本發明屬于濺射靶材制備技術領域，具體涉及一種tft-lcd/amoled平面顯示器用寬幅鉬靶材的制備工藝。
背景技術：
隨著顯示技術的迭代更新，amoled有望成為繼lcd后的“下一代顯示技術”。amoled具有的諸多優點包括高亮度、高對比度、高色域范圍和可視角度，低能耗、更輕薄以及柔性特點。隨著amoled技術的不斷從成熟，良率以及產能的提升，其應用場景將大大擴展，包括智能手機、智能硬件、vr、照明等領域都將是應用重點。amoled顯示與照明的市場空間廣闊，全產業鏈有望快速發展。作為tft-lcd/amoled平面顯示器用鉬靶材用量逐步增大。
寬幅鉬靶材主要用于4.5-6代線tft-lcd/amoled平面顯示器，一般厚度為12-18mm，寬度1000-1800mm，長度1200-2300mm，單重大于200kg，技術要求高，密度大于10.18g/cm3，顯微金相組織要求為均勻等軸晶粒，平均晶粒尺寸不超過100μm，鉬板內部無異常缺陷，板面平整度高。常規小尺寸鉬板軋制方法為氫氣爐保護加熱，直接軋制。大尺寸鉬板重量和成品尺寸大，常規軋機無法軋制，需要在定制大型氫氣爐里加熱，通過快速輥道輸送給寬幅軋機，軋制完成，回爐退火后利用余熱進入九輥校平機校平，得到鉬板平整度小于2mm，平均晶粒尺寸小于100μm，掃描探傷后內部組織無異常缺陷。
中國專利cn102534519a公開了一種lcd平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，該方法為：1）在常規方法壓制和燒結的鉬板坯表面均勻涂刷抗氧化涂層；2）將涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用鋼包套包覆；3）對包覆有鋼包套的鉬板坯進行一火次的軋制，然后置于冷床上冷卻；4）將冷卻后的鉬板坯軋制至厚度為19mm～24mm(含鋼包套)；5）將軋制的鉬板坯進行校平處理，去除鋼包套，切割，得到半成品鉬板；6）將半成品鉬板進行真空熱處理，得到lcd平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。該方法的不足之處在于，刷涂層和包覆鋼套工序復雜，造成成本浪費，高溫加熱過程中引入其他雜質元素影響靶材純度。
中國專利cn104624642a公開了一種濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法，該方法生產鉬板帶厚度4.5mm，屬于薄鉬板，密度只有10.01g/cm3不能滿足現在tft-lcd/amoled平面顯示器的密度大于10.18g/cm3，平均晶粒尺寸不超過100μm的使用要求。
技術實現要素：
本發明提供了一種tft-lcd/amoled平面顯示器用寬幅鉬靶材的制備工藝，解決了現有寬幅鉬靶材的制備方法中需要刷涂層和包覆鋼套工序復雜，造成成本浪費，高溫加熱過程中引入其他雜質元素影響靶材純度等問題。
為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案：
一種tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材的軋制工藝，包括以下步驟：
（1）、選擇尺寸為70-120mm~500-800mm~900-1300mm鉬板坯為原料，鉬板坯的端口設有咬入角，保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序；
（2）、鉬燒結坯進行第一次加熱；
（3）、加熱完成后的鉬坯放入輥道，進行一火次軋制，軋制加工率為50%-60%；
（4）、一火軋制完成后，進行90度角換向，然后進行第二次加熱；
（5）、加熱完成后，進行二火軋制，軋制后的板坯厚度為12-18mm，所述軋制加工率為20%-30%；
（6）、將軋制成的半成品鉬板厚度為12-18mm，寬度1000-1800mm，長度1200-2300mm，利用軋制余熱送入進行預校平；
（7）、預校平后的所述半成品鉬板在氫氣爐中900-1100℃熱處理2-3h，然后最終校平處理，得到寬幅鉬靶材。
優選地：所述的加熱完成后的鉬坯進入輥道，需要對輥道進行預熱，預熱溫度為200-400度。
優選地：所述的輥道預熱采用加熱好的鉬板進入軋機空軋來預熱寬幅軋機軋輥。
