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一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結構的方法與流程

文檔序號:11073469閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結構的方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1、FTO薄膜的預處理:取大小為2.0cm×2.0cm FTO薄膜,依次用去離子水、丙酮和乙醇浸泡樣品在超聲機中清洗20分鐘,再用高純氮氣吹干,最后烘干,備用;

步驟2、銅網輔助激光輻照FTO薄膜:將銅網放置于FTO薄膜正上方,再采用激光對銅網表面進行輻照處理,在FTO薄膜上得到波紋結構。

2.根據權利要求1所述的一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結構的方法,其特征在于,步驟1中,所述銅網為沖壓式圓孔銅網,圓孔直徑為80μm。

3.根據權利要求1或2所述的一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結構的方法,其特征在于,步驟2中,所述銅網輔助激光輻照FTO薄膜的步驟如下:

步驟A、將銅網放置在FTO薄膜正上方,調整銅網位置,控制銅網與FTO薄膜表面距離為0~1mm,使銅網表面位于激光器發出的激光束的焦點后,對銅網表面進行激光輻照處理;

步驟B、使用超短脈沖激光器作為輸出激光的儀器,調整超短脈沖激光器的輸出,控制激光能量密度為1.5~2.0J/cm2,掃描速度為5~10mm/s;

步驟C、根據選用的激光能量確定激光束的掃描線寬,以此來設定激光束的掃描路徑,具體為:激光束作單向逐線掃描,通過設定線間距來控制相鄰兩線相互交疊,掃描線重疊率控制在60~80%;

步驟D、根據設定的激光束掃描路徑控制激光束運動,使激光束垂直于銅網表面進行掃描。

4.根據權利要求3所述的一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結構的方法,其特征在于,步驟A中,所述銅網與FTO薄膜表面距離為0~1mm。

5.根據權利要求3所述的一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結構的方法,其特征在于,步驟B中,所述超短脈沖激光器的波長為532nm,脈沖寬度為1~2ns。

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