專利名稱：一種激光多點聚焦加工系統的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于激光加工應用技術領域，具體涉及ー種激光多點聚焦加工系統。
背景技術：
目前激光切割分離透明脆性材料(如玻璃、石英玻璃和光學玻璃等)基本上采用裂紋控制法。該方法是采用聚焦透鏡將激光束聚焦在透明材料的表面或內部某處，利用透明材料對某激光束較高的吸收率(如10. 6 i! m波段的激光束)形成表面吸收激光光能，使透明脆性材料表面加熱；或利用透明脆性材料對某激光束吸收率較低的特性(如1.064iim波段的激光束)，讓激光束貫穿整個透明脆性材料，形成體吸收激光光能，使透明脆性材料整體加熱，產生較大的壓應カ。隨著激光的移動，被加熱處在空氣的對流下冷卻，產生較大的拉應力。如果該拉應カ超過了材料的斷裂強度，透明脆性材料將會沿著激光掃描方向產生裂紋而自動分離或在機械外力作用下分離，實現激光切割分離目的。與機械切割方法相比，激光裂紋控制法具有切縫平直、無碎屑、無顯微裂紋等優點。但這種激光裂紋控制法最 大缺陷是只有ー個激光聚焦點。無論是面吸收還體吸收形式都會使透明脆性材料沿分離垂直的厚度上對激光能量的吸收極不均勻，從而導致沿厚度方向產生的應カ差別較大。隨著材料厚度的増加，激光能量吸收的不均勻性越嚴重。其結果很難控制熱應カ產生裂紋的走向，透明脆性材料沿厚度方向極易產生任意方向的裂紋而導致材料的整體炸裂。即使對較薄的透明脆性材料而言，厚度上對激光能量的不均勻吸收也會導致沿所需分離走向失控，尤其是在切割分離曲率較小的曲線軌跡的情況下。

實用新型內容針對以上激光單焦點加工系統分離透明材料所存在的問題，本實用新型提出了一種激光多點聚焦加工系統。該系統可以將激光入射到待加工透明材料的單聚焦點轉換成同光軸多聚焦點，提高透明脆性材料沿厚度方向上對激光能量吸收的均勻性，從而增強透明材料沿厚度方向上受熱的均勻性，急劇減小沿厚度方向產生的應カ差別，實現激光對透明脆性材料高質量、高效率、高成功率地切割分離。本實用新型提供的ー種激光多點聚焦加工系統，其特征在干，該系統包括激光器、擴束鏡、導光鏡、聚焦透鏡、第一全反射鏡、第二全反射鏡和xy兩維工作臺；激光器、擴束鏡、導光鏡和聚焦透鏡依次位于同一光路上，組成單焦點激光加工系統；第一全反射鏡、第二全反射鏡依次位于聚焦透鏡與xy兩維工作臺之間，組成多焦點衍生系統；第一全反射鏡為中間開有小孔的球面或非球面全反射鏡，第一全反射鏡曲率半徑小于第一全反射鏡和第二全反射鏡之間最小距離的一半；工作吋，第一全反射鏡凹面向xy兩維工作臺，第一全反射鏡的光軸與激光光軸重合；小孔的中心與激光光軸重合；聚焦透鏡的位置上、下可調，第一全反射鏡與第二全反射鏡之間的距離可調，待加工透明材料安裝在第一全反射鏡和第二全反射鏡之間。為了提高激光能量的利用率，可以選擇小孔的直徑大于入射至第一全反射鏡上的光斑直徑的1.1倍；也可以在第二全反射鏡上鍍高反膜。本實用新型可以通過各種方式調節聚焦透鏡的位置，以及第一全反射鏡與第二全反射鏡之間的距離；其中一種優選的方式是聚焦透鏡固定在第一 z軸移動機構上，第一全反射鏡固定在第二 Z軸移動機構上，第二全反射鏡直接固定在xy兩維工作臺上；另ー種優選的方式是聚焦透鏡和第一全反射鏡均固定在第一 Z軸移動機構上，第二全反射鏡放置在支撐夾具和Xy兩維工作臺之間并固定在第三Z軸移動機構上，上下移動第三Z軸移動機構可調節第一全反射鏡和第二全反射鏡之間距離，支撐夾具的中間開有ー個透光ロ并固定在xy兩維工作臺上，組成ー個ニ維移動平臺，支撐夾具用于安放待加工透明材料。