優選地：所述的咬入角為30度。咬入角要根據不同軋制機來確認，本發明采用30度，可以保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序。
優選地：所述的第一次加熱的溫度為1350℃-1450℃，時間為3-5h。
優選地：所述的第二次加熱的1350℃-1450℃，時間為2-4h。
優選地：所述的一火次軋制的道次加工率為10％～30％。
優選地：所述的二火次軋制的道次加工率為10％～30％。
本發明的有益效果：
本發明通過多火多道次交叉換向軋制后，送入氫氣加熱爐退火，完成后進入校平機，得到平整晶粒組織細小均勻的鉬板，工序簡單，成品率高，掃描探傷后組織無缺陷，密度大于10.18，晶粒尺寸為70μm左右，平整度小于2mm，完全滿足tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材使用標準。
本發明采用同樣的溫度，不同的加熱時間來進行鉬板坯的加熱，并且采用對軋輥預熱的來提高軋制的效果，使得軋制可防止熱軋開坯后顯微組織的不均勻長大和再結晶，得到變形均勻的加工組織，最終制備的鉬板具有尺寸均勻的等軸晶組織。
具體實施方式
下面將結合本發明實施例，對本發明的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
實施例1
一種tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材的軋制工藝，包括以下步驟：
（1）、選擇尺寸為70mm?500?900mm鉬板坯為原料，鉬板坯的端口設有30度咬入角，保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序；
（2）、鉬燒結坯進行第一次加熱，第一次加熱的溫度為1350℃，時間為5h；
（3）、加熱完成后的鉬坯放入輥道，進行一火次軋制，三個道次，分別30%，20%，10%，軋制加工率為50%；
（4）、一火軋制完成后，進行90度角換向，然后進行第二次加熱，第二次加熱的1450℃，時間為2h；
（5）、加熱完成后，進行二火軋制，一個道次，軋制后的板坯厚度為16mm，軋制加工率為20%；
（6）、將軋制成的半成品鉬板厚度為12mm，寬度1000mm，長度2100mm，利用軋制余熱送入進行預校平；
（7）、預校平后的所述半成品鉬板在氫氣爐中1100℃熱處理2h，然后最終校平處理，得到寬幅鉬靶材。
得到的寬幅鉬靶材掃描探傷后組織無缺陷，密度10.19，晶粒尺寸為72μm，平整度小于2mm，完全滿足tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材使用標準。
采用上述工藝，做50個批次，成品率92%。
實施例2
一種tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材的軋制工藝，包括以下步驟：
（1）、選擇尺寸為120mm?800mm?1300mm鉬板坯為原料，鉬板坯的端口設有30度咬入角，保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序；
（2）、鉬燒結坯進行第一次加熱，第一次加熱的溫度為1450℃，時間為3h；
（3）、加熱完成后的鉬坯放入輥道，進行一火次軋制，三個道次，分別為30%、30%、19%，軋制加工率為60%；
（4）、一火軋制完成后，進行90度角換向，然后進行第二次加熱，第二次加熱的1400℃，時間為3h；
（5）、加熱完成后，進行二火軋制，兩個道次，分別為20%、12.5%，軋制加工率為30%；軋制后的板坯厚度為18mm，
（6）、將軋制成的半成品鉬板厚度為18mm，寬度1800mm，長度2300mm，利用軋制余熱送入進行預校平；
（7）、預校平后的所述半成品鉬板在氫氣爐中900℃熱處理2h，然后最終校平處理，得到寬幅鉬靶材。
得到的寬幅鉬靶材掃描探傷后組織無缺陷，密度10.20，晶粒尺寸為73μm，平整度小于2mm，完全滿足tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材使用標準。
采用上述工藝，做50個批次，成品率90%。
實施例3
一種tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材的軋制工藝，包括以下步驟：
