專利名稱：一種激光劃刻機中用的氣浮系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及非晶硅薄膜太陽能電池生產工藝中的定位加工領域，具體地說是應用于激光劃刻機的新型的氣浮系統。
背景技術：
在非晶硅薄膜太陽能電池生產的激光劃刻工藝中，為了加快工藝加工速度，一般都通過往復移動玻璃基板來完成劃線，然而在移動過程中勢必會與支撐臺表面產生摩擦，嚴重會損壞玻璃基板。而目前減少摩擦的方法主要有使用軟毛刷作為支撐臺和使用氣浮支撐臺。使用軟毛刷雖然在一定程度上可以減少摩擦，但效果卻始終無法與氣浮支撐臺相比。而目前使用氣浮支撐臺的激光劃刻機，多使用CDA，這樣缺少監控系統的氣浮系統往往會有很多的不穩定性，且溫度和濕度均無法保證，而溫度和濕度在激光劃刻工藝中卻有很高的要求，溫度不穩定便容易造成玻璃基板的變形，濕度過高也會使玻璃基板產生水汽，影響劃 線質量。因此，如果能夠提供一種氣浮系統結構，氣體由該系統提供，且增加多重監控裝置，便可以保證壓力的恒定，也可以保證一定的溫度和濕度，并且可以起到一定的空氣凈化的目的。系統的穩定性也可以得到保證。
發明內容本實用新型為了解決傳統的氣浮平臺的穩定性，且能夠有效保證氣體的壓力、溫度及濕度，設計了一種激光劃刻機中用的氣浮系統，氣體由該系統提供，且增加多重監控裝置便可以保證壓力的恒定，也可以保證一定的溫度和濕度，這樣就可以起到一定的空氣凈化的目的、及保證系統的穩定性。本實用新型采用的技術方案是一種激光劃刻機中用的氣浮系統，結構中包括設置在機臺上面、帶有充氣孔的氣浮平臺，及循環式充氣系統，關鍵在于所述的循環式充氣系統的結構中包括充氣管路、與機臺上設置的回氣口連接的回氣管路、及空氣凈化裝置，回氣管路的輸出端與空氣凈化裝置的輸入端連接，空氣凈化裝置的輸出端與充氣管路的進氣口連接，借助管理電路控制空氣凈化裝置形成空氣循環凈化系統。本實用新型的有益效果是1.保證氣浮壓力恒定；2.保證溫度恒定3.保證濕度恒定；4.有凈化機臺內空氣的作用。

圖I是本實用新型的結構示意框圖。附圖中，I是機臺，2是回氣管路，3是充氣管路，4是初級過濾器，5是壓力泵，6是初級熱交換器，7是次級熱交換器，8是冷卻水收集器，9是次級過濾器，10是溫濕度計，11是第一壓差傳感器，12是是變頻器，13是抽水泵，14是第二壓差傳感器，15是冷卻水管路，16是流量控制電磁閥，單箭頭代表冷卻水的流向，雙箭頭代表氣體的流向。
具體實施方式
一種激光劃刻機中用的氣浮系統，結構中包括設置在機臺I上面、帶有充氣孔的氣浮平臺，及循環式充氣系統，重要的是所述的循環式充氣系統的結構中包括充氣管路
3、與機臺I上設置的回氣口連接的回氣管路2、及空氣凈化裝置，回氣管路2的輸出端與空氣凈化裝置的輸入端連接，空氣凈化裝置的輸出端與充氣管路3的進氣口連接，借助管理電路控制空氣凈化裝置形成空氣循環凈化系統。所述的空氣凈化裝置的結構中包括借助氣體管路首尾順次連接的初級過濾器4、帶有冷卻水輸入/輸出管路的壓力泵5及初級熱交換器6、次級熱交換器7、冷卻水收集器
8、次級過濾器9，初級過濾器4的輸入端與回氣管路2的輸出端連接，次級過濾器9的輸出端與充氣管路3的進氣口連接。所述的初級過濾器4中還設置有第一壓差傳感器11及蜂鳴器，第一壓差傳感器11的信號輸出端與管理電路的信號輸入端連接，蜂鳴器的受控端與管理電路的控制端連接。第一壓差傳感器11用于測量初級過濾器4進出口兩端的壓差，并將檢測到的壓差信號實時發送至管理電路，管理電路發現初級過濾器4壓差過大或者過小，均會控制蜂鳴器產生相應報警，提示檢查或者更換初級過濾器4。所述的壓力泵5中還設置有變頻器12，變頻器12的控制端借助連接線與壓力泵5的受控端連接。變頻器12控制壓力泵5的轉速，以精確控制氣體罐路中氣體的壓力。所述的次級熱交換器7的冷卻水管路15上還設置有流量控制電磁閥16，流量控制電磁閥16的受控端與管理電路連接。使用次級熱交換器7對氣體進行精確地降溫，通過流量控制電磁閥16控制工藝冷卻水的流量達到精確控制溫度的目的。所述的冷卻水收集器8的結構中包括冷卻水收集腔室、設置在冷卻水收集腔室內部的百葉窗、及與冷卻水收集腔室相連的抽水泵13，百葉窗的受控端與管理電路連接。百葉窗的角度可調，冷卻水收集腔室內的冷凝水再通過小型抽水泵13抽走。所述的次級過濾器9上還設置有第二壓差傳感器14，第二壓差傳感器14的信號輸出端與管理電路連接。使用次級過濾器9對從冷卻水收集器8出來的氣體進一步地過濾，同樣加一個第二壓差傳感器14測量其兩端壓差。所述的充氣管路3上還設置有溫濕度計10，溫濕度計10的信號輸出端與管理電路的信號輸入端連接。使用溫濕度計10測量氣體的溫度和濕度，根據溫度測量值控制流量控制電磁閥16的開啟的大小，根據濕度測量值控制百葉窗開啟的角度。在具體實施時，空氣由機臺內部的回風口進入回氣管路2，首先通過初級過濾器4進行過濾，主要用于過濾空氣中殘留的激光劃刻后的粉塵，并在初級過濾器4上裝有第一壓差傳感器11，當初級過濾器4壓差過大或者過小，均會產生相應報警，提示檢查或者更換初級過濾器4。初級過濾器4后連接有壓力泵5，提供滿足要求壓力的氣體，并通過變頻器12控制其轉速，以精確控制氣體的壓力。