本實用新型中，多焦點衍生系統的組合有兩種第一種為第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半；第二種為第二全反射鏡為球 面鏡或非球面鏡，其曲率半徑小于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。本實用新型提供的激光多點聚焦系統的工作原理是將單焦點激光加工系統發射的單聚焦激光束通過多焦點衍生系統的第一球面或非球面反射鏡的小孔聚焦在待加工透明材料某一位置。小孔直徑大小根據聚焦透鏡的焦距而定，原則上是要讓從單焦點激光加エ系統發出的激光束全部進入多焦點衍生系統，因此，小孔直徑應大于入射光斑直徑的I. I倍。由于透明材料對該波長激光束的吸收率較低，僅在激光焦點區域吸收較少的激光能量，而在激光發散區域幾乎不吸收激光能量，因而未被吸收的大部分激光能量通過焦點后將以發散形式傳播并透過該材料到達第二全反射鏡(為平面或球面或非球面鏡)。經第二全反射鏡以發散或收斂的形式反射回透明材料，取決于第二全反射鏡的曲率半徑大小。當第二全反射鏡為平面或球面或非球面，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半的情況時，反射激光束將以發散的形式反射回透明材料并透過待加工透明材料后到達第一全反射鏡的凹面。由于此時的第一全反射鏡幾何形狀必須為曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半的球面反射鏡或非球面反射鏡，故使到達球面或非球面的激光束將以收斂形式被反射回透明材料，并在同一光軸上形成聚焦點。顯然反射回第一全反射鏡上激光光斑直徑要大于第一全反射鏡的小孔直徑(是小孔直徑2倍以上)，因此，只有極少部分激光束穿過小孔，而絕大部分激光束會被反射到透明材料中并聚焦在光軸上，而且該焦點位于入射激光聚焦點之下。同理，第二次聚焦點區域的激光束被材料吸收少量能量后會繼續向前傳播，依次經過第二全反射鏡和待加工透明材料，再次回到第一全反射鏡，然后，被再次反射到透明材料，在光軸上形成第三次聚焦。如此往復，使激光束在第一全反射鏡、待加工透明材料和第二全反射鏡之間往返折轉，從而在透明材料沿光軸方向形成多個焦點，直至反射到第一全反射鏡的激光光斑直徑大于第一全反射鏡直徑而被逸出多焦點衍生系統。當第二全反射鏡為球面或非球面鏡，其曲率半徑小于第一焦點(第一焦點是指入射到多焦點衍生系統的第一個激光聚焦點)到第二全反射鏡距離一半的情況時，反射激光束將以收斂的形式反射回透明材料并聚焦在透明材料光軸的某ー處。激光被透明材料吸收少量能量后再次透過待加工透明材料，回到第一全反射鏡收斂形式被反射到待加工透明材料。如此往復，使激光束在第一全反射鏡、待加工透明材料和第二全反射鏡之間往返折轉，從而可在透明材料沿光軸方向可形成多個焦點。調節單焦點激光加工系統的焦距、在待加エ透明材料內的焦點位置和第一全反射鏡以及第ニ全反射鏡到透明材料上下表面的距離均可以調節透明材料中衍生焦點的個數及其在透明材料中多焦點的分布。本實用新型具有以下優點I、由于衍生焦點的位置取決于球面或非球面反射鏡的焦距，從而降低了本系統對聚焦透鏡具有較小的聚焦光斑和長焦深的光學系統要求。在單焦點激光加工系統采用短焦距聚焦透鏡來獲得較小的入射聚焦光斑直徑效果，通過多焦點衍生系統衍生出各個焦點來獲得長焦深的激光加工系統效果，所以該系統既有短焦距激光加工系統能量集中的優勢，又有長焦距激光加工系統加工范圍廣的優點；2、本實用新型系統是ー種多焦點衍生系統，它利用多次反射原理使入射激光束在待加工透明材料多次往返并在加エ材料的光軸上形成多個焦點，使待加エ透明材料對激光能量的吸收效率大幅提聞，從而提聞激光光源的利用率和加工效率；3、利用本系統多焦點和焦點位置分布可調特性，可以大幅度改善激光加工透明材料深度方向對激光能量的吸收的均勻性，從而大幅減小沿厚度方向產生的熱應カ差別，改善激光切割分離質量，使得材料切ロ平整、陡峭、無崩邊，提高材料切割軌跡的方向的可控性，使曲率很大的圓弧也能安全高質量地切割分離。本實用新型尤其適合于處理脆性透明材料。

