專利名稱：一種硬質合金表面的超硬涂層的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種沉積于硬質合金表面的超硬涂層，它能進一步提高硬質合金的表面性能。可適用于由硬質合金制成的切削刀具及耐磨元件、密封件、軸承副的表面強化。
本實用新型的技術方案為包括有加工成形的硬質合金基體2，其不同之處在于在硬質合金基體的表面沉積CNx復合涂層1。
按上述方案，氮化碳CNx中X的取值為0.4～1.5。
本實用新型采用偏壓磁控濺射方法沉積CNx復合涂層，以金屬Ti和高純石墨作為靶材，高純N2作為反應氣體，高純Ar作濺射氣體沉積CNx復合涂層。
本實用新型通過在硬質合金表面沉積CNx復合涂層可有效提高硬質合金表面的硬度、高溫性能和耐磨性，涂層與硬質合金機體的結合力進一步改善，切削實驗表明，本實用新型涂層刀具的使用壽命較TiN涂層有顯著的提高。
本實用新型的硬質合金件可以是各種形狀的切削刀具，以及耐磨元件、密封件和軸承副。


圖1為本實用新型表面層結構的剖面示意圖。
圖2為本實用新型一個實施例表面層結構的剖面示意圖。
權利要求1.一種硬質合金表面的超硬涂層，包括有加工成形的硬質合金基體(2)，其特征在于在硬質合金基體的表面沉積CNx復合涂層(1)。
2.按權利要求1所述的硬質合金表面的超硬涂層，其特征在于氮化碳CNx中X的取值為0.4～1.5。
3.按權利要求1或2所述的硬質合金表面的超硬涂層，其特征在于在硬質合金基體表面與CNx復合涂層之間沉積有TiN過渡層(3)。
4.按權利要求1或2所述的硬質合金表面的超硬涂層，其特征在于CNx復合涂層厚度為0.1-10μm。
5.按權利要求1或2所述的硬質合金表面的超硬涂層，其特征在于TiN過渡層厚度為0.1-10μm。
6.按權利要求2所述的硬質合金表面的超硬涂層，其特征在于氮化碳CNx中X的取值為0.8～1.33。
專利摘要本實用新型涉及一種沉積于硬質合金表面的超硬涂層，它能進一步提高硬質合金的表面性能。可適用于由硬質合金制成的切削刀具及耐磨元件、密封件、軸承副的表面強化。它包括有加工成形的硬質合金基體，其不同之處在于在硬質合金基體的表面沉積CN
文檔編號C23C14/06GK2575112SQ0227979
公開日2003年9月24日 申請日期2002年10月31日 優先權日2002年10月31日
發明者陸慶忠, 張烈華, 吳文 申請人:江漢石油鉆頭股份有限公司