摩擦力，使供電件單元6a?6d與線電極的行進一起旋轉。此外，匯流環73具有對圓柱形狀的旋轉軸供電的功能，因此來自加工電源10的電流經由匯流環73的電刷，從供電件單元6a?6d的軸端向這些供電件單元的各供電件供電，向并列線電極部PS(切割線電極部CL)供給加工電流。
[0057]通過在對供電件單元6a?6d的兩軸端進行支撐的部分處設置滾動軸承72，利用滾動軸承72對供電件單元6a?6d進行支撐，從而能夠使供電件單元6a?6d的旋轉更加平滑。因此，利用由并列線電極部PS的接觸所產生的摩擦力容易地旋轉，因而能夠長時間維持穩定的滾動摩擦狀態，而不在并列線電極部PS的行進速度與供電件單元6a?6d的旋轉速度之間產生差異。在此情況下，為了防止在軸承內的軸承之間發生放電，優選滾動軸承72是陶瓷球等非導電性材料。
[0058]通過上述構造，針對并列線電極部PS的供電件單元6a?6d的供電部分并不是如實施方式1那樣與線電極形成的滑動狀態，而是通過與供電對象的線電極的行進一起旋轉，而成為滾動摩擦的狀態。因而，由于反復在放電加工中使用而附著了硬質物質、表面粗糙度發生了惡化的切割線電極部CL 一邊與供電件部分滑動一邊行進所造成的、供電件單元6a?6d的供電面發生磨損的現象消失，供電件單元6a?6d的壽命延長，能夠穩定地進行放電加工。
[0059]通過采用前述這種裝置結構，從加工電源10對切割線電極部CL的供電在長時間內是穩定的，能夠維持穩定的放電加工，能夠從被加工物5 —次性地切割得到板厚一致的多片晶片。
[0060]此外，為了向供電件單元6a?6d進行供電，例如使匯流環、電刷等相對于從供電件支架60a、60b的軸承部凸出的供電件單元6a?6d的兩軸端進行接觸即可。此時，為了防止在軸承內部發生放電而使軸承損傷，從部件壽命延長的觀點出發，優選所使用的軸承的軸承是由陶瓷球等非導電性材料構成的滾動軸承。
[0061]如上述所示，通過以供電件單元6a?6d能夠關于其軸中心平滑地旋轉的方式設置軸承，從而將由行進的切割線電極部CL的滑動所造成的摩擦變為滾動摩擦，由此大幅減輕供電件單元6a?6d的供電面的磨損，從而起到放電加工長時間穩定化、加工精度提高的效果。
[0062]另外，使供電件單元6a?6d隨著線電極行進而滾動，因而供電件單元6a?6d的線電極接觸面即供電面不會由于摩擦而磨損，即使不是硬質合金這樣的高硬度的材料，例如，即使是鋼或銅、黃銅、鋁等容易進行切削加工的金屬材料，也能夠作為供電件單元使用，能夠長時間持續穩定的放電。
[0063]此外，在上述3個實施方式中，隔著被加工物5在兩側分別安裝有2個供電件單元，但在兩側具有1個供電件單元的情況下也能夠應用本發明。
[0064]在采用了下述構造的情況下，具有減少加工槽寬度的波動、進而減少晶片板厚的波動的效果，即，能夠從在錠的兩側分別配置1個的各供電件列對全部線電極進行供電。即，在僅從配置在錠的單側的供電件進行供電的情況下，由于從供電件起到錠的放電位置為止的距離之差，中途的電阻值發生變動，因此放電電流也發生變化。因此，與從供電件起到加工點為止的距離相應地，由放電加工產生的加工量有所不同，錠加工時的加工槽寬度具有下述傾向，即，越與供電件靠近的部分越粗，越與供電件遠離的部分越細。特別地，在口徑大的錠中，該傾向變得顯著。與此相對，在集中供電中，通過從在錠兩側分別配置1個的供電件列對各線電極進行供電，從而減少從供電件到放電位置的距離之差，改善放電電流的損耗，改善加工量的差別，改善加工槽寬度的波動即晶片板厚的波動。
[0065]對本發明的若干實施方式進行了說明，但這些實施方式是作為例子進行提示的，并非意在限定發明的范圍。上述新的實施方式能夠以其他各種方式進行實施，能夠在不脫離發明主旨的范圍內進行各種省略、置換、變更。這些實施方式及其變形包含在發明的范圍和主旨內，并且包含在權利要求書所記載的發明及其同等的范圍內。
[0066]標號的說明