在壓力泵5的出口端裝有初級熱交換器6，將從壓力泵5出來的空氣進行初級降溫，壓力泵5、變頻器6以及初級熱交換器6均裝有工藝冷卻水循環管路，壓力泵5、變頻器6通入工藝冷卻水用于裝置本身的降溫，而初級熱交換器6用于氣體管道中的空氣的降溫。在初級熱交換器6之后還裝有次級熱交換器7，用于空氣溫度的精確控制，外接工藝冷卻水以及在進水口裝有流量控制電磁閥16，通過流量控制電磁閥16控制工藝冷卻水的流量達到精確控制溫度的目的。之后達到要求溫度的空氣經過冷卻水收集器8，用于控制空氣的濕度，該裝置由多層百葉窗式的結構組成，且百葉窗的角度可調，通過控制百葉窗的角度來調節空氣的濕度，裝置內收集后的冷卻水再通過小型抽水泵13抽走。在冷卻水收集器8之后還裝有次級過濾器9，對空氣進行進一步的過濾，同樣接一個第二壓差傳感器14用以檢查次級過濾器9兩端的壓差。之后設有溫濕度計10，可以同時測量溫度和濕度，根據溫度測量值控制流量控制電磁閥16的開啟的大小，根據濕度測量值控制百葉窗開啟的角度，以達到精確測量的目的。達到要求壓力的空氣通過充氣管路3進入到機臺中，首先裝有壓力計，檢查壓力是否符合設定值，再將空氣輸送到氣浮平臺中，氣浮平臺表面分布著密集的孔，且分布均勻，保證表面各部位的壓力相等。此外在在氣浮平臺上還裝有傳送裝置，用于對玻璃基板的傳入和傳出。在激光劃刻機內部設有兩個回風口，通過回風口再次傳入外部系統中，實現氣體的循環。·
權利要求1.一種激光劃刻機中用的氣浮系統，結構中包括設置在機臺(I)上面、帶有充氣孔的氣浮平臺，及循環式充氣系統，其特征在于所述的循環式充氣系統的結構中包括充氣管路(3)、與機臺(I)上設置的回氣口連接的回氣管路(2)、及空氣凈化裝置，回氣管路(2)的輸出端與空氣凈化裝置的輸入端連接，空氣凈化裝置的輸出端與充氣管路(3)的進氣口連接，借助管理電路控制空氣凈化裝置形成空氣循環凈化系統。
2.根據權利要求I所 述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的空氣凈化裝置的結構中包括借助氣體管路首尾順次連接的初級過濾器(4)、帶有冷卻水輸入/輸出管路的壓力泵(5)及初級熱交換器(6)、次級熱交換器(7)、冷卻水收集器(8)、次級過濾器(9)，初級過濾器(4)的輸入端與回氣管路(2)的輸出端連接，次級過濾器(9)的輸出端與充氣管路(3)的進氣口連接。
3.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的初級過濾器(4)中還設置有第一壓差傳感器(11)及蜂鳴器，第一壓差傳感器(11)的信號輸出端與管理電路的信號輸入端連接，蜂鳴器的受控端與管理電路的控制端連接。
4.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的壓力泵(5)中還設置有變頻器(12)，變頻器(12)的控制端借助連接線與壓力泵(5)的受控端連接。
5.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的次級熱交換器的冷卻水管路(15)上還設置有流量控制電磁閥(16)，流量控制電磁閥(16)的受控端與管理電路連接。
6.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的冷卻水收集器(8)的結構中包括冷卻水收集腔室、設置在冷卻水收集腔室內部的百葉窗、及與冷卻水收集腔室相連的抽水泵(13)，百葉窗的受控端與管理電路連接。
7.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的次級過濾器(9)上還設置有第二壓差傳感器(14)，第二壓差傳感器(14)的信號輸出端與管理電路連接。
8.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的充氣管路(3)上還設置有溫濕度計(10)，溫濕度計(10)的信號輸出端與管理電路的信號輸入端連接。
9.根據權利要求I所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于所述的氣浮平臺上的充氣孔是均勻排布的。
專利摘要一種激光劃刻機中用的氣浮系統，結構中包括設置在機臺上面、帶有充氣孔的氣浮平臺，及循環式充氣系統，關鍵在于所述的循環式充氣系統的結構中包括充氣管路、與機臺上設置的回氣口連接的回氣管路、及空氣凈化裝置，回氣管路的輸出端與空氣凈化裝置的輸入端連接，空氣凈化裝置的輸出端與充氣管路的進氣口連接，借助管理電路控制空氣凈化裝置形成空氣循環凈化系統。本實用新型的有益效果是1.保證氣浮壓力恒定；2.保證溫度恒定；3.保證濕度恒定；4.有凈化機臺內空氣的作用。
文檔編號B23K26/42GK202763297SQ20122047975
公開日2013年3月6日 申請日期2012年9月20日 優先權日2012年9月20日
發明者樊成源, 安麗娜, 楊然翔, 邢麗芬 申請人:東旭集團有限公司, 成都泰軼斯太陽能科技有限公司