（1）、選擇尺寸為100mm?600mm?1000mm鉬板坯為原料，鉬板坯的端口設有30度咬入角，保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序；
（2）、鉬燒結坯和鉬板進行第一次加熱，第一次加熱的溫度為1400℃，時間為4h；
（3）、采用加熱好的鉬板進入軋機空軋來預熱寬幅軋機軋輥，預熱溫度為200度；
（4）、加熱完成后的鉬坯放入輥道，進行一火次軋制，進行一火次軋制，三個道次，分別30%，20%，20%，軋制加工率為55%；
（5、）一火軋制完成后，進行90度角換向，然后進行第二次加熱，第二次加熱的1450℃，時間為3h；
（6）、加熱完成后，進行二火軋制，兩個道次，分別，10%、17%，軋制加工率為25%；軋制后的板坯厚度為12-18mm，
（7）、將軋制成的半成品鉬板厚度為12-18mm，寬度1000-1800mm，長度1200-2300mm，利用軋制余熱送入進行預校平；
（8）、預校平后的所述半成品鉬板在氫氣爐中900-1100℃熱處理2-3h，然后最終校平處理，得到寬幅鉬靶材。
得到的寬幅鉬靶材掃描探傷后組織無缺陷，密度10.20，晶粒尺寸為70μm，平整度小于2mm，完全滿足tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材使用標準。
采用上述工藝，做50個批次，成品率96%。
實施例4
一種tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材的軋制工藝，包括以下步驟：
（1）、選擇尺寸為70mm?500?900mm鉬板坯為原料，鉬板坯的端口設有30度咬入角，保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序；
（2）、鉬燒結坯進行第一次加熱，第一次加熱的溫度為1350℃，時間為5h；
（3）、采用加熱好的鉬板進入軋機空軋來預熱寬幅軋機軋輥，預熱溫度為400度；
（4）、三個道次，分別30%，20%，10%，軋制加工率為50%；
（5）、一火軋制完成后，進行90度角換向，然后進行第二次加熱，第二次加熱的1450℃，時間為2h；
（6）、加熱完成后，進行二火軋制，一個道次，軋制后的板坯厚度為16mm，軋制加工率為20%；
（7）、將軋制成的半成品鉬板厚度為12mm，寬度1000mm，長度2100mm，利用軋制余熱送入進行預校平；
（8）、預校平后的所述半成品鉬板在氫氣爐中1100℃熱處理2h，然后最終校平處理，得到寬幅鉬靶材。
得到的寬幅鉬靶材掃描探傷后組織無缺陷，密度10.19，晶粒尺寸為70μm，平整度小于2mm，完全滿足tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材使用標準。
采用上述工藝，做50個批次，成品率100%。
實施例5
一種tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材的軋制工藝，包括以下步驟：
（1）、選擇尺寸為80mm?600?1100mm鉬板坯為原料，鉬板坯的端口設有30度咬入角，保證鉬板坯能夠順利咬入寬幅軋機，順利完成軋制工序；
（2）、鉬燒結坯進行第一次加熱，第一次加熱的溫度為1400℃，時間為4h；
（3）、采用加熱好的鉬板進入軋機空軋來預熱寬幅軋機軋輥，預熱溫度為400度；
（4）、三個道次，分別30%，20%，15%，軋制加工率為53%；
（5）、一火軋制完成后，進行90度角換向，然后進行第二次加熱，第二次加熱的1450℃，時間為2h；
（6）、加熱完成后，進行二火軋制，一個道次，軋制后的板坯厚度為16mm，軋制加工率為23%；
（7）、將軋制成的半成品鉬板厚度為15mm，寬度1600mm，長度2100mm，利用軋制余熱送入進行預校平；
（8）、預校平后的所述半成品鉬板在氫氣爐中1100℃熱處理2h，然后最終校平處理，得到寬幅鉬靶材。
得到的寬幅鉬靶材掃描探傷后組織無缺陷，密度10.19，晶粒尺寸為71μm，平整度小于2mm，完全滿足tft-lcd/amoled平面顯示器寬幅鉬靶材使用標準。
采用上述工藝，做50個批次，成品率98%。
以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。