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一種波長間距漸變的準梳狀濾光片的制作方法

文檔序號:12457704閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,包括基底以及設置在基底第一面上的四重周期多層膜{[(HL)p1(xHyL)p2]q}s和基底第二面上的帶通濾光片;

其中,p1、p2、q和s分別為四重周期多層膜的周期數(shù),并為正整數(shù);

H和L分別表示四分之一波長膜厚的高折射率膜層和低折射率膜層;

x,y為四分之一波長膜層厚度系數(shù);

所述的高折射率膜層為五氧化三鈦,所述的低折射率膜層為二氧化硅;

所述的基底為光學玻璃。

2.根據(jù)權利要求1所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,所述的周期數(shù)p1、p2取等值,且取值6~8的整數(shù),周期數(shù)q取值2~6的整數(shù),s取值2~6的整數(shù)。

3.根據(jù)權利要求2所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,p1、p2取值7,q取值5,s取值4。

4.根據(jù)權利要求1所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,所述的膜層厚度系數(shù)x,y取等值,且其取值為0.5~0.9或1.1~3。

5.根據(jù)權利要求4所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,x,y均取值0.8。

6.根據(jù)權利要求1所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,所述的帶通濾光片由三周期的四腔法布里-珀羅濾光片組成。

7.根據(jù)權利要求6所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,由基底向外,所述的三周期的四腔法布里-珀羅濾光片為[(HL)4HLLHHH(LH)4L(HL)5HLLHHH(LH)5L(HL)5HLLHHH(LH)5L(HL)4HLLHHH(LH)4L]3

8.根據(jù)權利要求6或7所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,將所述帶通濾光片靠空氣側的最外二層膜厚分別從H和L修正為1.243H和1.326L。

9.根據(jù)權利要求1所述的波長間距漸變的準梳狀濾光片,其特征在于,所述的基底為高熱膨脹系數(shù)的光學玻璃,其線膨脹系數(shù)為90~130×10-7/℃。

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