[0067]la、lb、lc、Id主導輥，2線電極線軸，3線電極，CL切割線電極部，PS并列線電極部，4線電極卷線軸，5被加工物，51晶錠，5W晶片，6a、6b、6c、6d供電件單元，6M軸部，6S供電部，7a、7b減振導輥，8a、8b噴嘴，9工作臺，10加工電源，60a、60b供電件支架，61供電件固定用具，6R切口部，6T供電部，72滾動軸承，73匯流環(供電電刷)。
【主權項】
1.一種線電極放電加工裝置，其具備: 一對導輥，它們隔開間隔平行地配置； 一根線電極，其在所述一對導輥之間以恒定間距分離并多次卷掛，該線電極隨著所述導輥的旋轉而行進，并且在所述一對導輥之間形成彼此分離的多個并列線電極部； 一對減振導輥，它們設置在所述一對導輥之間，與所述并列線電極部分別從動接觸而形成減振后的切割線電極部； 供電件單元，其具備與作為供電對象的各切割線電極部的線電極并列間隔相對應地排列，并與所述多個并列線電極部分別接觸而供電的多個供電件，相鄰的各供電件被排列為至少每隔1根線電極而向所述并列線電極部進行供電；以及加工電源，其在供電件與線電極之間施加電壓而產生放電。2.根據權利要求1所述的線電極放電加工裝置，其中， 在相同的所述供電件單元中排列的供電件彼此電連接， 所述供電件單元具備在兩端處具有軸端支撐部的供電件支架，能夠進行所述供電件的位置控制。3.根據權利要求2所述的線電極放電加工裝置，其中， 所述供電件單元具有:軸部，其是直徑較小的圓柱部分；以及供電部，其以規定的間隔形成于該軸部，由直徑比所述軸部大的圓柱部分構成，在外周面具有線電極引導用的槽，構成為通過使所述軸部的端部的支撐位置旋轉，從而能夠變更供電件的與所述線電極的接觸面。4.根據權利要求3所述的線電極放電加工裝置，其中， 所述供電件單元的所述軸部的端被加工為正多面棱體， 對所述供電件單元進行支撐的供電件支架的所述軸端支撐部也鉆孔加工為正多面棱體。5.根據權利要求2至4中任一項所述的線電極放電加工裝置，其中， 所述供電件單元在所述軸端支撐部具備滾動軸承，能夠進行旋轉。6.根據權利要求5所述的線電極放電加工裝置，其中， 在所述供電件單元的軸端具備匯流環或者供電電刷， 從所述加工電源向所述供電電刷供電。7.根據權利要求1所述的線電極放電加工裝置，其中， 所述供電件單元配置為遍及所述并列線電極部的排列寬度方向整體，并在各供電件單元的寬度方向上以所有所述供電件不具有重疊部的方式，以等間隔進行分散。8.根據權利要求7所述的線電極放電加工裝置，其中， 所述供電件單元由4個供電件單元構成，構成各供電件單元的供電件構成為，每隔3根線電極而向所述并列線電極部進行供電。9.根據權利要求1至8中任一項所述的線電極放電加工裝置，其中， 所述供電件單元按照每個排列單位一體成型而成。10.一種薄板的制造方法， 其使用權利要求1至9中任一項所述的線電極放電加工裝置， 從所述加工電源對所述供電件單元進行集中供電，從被加工物制作多片薄板。11.一種半導體晶片的制造方法，其使用權利要求1至9中任一項所述的線電極放電加工裝置，從所述加工電源對所述供電件進行集中供電，從半導體材料制作多片半導體晶片。
【專利摘要】為了通過從加工電源穩定地進行供電從而進行高精度的切斷加工，在本發明中，在將線電極(3)在主導輥(1a～1d)之間卷掛多次，同時進行多個切割加工的線電極放電加工裝置中，縮短將多根線電極(3)向供電件的線電極架設作業，對切割線電極部(CL)進行均勻的供電，謀求穩定的加工，將多個供電件按照排列位置以單元為單位，與作為供電對象的各切割線電極部的線電極并列間隔相對應地進行排列，并且配置為至少每隔1根線電極而向切割線電極部進行供電。
【IPC分類】B23H7/10, B23H7/02
【公開號】CN105408045
【申請號】CN201480028904
【發明人】三宅英孝, 糸數篤, 橋本隆
【申請人】三菱電機株式會社
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2014年2月28日
【公告號】DE112014002487T5, US20160059338, WO2014188754A1