圖I為本實用新型提供的激光多點聚焦加工系統的結構示意圖；圖2為多焦點衍生系統具體實施方式
之一的工作原理示意圖；圖3為多焦點衍生系統具體實施方式
之ニ的工作原理示意圖；圖4為多焦點衍生系統具體實施方式
之三的工作原理示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，
以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一歩詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖I所示，本實用新型提供的激光多點聚焦加工系統包括激光器I、擴束鏡2、導光鏡3、聚焦透鏡4、第一全反射鏡6、第二全反射鏡10和xy兩維工作臺12。激光器I、擴束鏡2、導光鏡3和聚焦透鏡4依次位于同一光路上,組成單焦點激光加工系統。第一全反射鏡6、第二全反射鏡10依次位于聚焦透鏡4與xy兩維工作臺12之間，第一全反射鏡6為中間開有小孔5的球面或非球面全反射鏡，第一全反射鏡6曲率半徑小于第一全反射鏡和第二全反射鏡之間距離的一半。小孔5的直徑大小根據聚焦透鏡4的焦距而定，原則上是要讓從單焦點激光加工系統發出的激光束全部進入多焦點衍生系統，因此，小孔5的直徑應大于入射至第一全反射鏡6上的光斑直徑的I. I倍。第二全反射鏡10為平面鏡。待加工透明材料安裝在第一全反射鏡6和第二全反射鏡10之間。聚焦透鏡4固定在第一 z軸移動機構7上，上下移動第一 z軸移動機構7可調節入射的激光單焦點在透明材料中的Z軸位置。第一全反射鏡6固定在第二 z軸移動機構11上，上下移動第二 z軸移動機構11可調節第一全反射鏡6和第二全反射鏡10之間距離。第一全反射鏡6中間小孔5中心與激光光軸重合，第一全反射鏡6凹面向待加工透明材料，其光軸與激光光軸重合。待加工透明材料13固定在第二全反射鏡10上。第二全反射鏡10直接固定在xy兩維工作臺12上，由xy兩維工作臺12同時帶動待加工透明材料13和第二全反射鏡10在xy兩維平面移動。如圖2所示，本實用新型具體實施方式
之ニ的結構與圖I所示結構基本相同，所不同的是聚焦透鏡4和第一全反射鏡6均固定在第一 z軸移動機構7上，上下移動第一 z軸移動機構7可調節入射的激光單焦點在透明材料中的z軸位置。支撐夾具8的中間開有一個透光ロ 9并固定在xy兩維工作臺12上，組成ー個ニ維移動平臺。支撐夾具8用于安放待加工透明材料13。第二全反射鏡10放置在支撐夾具8和xy兩維工作臺12之間并固定在第三z軸移動機構14上，上下移動第三z軸移動機構14可調節第一全反射鏡6和第二全反射鏡10之間距離。
其工作原理如圖3所示，激光器I輸出激光經擴束鏡2擴束準直后，由導光鏡3導入聚焦透鏡4聚焦。聚焦后的激光束20通過第一全反射鏡6的小孔射入待加工透明材料13中，形成聚焦點21。由于透明材料13對該波長激光束的吸收率較低，僅在激光焦點區域吸收較少的激光能量，而在激光發散區域幾乎不吸收激光能量，因而未被吸收的大部分激光能量通過焦點后將以發散形式22傳播并透過該材料到達鍍有高反膜的第二全反射鏡10。被全反射鏡10反射激光束23將以發散的形式反射回并透過透明加工材料13后到達第一全反射鏡6的凹面。由于此時的第一全反射鏡幾何形狀為曲率半徑小的球面或非球面反射鏡，故使到達球面或非球面的激光束23將以收斂形式的激光束24被反射回透過透明材料，在同一光軸上形成聚焦點25。