技術總結
本發明提供一種基于MEMS波長可調諧FP光纖濾波器及其制備方法，包括：1）提供半導體基底，在半導體基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供鍵合基底，在鍵合基底的第一表面形成第三凹槽；3）將半導體基底與鍵合基底鍵合；4）在鍵合基底內形成光纖安裝孔；5）在半導體基底的第二表面形成光學增透膜；6）刻蝕半導體基底，以形成貫穿半導體基底的通孔；7）在通孔底部的鍵合基底的第一表面形成第一電極，在半導體基底的第二表面形成第二電極；8）釋放可動質量塊結構；9）在中心質量塊的下表面形成光學高反膜。通過預設光纖安裝孔，在降低驅動電壓的同時，極大地增加在靜電驅動模式下FP光纖濾波器腔長變化與電源選擇之間的靈活性。

技術研發人員：郭智慧;龍亮;楊恒;鐘少龍
受保護的技術使用者：中國科學院上海微系統與信息技術研究所
文檔號碼：201710040989
技術研發日：2017.01.17
技術公布日：2017.05.31