專利名稱：一種帶鑲嵌結(jié)構(gòu)的掩膜夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種在晶體生產(chǎn)行業(yè)可被廣泛使用的用以形成電極 的掩膜夾具，尤其是在蒸鍍高頻產(chǎn)品的時(shí)候可以解決竄片和強(qiáng)度不足問(wèn) 題的掩膜夾具。
背景技術(shù)：
目前，公知的晶體行業(yè)普遍使用的磁性掩膜夾具是有三層平板結(jié)構(gòu) 組成，包含下電極板，中層定位板和上電極板，由不銹鋼材質(zhì)蝕刻成型， 一般使用該方案沒(méi)有問(wèn)題，但是該方案在使用到高頻產(chǎn)品電極蒸鍍的時(shí)
候，會(huì)因?yàn)橹虚g定位板過(guò)薄，如對(duì)40.000MHZ的電極產(chǎn)品蒸鍍時(shí)，中間 定位板只有0.04mm厚，非常容易變形造成損毀和電極不完整，從而造成 產(chǎn)品報(bào)廢。因此實(shí)有必要設(shè)計(jì)一種新的掩膜夾具克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有的掩膜夾具生產(chǎn)高頻產(chǎn)品時(shí)其本身容易變形的問(wèn)題, 本實(shí)用新型提供一種掩膜夾具，該掩膜夾具不僅提高了強(qiáng)度，使夾具不 易變形損毀，而且能防止形成的電極不完整造成產(chǎn)品報(bào)廢。 為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的掩膜夾具是這樣設(shè)計(jì)的 一種掩膜夾具，該掩膜夾具包括上、下電極板和中間定位板，所述 上、下電極板上分別設(shè)有電極孔，所述中間定位板上設(shè)有定位孔，上、 下電極板的電極孔周圍設(shè)有突起的平臺(tái)，所述突起的平臺(tái)探入所述定位 孔之中。
本實(shí)用新型的有益效果是，可以將鍍膜夾具的使用壽命提高至少10 倍以上，同時(shí)避免了形成的電極不完整、偏心等問(wèn)題。以下結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的掩膜夾具的具體結(jié)構(gòu)，其中


圖1是本實(shí)用新型的一種優(yōu)選布局結(jié)構(gòu)，1為上下電極板的電極孔和
中間定位板的中心位置。
圖2， 4為改進(jìn)前的下，上電極板的電極孔結(jié)構(gòu)，2, 4為電極孔。
圖3是改進(jìn)前的中間定位板的定位孔形狀，3為定位孔。
圖5, 7為本實(shí)用新型的電極板電極結(jié)構(gòu)，包含電極孔5, 7及
0. 04-0. 06固的突起平臺(tái)6， 8。
圖6為本實(shí)施例的中間定位板的定位孔形狀，但厚度增加到
0. 13-0. 16畫(huà)。
圖8為本實(shí)施例正常使用時(shí)的上、下電極板和中間定位板疊加結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
圖5和7中，在電極孔5， 7的周圍通過(guò)腐蝕的方式，加工出來(lái)一個(gè) 突起平臺(tái)6、 8 ,使突起平臺(tái)6、 8和中間的定位板組合后可以探入圖6的 定位孔3中，組合后的結(jié)果見(jiàn)圖8,同時(shí)將中間定位板的厚度增厚到 0. 13-0. 16mm，待蒸鍍電極的晶片放置在定位孔中，因?yàn)樯舷码姌O探入定 位孔將晶片固定住，可以保證蒸鍍好的電極完整，不竄片。
增加中間定位板的厚度到0. 13-0. 16mm可以提高其強(qiáng)度，延長(zhǎng)使用 壽命，同時(shí)在上下電極板對(duì)應(yīng)電極孔的位置形成突起平臺(tái)，嵌入到中間 定位板內(nèi)部，壓住處于定位板之中的待蒸鍍電極的晶片，使它不能移位， 從而使形成的電極完整不偏心。
權(quán)利要求1. 一種掩膜夾具，該掩膜夾具包括上、下電極板和中間定位板，所述上、下電極板上分別設(shè)有電極孔，所述中間定位板上設(shè)有定位孔，其特征在于上、下電極板的電極孔周圍設(shè)有突起的平臺(tái)，所述突起的平臺(tái)探入所述定位孔之中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜夾具，其特征在于所述中間定位板 的厚度是0. 13-0.16mm。
專利摘要一種掩膜夾具，該掩膜夾具包括上、下電極板和中間定位板，所述上、下電極板上分別設(shè)有電極孔，所述中間定位板上設(shè)有定位孔，上、下電極板的電極孔周圍設(shè)有突起的平臺(tái)，所述突起的平臺(tái)探入所述定位孔之中。這樣可以延長(zhǎng)電極板的使用壽命，同時(shí)所形成的電極也是完整的，不易竄片造成電極偏心而形成不良品。
文檔編號(hào)C23C14/24GK201258356SQ200820134698
公開(kāi)日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2008年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月8日
發(fā)明者張光信 申請(qǐng)人:北京康特電子股份有限公司