顯然入射到第一全反射鏡6上的絕大部分激光23束的光斑直徑要大于第一全反射鏡小孔5處的直徑，因此，只有極少部分激光束穿過小孔，而絕大部分激光束24會被第二次反射聚焦到透明材料13中。該聚焦點25在光軸的位置要低于入射激光聚焦點21的位置。同理，第二次聚焦點25區域的激光束被材料吸收少量能量后會繼續向前傳播，形成激光束26，依次經過第二全反射鏡10，被反射為激光束27。通過透明材料13后再次回到第一全反射鏡6，然后再次被反射到透明材料，在光軸上形成第三次聚焦28。如此往復，使激光束在第一全反射鏡6、待加工透明材料13和第二全反射鏡10之間往返折轉，從而可在透明材料13沿光軸方向形成多個焦點29、30、31...，直至反射到第一全反射鏡6的激光光斑直徑大于第一全反射鏡6直徑而被逸出多焦點衍生系統或激光能量全部被待加工透明材料13吸收。上下移動第一 z軸移動機構7或上下移動Z1軸移動機構14可分別調節入射激光單焦點在透明材料中的z軸位置和第一全反射鏡6與第二全反射鏡10之間距離。本實用新型具體實施方式
之三只是將圖2中的第二全反射鏡10換成鍍有高反膜的第二球面或非球面全反射鏡15，其曲率半徑小于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，并且凹面向待加工透明材料13，該結構的工作原理如圖4所示。激光器I輸出激光經擴束鏡2擴束準直后，由導光鏡3導入聚焦透鏡4聚焦。聚焦后的激光束通過第一全反射鏡6的小孔射入待加工透明材料13中，形成聚焦點40。由于透明材料13對該波長激光束的吸收率較低，僅在激光焦點區域吸收較少的激光能量，而在激光發散區域幾乎不吸收激光能量。因而未被吸收的大部分激光能量通過焦點40后將以發散形式傳播并透過該材料到達鍍有高反膜的第二球面或非球面全反射鏡15。由于此時的第二全反射鏡幾何形狀為曲率半徑小的球面或非球面反射鏡，故使到達球面或非球面的激光束將以收斂形式被反射回透明材料13并在透明加工材料13的光軸上產生第二個聚焦點41。第二次聚焦點區域的激光束被材料吸收少量能量后會繼續向前傳播后到達第一鍍有高反膜全反射鏡6的凹面。由于第一全反射鏡幾何形狀也是曲率半徑小的球面或非球面反射鏡，故使到達球面或非球面的激光束將以收斂形式反射回透過加工材料，并在同一光軸上形成第三個聚焦點42。同理，第三個聚焦點區域的激光束被材料吸收少量能量后會繼續向前傳播，經過第二全反射鏡15后被反射并以收斂形式進入待加工透明材料13，在同一光軸上形成第四個聚焦點43。第四個聚焦點區域的激光束被透明材料吸收少量能量后會繼續向前傳播再次回到第一全反射鏡6，然后再次被反射到透明材料，在光軸上形成第五次聚焦44。如此往復，使激光束在第一全反射鏡6、待加工透明材料13和第二全反射鏡15之間往返折轉，從而可在透明材料沿光軸方向可形成多個焦點45、46...，直至反射到第一全反射鏡6或第二全反射鏡15的激光光斑直徑大于第一全反射鏡6或第二全反射鏡15直徑而被逸出多焦點衍生系統或激光能量全部被待加工透明材料13吸收。 上下移動第一 z軸移動機構7或上下移動Z1軸移動機構14可分別調節可調節入射的激光單焦點在透明材料中的z軸位置和第一全反射鏡6與第二全反射鏡15之間距離。通過光學幾何原理計算只要在第二反射鏡反射激光束是以發散的形式反射以及第一焦點到第二全反射鏡的距離不小于第二全反射鏡曲率半徑的一半的情況下就能使反射回第一全反射鏡上激光光斑直徑是第一全反射鏡的小孔直徑的2倍以上。實例I :采用本實用新型具體實施方式
