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一種劃片定距壓緊治具的制作方法與工藝

文檔序號(hào):11781502閱讀:400來源:國知局
一種劃片定距壓緊治具的制作方法與工藝
本實(shí)用新型涉及定位治具技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種劃片定距壓緊治具。

背景技術(shù):
隨著信息化時(shí)代的到來,我國電子信息、通訊和半導(dǎo)體集成電路等行業(yè)迅猛發(fā)展,我國已經(jīng)成為世界二極管晶圓、可控硅晶圓等集成電路各種半導(dǎo)體晶圓制造大國。在現(xiàn)有技術(shù)的晶圓切割設(shè)備中,其壓緊治具一般采用真空吸附,位于吸附平臺(tái)上的產(chǎn)品并不能得到有效的固定。常常因?yàn)楫a(chǎn)品松動(dòng)而影響切割的精度,不能滿足全自動(dòng)激光切割生產(chǎn)工作站的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種劃片定距壓緊治具,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的雙重固定,保證產(chǎn)品加工時(shí)的平面度。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的一種劃片定距壓緊治具,包括壓緊基座,所述壓緊基座設(shè)置有激光加工治具,所述激光加工治具的一側(cè)設(shè)置有可滑動(dòng)的壓緊定位機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選,所述壓緊定位機(jī)構(gòu)包括橫移組件,所述橫移組件連接有固定架,所述固定架設(shè)置下壓動(dòng)力組件,所述下壓動(dòng)力組件的輸出軸連接有與激光加工治具配合的壓緊板。作為優(yōu)選,所述橫移組件為滑軌氣缸,所述滑軌氣缸的動(dòng)力輸出端與固定架連接。作為優(yōu)選,所述下壓動(dòng)力組件為動(dòng)力氣缸,所述動(dòng)力氣缸設(shè)置有兩組,兩組動(dòng)力氣缸分別設(shè)置于固定架的上下兩側(cè),兩組動(dòng)力氣缸的輸出端與壓緊板連接。作為優(yōu)選,所述激光加工治具設(shè)置有若干與產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的吸附凸臺(tái)。作為優(yōu)選,所述壓緊板表面設(shè)置有便于激光加工的窗口。本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型的一種劃片定距壓緊治具,包括壓緊基座,所述壓緊基座設(shè)置有激光加工治具,所述激光加工治具的一側(cè)設(shè)置有可滑動(dòng)的壓緊定位機(jī)構(gòu),產(chǎn)品放置于激光加工治具,激光加工治具對(duì)產(chǎn)品第一重固定,產(chǎn)品被固定后,壓緊定位機(jī)構(gòu)移動(dòng)至產(chǎn)品上方后下壓,產(chǎn)品被進(jìn)一步壓緊,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的雙重固定,保證產(chǎn)品加工時(shí)的平面度。附圖說明圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記包括:1—壓緊基座2—激光加工治具21—吸附凸臺(tái)3—壓緊定位機(jī)構(gòu)31—橫移組件32—固定架33—下壓動(dòng)力組件34—壓緊板341—窗口。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述。如圖1至圖3所示,本實(shí)用新型的一種劃片定距壓緊治具,包括壓緊基座1,所述壓緊基座1設(shè)置有激光加工治具2,所述激光加工治具2的一側(cè)設(shè)置有可滑動(dòng)的壓緊定位機(jī)構(gòu)3。產(chǎn)品放置于激光加工治具2,激光加工治具2對(duì)產(chǎn)品第一重固定,產(chǎn)品被固定后,壓緊定位機(jī)構(gòu)3移動(dòng)至產(chǎn)品上方后下壓,產(chǎn)品被進(jìn)一步壓緊,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的雙重固定,保證產(chǎn)品加工時(shí)的平面度。本實(shí)施例的壓緊定位機(jī)構(gòu)3包括橫移組件31,所述橫移組件31連接有固定架32,所述固定架32設(shè)置下壓動(dòng)力組件33,所述下壓動(dòng)力組件33的輸出軸連接有與激光加工治具2配合的壓緊板34。橫移組件31可驅(qū)動(dòng)固定架32上的壓緊板34移動(dòng),當(dāng)壓緊板34移動(dòng)至激光加工治具2上方時(shí),下壓動(dòng)力組件33驅(qū)動(dòng)壓緊板34下壓將激光加工治具2上的產(chǎn)品固定。具體地,本實(shí)施例的橫移組件31為滑軌氣缸,所述滑軌氣缸的動(dòng)力輸出端與固定架32連接。滑軌氣缸結(jié)構(gòu)緊湊,滑軌氣缸的動(dòng)力輸出端驅(qū)動(dòng)固定架32穩(wěn)定移動(dòng)。具體地,本實(shí)施例的下壓動(dòng)力組件33為動(dòng)力氣缸,所述動(dòng)力氣缸設(shè)置有兩組,兩組動(dòng)力氣缸分別設(shè)置于固定架32的上下兩側(cè),兩組動(dòng)力氣缸的輸出端與壓緊板34連接。雙動(dòng)力氣缸連接壓緊板34,對(duì)激光加工治具2上的產(chǎn)品同時(shí)固定。本實(shí)施例的激光加工治具2設(shè)置有若干與產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的吸附凸臺(tái)21。該吸附凸臺(tái)21針對(duì)不同的產(chǎn)品可設(shè)置于不同的位置布局。本實(shí)施例的壓緊板34表面設(shè)置有便于激光加工的窗口341。該窗口341的大小與位置針對(duì)所加工的產(chǎn)品所布置,在壓緊產(chǎn)品的同時(shí),不影響激光的切割加工。以上內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,依據(jù)本實(shí)用新型的思想,在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處,本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
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