031]為了向切割線電極部CL施加電壓脈沖，將來自加工電源的供電線與供電件單元6a?6d連接，使供電件單元6a?6d與構成切割線電極部CL的各線電極3接觸而供給來自加工電源10的電源。供電件單元6a?6d是通過刨削等形成的一體成型物，因此在相同的供電件單元中，供電件部分(直徑較大的圓柱部分)彼此電氣導通。因此，將來自加工電源10的供電線與供電件單元6a?6d連接，將供電件單元6a?6d與構成切割線電極部CL的各線電極接觸而進行供電，但無法獨立地向各供電件供電。即，向相同的供電件單元供電了的加工電流相對于發生了放電的線電極流動，施加電壓下降，因而在由相同的供電件單元供電的其他線電極中，與被完全地進行獨立供電的情況相比，變得不易同時并列地發生放電。但是，發明人們利用實際加工，作為實驗結果發現:關于供電件單元6a?6d，由于它們處于彼此獨立供電的狀態，所以由這些供電件單元6a?6d供電的線電極3同時并列地發生放電，不存在放電脈沖的顯著的發生頻率降低、以及加工速度的顯著降低。
[0032]另一方面，為了將掛放線電極3的供電件表面的線電極引導用的V字狀槽GW的位置作為基準，使多個供電件以規定的幾百μπι間隔進行并列，在上述供電件的組裝中，需要能夠以高精度對位置進行測定的專用裝置，要求細致的作業。另外，在切割線電極部CL中越是處于卷繞后半段的線電極在放電加工中越反復使用，因此在該線電極表面形成越多由放電加工造成的凹凸，此外，通過放電加工而熔融的高硬度的被加工物再次附著，成為一種耐磨性包覆線電極。因此，在這種線電極滑動的供電件處，線電極接觸的供電面的磨損嚴重，根據供電對象線電極不同，其供電件的更換頻率不同。在專利文獻1的供電件構造的情況下，即使在更換一個供電件的情況下，也需要對以等間隔排列的多個供電件進行分解，對它們的重新組裝以及調整需要相當多的工作量。
[0033]與此相對，本實施方式的線電極放電加工裝置旨在滿足對上述多根并列的線電極3進行穩定供電的高度要求、以及與多個供電件的組裝及調整有關的要求，如前所述，其特征在于，作為第1技術要素，具有一體成型而成的高精度的供電件單元，作為第2技術要素，具有對供電件單元6a?6d進行排列并保持的供電件支架。通過將高精度的供電件單元6a?6d分別嵌入對應的供電件支架60a、60b并保持，從而能夠與構成切割線電極部CL的多根并列線電極對應地排列供電件單7Π 6a?6d的供電件部分，使將供電件部分向切割線電極部CL的各線電極按壓的量為恒定的量，此外，是能夠將供電件部分與各并列線電極可靠地接觸并供電的方式。另外，由供電件支架60a、60b排列的上述多個供電件(供電件單元6a?6d)，與作為供電對象的各切割線電極部CL的線電極并列間隔相對應地排列，加工電源對各供電件單元6a?6d進行供電，該各供電件單元6a?6d配置為對切割線電極部CL至少每隔1根(在本實施方式中是3根)進行供電。因此，即使在流向相鄰線電極的供電電流的寄生較大的情況下，向隔1根相鄰的線電極的寄生電流也大幅減少，因此能夠減少由寄生電流對加工造成的影響。另外，即使在發生異常放電的情況下，由于在分離的位置處發生異常放電，因此也能夠分散由磨損造成的線電極的損傷。另外，在相同的供電件單元6a?6d中排列的供電件彼此電連接，因此容易進行供電。在本實施方式中，將各供電件單元在線電極部的寬度方向整體上進行設置，在供電件單元的寬度方向上，所有供電件以不具有重疊部的方式在寬度方向整體上以等間隔進行分散，每隔3根進行配置。利用該結構，各供電件單元的所有供電件對并列線電極部的各并列線電極分別逐個地、均勻地進行供電。在該方式下，能夠容易地排列多個供電件，因此容易進行加工安排。另外，由于各供電件的排列狀態不充分而導致的、供電件與線電極的接觸狀態不均勻的情況不會出現，因此加工電源向所有線電極穩定供電，因而不會發生各線電極的放電加工不穩定的情況。