之一。單焦點激光加工系統中的激光源為脈沖寬度25ns，波長為355nm，輸出功率為10W，輸出光斑直徑為0. 8mm的激光器，聚焦透鏡焦距為50mm。多焦點衍生系統中的第一全反射鏡為直徑為60mm,鏡焦距為35mm,小孔直徑為Imm的球面反射鏡；第ニ為50 X IOOmm2的平面反射鏡。待加工透明材料為石英玻璃，厚度為10mm，對355nm波長的吸收率為15%。第一全反射鏡到待加工透明材料上表面距離為40mm，第二全反射鏡離材料下表面8_。工作臺移動速度為Imm姆秒。實驗結果該系統在距離材料表面I. 7mm處產生第一個激光焦點，在距離材料表面3. 2mm處產生第二個激光焦點，在距離材料表面4. 6mm處產生第三個焦點，以及在距離材料表面6mm至9. 5mm等處產生多個焦點。激光焦點在材料內部分布均勻，切割深度貫穿整個材料，切ロ平整陡峭，無崩邊現象，井能切割一定曲率的弧線。實例2 采用本實用新型具體實施方式
之ニ。單焦點激光加工系統中的激光源為脈沖寬度為100ns，波長為1064nm，輸出功率為50W，輸出光斑直徑為2. 5mm的激光器，聚焦透鏡焦距為60mm。多焦點衍生系統中的第一全反射鏡為直徑為60mm,鏡焦距為48. 5mm的非球面反射鏡。第二全反射鏡為寬為50mm、長為400mm的平面反射鏡。聚焦透鏡到第一全反射鏡的距離為23mm，第一全反射鏡小孔直徑為2mm。待加工透明材料的厚度為IOOmm的光學透明材料，對1064nm波長的吸收率為5%。第一全反射鏡到待加工透明材料上表面距離為30mm，材料下表到第二全反射鏡距離為10mm。工作臺移動速度為Imm毎秒。實驗結果該系統在距離材料表面IOmm處產生第一個激光焦點，在距離材料表面60mm處產生第二個激光焦點，在距離材料表面77mm處產生第三個焦點，以及在距離材料表面86mm、93mm處產生多個焦點。激光焦點在材料內部分布均勻，切割深度貫穿整個材料，切ロ平整陡峭，無崩邊現象，并能切割一定曲率的弧線。實例3 采用本實用新型具體實施方式
之三。單焦點激光加工系統中的激光源為脈沖寬度為50ns，波長為532nm，輸出功率為25W，輸出光斑直徑為I. 5mm的激光器，聚焦透鏡焦距為70_。多焦點衍生系統中的第一全反射鏡為直徑為60mm,鏡焦距為48. 5mm的球面反射鏡，小孔直徑為2mm ;第二為非球面反射鏡，焦距為200mm。待加工透明材料為水晶玻璃，厚度為100mm，對1064nm波長的吸收率為7%。第一全反射鏡到待加工透明材料上表面距離為30mm,第二全反射鏡離材料下表面10mm。工作臺移動速度為Imm姆秒。實驗結果該系統在距離材料表面20mm處產生第一個激光焦點，在距離材料表面95mm處產生第二個激光焦點，在距離材料表面53mm處產生第三個焦點，以及在距離材料表面60mm至80mm等處產生多個焦點。激光焦點在材料內部分布均勻，切割深度貫穿整個材料，切ロ平整陡峭，無崩邊 現象，并能切割一定曲率的弧線。本實用新型不僅局限于上述具體實施方式
，本領域一般技術人員根據本實用新型公開的內容，可以采用其它多種具體實施方式
實施本實用新型，因此，凡是采用本實用新型的設計結構和思路，做一些簡單的變化或更改的設計，都落入本實用新型保護的范圍。
權利要求1.一種激光多點聚焦加工系統,其特征在于，該系統包括激光器(I)、擴束鏡(2)、導光鏡(3)、聚焦透鏡(4)、第一全反射鏡(6)、第二全反射鏡(10)和xy兩維工作臺(12)； 激光器(I )、擴束鏡(2)、導光鏡(3)和聚焦透鏡(4)依次位于同一光路上,第一全反射鏡(6)、第二全反射鏡(10)依次位于聚焦透鏡(4)與xy兩維工作臺(12)之間，第一全反射鏡(6)為中間開有小孔(5)的球面或非球面全反射鏡，第一全反射鏡(6)曲率半徑小于第一全反射鏡和第二全反射鏡之間最小距離的一半；工作時，第一全反射鏡(6)凹面向xy兩維工作臺(12)，第一全反射鏡的光軸與激光光軸重合；小孔(5)的中心與激光光軸重合；聚焦透鏡(4)的位置上、下可調，第一全反射鏡(6)與第二全反射鏡(10)之間的距離可調，待加工透明材料(13)安裝在第一全反射鏡(6)和第二全反射鏡(10)之間。
