和制造半導體器件的方法。光刻膠組合物包括：包含光刻膠聚合物和染料樹脂的共混物的光敏樹脂、光致產酸劑、和溶劑，其中基于所述光敏樹脂的總重量，所述染料樹脂的量在約20重量％?約80重量％的范圍內。

技術研發人員：金洙榮;崔在喜;李政勛;金富得;李浚齊;金年洙
受保護的技術使用者：三星電子株式會社
技術研發日：2016.12.21
技術公布日：2017.08.18