[0034]另外，如圖4所示，通過預先將供電件單元6a?6d的兩軸端、以及對供電件單元6a?6d的兩軸端進行嵌入的供電件支架60a、60b的軸承部分加工為例如正六邊形，從而在將供電件單元6a?6d嵌入供電件支架60a、60b時，能夠在關于供電件單元6a?6d的軸向中心以60度的倍數的恒定角度旋轉后的位置處進行設置。S卩，如圖4所示，通過預先將供電件單元6a?6d的兩軸端、以及對供電件單元6a?6d的兩軸端進行嵌入的供電件支架60a、60b的軸承部分加工為正N邊形(N大于或等于3)，從而在將供電件單元6a?6d嵌入供電件支架60a、60b時，能夠在關于供電件單元6a?6d的軸向中心以恒定角度旋轉后的位置處進行設置。此外，在圖4中僅示出供電件支架60a，供電件支架60b也是同樣的。
[0035]利用該方式，即使供電件單元6a?6d的供電面由于與供電對象的切割線電極部CL之間的滑動摩擦而磨損，供電狀態發生變化，通過變更供電件單元6a?6d的兩軸端相對于供電件支架60a、60b的嵌入部分的位置并嵌入，從而也能夠變更供電件單元6a?6d的線電極接觸部位，能夠在不需要對供電件單元6a?6d的設置位置進行微調的情況下，容易地將供電件的供電面更換為新的表面。供電件固定用具61通過夾持收納于供電件支架60a、60b內的供電件單元6a、6b的兩軸端而進行固定。供電件固定用具61和供電件支架60a、60b例如由螺栓進行連結(未圖示)。另外，雖然未圖示，但在供電件單元6a、6b的軸端部分處，連接來自加工電源10的供電線，來自加工電源10的加工電流向切割線電極部CL的各線電極進行供電。圖4詳細地示出對供電件單元6a、6b進行收納的供電件支架60a，對供電件單元6c、6d進行收納的供電件支架60b也是相同的構造。
[0036]在本實施方式1中，線電極3中由供電件單元6a供電的線電極的、在卷收側方向上相鄰的線電極與供電件單元6c接觸而被供電，進一步在該線電極的卷收側方向上相鄰的線電極也與供電件單元6b接觸而被供電。并且，進一步在該線電極的卷收側方向上相鄰的線電極也與供電件單元6d接觸而被供電。
[0037]S卩，供電件單元6a?6d分別以4根線電極為間隔進行向并列線電極部PS (或切割線電極部CL)的供電，在配置有4根的供電件單元6a?6d之間電氣絕緣。通過了供電件單元6a的切割線電極部CL卷掛于驅動式的主導棍lc上，然后，卷掛于主導棍lb、la、Id上，再次卷掛于驅動式的主導輥lc。如前所述，在同列中配置的供電件是一體成型而得到的，由此，對于從相同的供電件單元供電的并列線電極部PS，無法進行獨立的供電。
[0038]但是，即便在使供電件完全電氣絕緣的狀態下向并列線電極PS獨立供電的情況下，由于是由1根線電極構成并列線電極部PS的構造，因此向相鄰線電極3的供電的電流的寄生(泄漏)也會微弱地發生。這種供電電流的寄生量較大的是相對于相鄰的線電極，向與相鄰線電極相鄰的線電極、即隔1根相鄰的線電極的寄生電流急劇地減少。因此，對于構成并列線電極部PS的線電極，如果隔開4根線電極的間隔進行供電，則由寄生電流(泄漏電流)對加工產生的影響不存在。
[0039]此外，在使供電件之間電氣導通的構造中，來自最近的相鄰線電極的電流寄生的影響最大，因此，即使供電件單元是在相鄰供電件之間絕緣的構造，即，即使供電件單元的根數是能夠對并列線電極部PS的線電極交替地進行供電的2根，也不會發生加工速度的顯著降低。
[0040]另外，在本實施方式1中，如圖2(b)及圖3(a)所示，通過線電極放電加工從錠切割得到的晶片的厚度受到多根線電極之間的間距影響。切割得到的晶片的厚度非常薄，為
0.5mm左右。因此，線電極的間距也非常狹窄，例如，對于當前使用的直徑為0.1mm的線電極，將間距設定為0.6mm。使供電部6S相對于這些并列線電極進行抵接，但此時為了使供電件與線電極可靠地接觸，使線電極不從供電件偏離，在供電件外周面進行V槽加工。為此，供電部6S需要具有相應的厚度，為了使這樣的供電部6S相鄰并列，由于線電極間距窄至使供電件彼此接觸，因此如圖3(a)所示，在1個供電件列中形成的供電部6S為等間隔，將這些供電件列有規律地錯開設置，從而使相鄰線電極的供電件彼此的位置上的限制不存在，能夠將供電部6S設計為與線電極間距的2倍接近的厚度。
[0041]實施方式2
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