2.根據權利要求I所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，小孔(5)的直徑大于入射至第一全反射鏡(6)上的光斑直徑的I. I倍。
3.根據權利要求I所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡(10)鍍有聞反月旲。
4.根據權利要求I至3中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，聚焦透鏡(4)固定在第一 z軸移動機構(7)上,第一全反射鏡(6)固定在第二 z軸移動機構(11)上，第二全反射鏡(10)直接固定在xy兩維工作臺(12)上。
5.根據權利要求I至3中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，聚焦透鏡(4)和第一全反射鏡(6)均固定在第一 z軸移動機構(7)上,第二全反射鏡(10)放置在支撐夾具(8)和xy兩維工作臺(12)之間并固定在第三z軸移動機構(14)上，上下移動第三z軸移動機構(14)可調節第一全反射鏡(6)和第二全反射鏡(10)之間距離，支撐夾具(8)的中間開有一個透光口(9)并固定在xy兩維工作臺(12)上，組成一個二維移動平臺，支撐夾具(8)用于安放待加工透明材料(13)。
6.根據權利要求I至3中任一所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。
7.根據權利要求4所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。
8.根據權利要求5所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為平面或球面或非球面鏡，其曲率半徑大于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。
9.根據權利要求4所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為球面鏡或非球面鏡，其曲率半徑小于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。
10.根據權利要求5所述的激光多點聚焦加工系統，其特征在于，第二全反射鏡為球面鏡或非球面鏡，其曲率半徑小于第一焦點到第二全反射鏡距離一半，第一全反射鏡的曲率半徑小于第一全反射鏡和第二放射鏡之間最小距離的一半。
專利摘要一種激光多點聚焦加工系統，結構為激光器、擴束鏡、導光鏡、聚焦透鏡和第一、第二全反射鏡依次位于同一光路上，第一全反射鏡為中間開有小孔的球面或非球面鏡，其曲率半徑小于二個全反射鏡之間最小距離的一半；工作時，第一全反射鏡凹面向xy兩維工作臺，其光軸與激光光軸重合；小孔的中心與激光光軸重合；聚焦透鏡的位置上、下可調，二個全反射鏡之間的距離可調。該系統可以將激光入射到透明材料的單聚焦點轉換成同光軸多聚焦點，提高被切割分離的透明脆性材料沿厚度方向上激光能吸收的均勻性，從而使透明材料沿厚度方向上受熱均勻增強，沿厚度方向產生的應力差別將急劇減小，實現激光對透明脆性材料高質量、高效率、高成功率地切割分離。
文檔編號B23K26/04GK202539812SQ20122017130
公開日2012年11月21日 申請日期2012年4月20日 優先權日2012年4月20日
發明者曾曉雁, 段軍, 鄧磊敏 申請人:華中科技大學