本技術(shù)涉及激光領(lǐng)域，具體涉及一種混合激光的分光裝置。

背景技術(shù)：

1、激光作為一種特殊的光，其波長(zhǎng)和普通光的波長(zhǎng)一樣，從紅外線到紫外線都有激光的存在。不同波段的激光具有不同的優(yōu)勢(shì)，可以運(yùn)用在不同的領(lǐng)域。如266nm激光屬于深紫外激光，具有更高的光子能量，更容易被材料吸收，在光刻及微刻、醫(yī)療及科研等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。但是，如何在多個(gè)不同波段的混合激光中將特定波段的激光分離出并保持同一方向輸出，是本領(lǐng)域所要解決的技術(shù)問題之一。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為此，本實(shí)用新型為解決上述問題，提供一種混合激光的分光裝置。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下：

3、一種混合激光的分光裝置，混合激光為至少二種不同波段的激光的混合，該混合激光的分光裝置包括第一三棱鏡、第二三棱鏡和光闌；所述第一三棱鏡和第二三棱鏡成間隔設(shè)置，并且以二者的中心點(diǎn)為定點(diǎn)形成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱結(jié)構(gòu)；所述光闌設(shè)置在第一三棱鏡和第二三棱鏡之間。

4、進(jìn)一步的，所述光闌被設(shè)置為只允許其中一種激光通過。

5、進(jìn)一步的，混合激光為266nm激光和532nm激光的混合；所述光闌設(shè)置為只允許266nm激光通過。

6、進(jìn)一步的，所述第一三棱鏡和/或第二三棱鏡的材質(zhì)為熔融石英。

7、進(jìn)一步的，所述第一三棱鏡和/或第二三棱鏡的表面不設(shè)置增透膜。

8、進(jìn)一步的，混合激光以布儒斯特角入射至第一三棱鏡，由第一三棱鏡分光后經(jīng)所述光闌濾出266nm激光；濾出的266nm激光以布儒斯特角入射至第二三棱鏡，并經(jīng)過第二三棱鏡輸出。

9、通過本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，具有如下有益效果：

10、采用本申請(qǐng)的混合激光的分光裝置，混合激光入射至第一三棱鏡，由第一三棱鏡分光后經(jīng)所述光闌濾出所設(shè)定波段的激光(定義為濾出激光)，其余波段的激光被濾除；經(jīng)所述光闌濾出的激光入射至第二三棱鏡，并經(jīng)過第二三棱鏡輸出；從第二三棱鏡輸出的濾出激光的輸出方向與原混合激光的方向相同；有助于光機(jī)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)；且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，容易實(shí)現(xiàn)。

技術(shù)特征：

1.一種混合激光的分光裝置，混合激光為至少二種不同波段的激光的混合，其特征在于：該混合激光的分光裝置包括第一三棱鏡、第二三棱鏡和光闌；所述第一三棱鏡和第二三棱鏡成間隔設(shè)置，并且以二者的中心點(diǎn)為定點(diǎn)形成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱結(jié)構(gòu)；所述光闌設(shè)置在第一三棱鏡和第二三棱鏡之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合激光的分光裝置，其特征在于：所述光闌被設(shè)置為只允許其中一種激光通過。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的混合激光的分光裝置，其特征在于：混合激光為266nm激光和532nm激光的混合；所述光闌設(shè)置為只允許266nm激光通過。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的混合激光的分光裝置，其特征在于：所述第一三棱鏡和/或第二三棱鏡的材質(zhì)為熔融石英。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的混合激光的分光裝置，其特征在于：所述第一三棱鏡和/或第二三棱鏡的表面不設(shè)置增透膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的混合激光的分光裝置，其特征在于：混合激光以布儒斯特角入射至第一三棱鏡，由第一三棱鏡分光后經(jīng)所述光闌濾出266nm激光；濾出的266nm激光以布儒斯特角入射至第二三棱鏡，并經(jīng)過第二三棱鏡輸出。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種混合激光的分光裝置，包括第一三棱鏡、第二三棱鏡和光闌；所述第一三棱鏡和第二三棱鏡成間隔設(shè)置，并且以二者的中心點(diǎn)為定點(diǎn)形成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱結(jié)構(gòu)；所述光闌設(shè)置在第一三棱鏡和第二三棱鏡之間。混合激光入射至第一三棱鏡，由第一三棱鏡分光后經(jīng)所述光闌濾出所設(shè)定波段的激光；經(jīng)所述光闌濾出的激光入射至第二三棱鏡，并經(jīng)過第二三棱鏡輸出；從第二三棱鏡輸出的濾出激光的輸出方向與原混合激光的方向相同；有助于光機(jī)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)；且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，容易實(shí)現(xiàn)。

技術(shù)研發(fā)人員：賈富強(qiáng),陳鎮(zhèn)輝,丘國(guó)雄,高慶志
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南光高科（廈門）激光科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240801
技術(shù)公布日：2025/4/28