專利名稱：數(shù)控精密研磨拋光機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及主要用于硅片、硬盤基片、光盤母盤、陶瓷片、石英晶體及其它硬脆材 料的研磨加工設(shè)備，具體涉及一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的研磨拋光機(jī)常采用普通電機(jī)拖動(dòng)，通過齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)上下拋光盤以及內(nèi) 外齒圈的傳動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的研磨拋光，其上下拋光盤與行星輪只有兩種速度比， 限制了雙面拋光機(jī)加工運(yùn)動(dòng)軌跡的變化，缺乏對(duì)速度的精確控制。
申請(qǐng)?zhí)枮?00710068275.9的中國發(fā)明專利公開了一種精密雙面拋光機(jī)的控制系統(tǒng)， 其精密雙面拋光機(jī)采用四個(gè)變頻電機(jī)分別拖動(dòng)上下拋光盤和內(nèi)外齒圈的原理來實(shí)現(xiàn)傳 動(dòng)，而且采用了軸套結(jié)構(gòu)，雖然實(shí)現(xiàn)了無級(jí)調(diào)速，加工過程的軟啟動(dòng)和軟停止，提高了 拋光機(jī)的工作效率和加工精度，但由于變頻電機(jī)需要有變頻器控制，其對(duì)使用條件要求 較高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)慢，抗干擾能力差，不適應(yīng)大扭矩的加工要求；特別是對(duì)于高精度的研 磨拋光設(shè)備來說，其軸套結(jié)構(gòu)本身的制造誤差也會(huì)使上下研磨盤產(chǎn)生跳動(dòng)和振動(dòng)，從而 不能滿足高精度和超高精度的加工要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其 利用伺服電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)下研磨盤主軸上的齒圈，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)上下研磨盤的拖動(dòng)，同時(shí)對(duì) 其運(yùn)動(dòng)實(shí)施閉環(huán)控制，從而有效滿足了高精度的研磨拋光機(jī)的使用要求。
本發(fā)明的目的可以通過采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，包 括有焊接箱體(16)，焊接箱體(16)的一側(cè)設(shè)有立柱(17)，焊接箱體(16)的另一側(cè) 設(shè)有電器柜(13)，橫梁(18)的兩端分別固定安裝在立柱(17)和電器柜(13)上，焊 接箱體(16)內(nèi)的主支座(14)上設(shè)有主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(15)，橫梁(18)上與主軸驅(qū)動(dòng)系 統(tǒng)(15)對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有上盤裝置，操作箱(12)通過操作箱托臂(9)設(shè)在電器柜(13) 上，其特點(diǎn)是還包括有所述的上盤裝置的快速作用缸(5)的氣缸桿朝下固定安裝在橫 粱(18)中央，快速作用缸(5)的氣缸桿與緩作用缸(4)相連接，緩作用缸(4)的氣
5缸桿與拉力傳感器組件(6)相連，承載盤(19)通過支桿(20)設(shè)在拉力傳感器組件(6) 的下方，上盤(21)固定安裝在承載盤(19)上，分液環(huán)(22)固定設(shè)置在拉力傳感器 組件(6)上，分液環(huán)(22)上設(shè)有分液球閥(8)，分液環(huán)(22)通過管架(7)與拉力 傳感器組件(6)固定連接；所述的操作箱(12)內(nèi)設(shè)有用于運(yùn)動(dòng)控制的上位機(jī)平板電腦， 平板電腦內(nèi)設(shè)控制程序，通過觸摸屏發(fā)送指令進(jìn)行設(shè)備的數(shù)據(jù)采集、傳輸、處理，以完 成該研磨拋光機(jī)的高精度控制；所述的電器柜(13)內(nèi)設(shè)有用于運(yùn)動(dòng)控制的工業(yè)控制器 和電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
所述的緩作用缸(4)上固定連接有上防轉(zhuǎn)板(23)，拉力傳感器組件(6)上固定連 接有下防轉(zhuǎn)板(24)，防轉(zhuǎn)桿(25)與下防轉(zhuǎn)板(24)固定連接，防轉(zhuǎn)桿(25)的上端設(shè) 置在上防轉(zhuǎn)板(23)的U型槽內(nèi)。并可在U型槽內(nèi)滑動(dòng)。上盤(21)在快速作用缸(5) 及緩作用缸(4)的驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)垂直移動(dòng)，同時(shí)也可轉(zhuǎn)動(dòng)和浮動(dòng)。
所述的上盤(21)的上邊緣固定設(shè)置有手柄(10)。所述的承載盤(19)上設(shè)有活動(dòng) 鍵(11)，活動(dòng)鍵(11)通過鍵座固定安裝在承載盤(19)內(nèi)環(huán)邊緣，數(shù)量為2個(gè)，成對(duì) 稱分布。
所述的橫梁(18)上緩作用缸(4)的兩側(cè)分別設(shè)有拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣缸 (3)，拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣缸(3)與掛鉤(1)相連。在拉伸彈簧2和掛鉤作用 氣缸3的作用下，掛鉤1可實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)。所述的拉力傳感器組件(6)內(nèi)設(shè)有關(guān)節(jié)軸承及推 力軸承或深溝球軸承。
所述的主軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括有包括有設(shè)置在焊接箱體(16)的主電機(jī)(26)和主支座 (14),主電機(jī)(26)通過皮帶(51)與設(shè)在主支座(14)上的主減速箱(27)相連，所 述的主支座(14)上安裝有支撐套(46)，抬升套(57)設(shè)置在支撐套(46)的外部，抬 升套(57)下部設(shè)有抬升機(jī)構(gòu)(61);齒圈套(47)通過軸承(52)安裝在抬升套(57) 上，齒圈套(47)上設(shè)有齒圈從動(dòng)齒輪(48)，齒圈支架(43)固定安裝在齒圈套(47) 的上部，齒圈(42)設(shè)在齒圈支架(43)上，支撐套(46)內(nèi)通過軸承裝有下盤軸(45)， 下盤軸(45)上部固定安裝有托盤(37)，下盤(41)設(shè)置在托盤(37)上，下盤(41) 和托盤(37)上對(duì)應(yīng)設(shè)有撥銷(60);下盤軸(45)的下部固定設(shè)有下盤從動(dòng)齒輪(33)， 下盤軸(45)內(nèi)部通過軸承裝有太陽輪軸(44)，太陽輪軸(44)的上部設(shè)有太陽輪支架 (58)，太陽輪支架(58)上設(shè)有太陽輪(40)，太陽輪軸(44)的下端固定設(shè)有太陽輪 從動(dòng)齒輪(29);太陽輪軸(44)內(nèi)部通過軸承設(shè)有中心軸(38)，中心軸(38)上部固 定連接有帶動(dòng)上盤旋轉(zhuǎn)的撥輪(39)，中心軸(38)的下端固定連接有上盤從動(dòng)齒輪(30)， 中心軸(38)下部通過軸承與主支座(14)安裝定位。所述的焊接箱體(16)上還設(shè)有上盤電機(jī)(54),上盤電機(jī)(54)通過皮帶與上盤減 速箱(55)相連，上盤減速箱(55)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有上盤主動(dòng)齒輪(56)，上盤主動(dòng) 齒輪(56)與第二惰輪(59)相嚙合，第二惰輪(59)與上盤從動(dòng)齒輪(30)相嚙合， 所述的主支座(14)上的主減速箱(27)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有動(dòng)力輸入齒輪(31)，動(dòng)力 輸入齒輪(31)與下盤主動(dòng)齒輪(32)相嚙合，下盤主動(dòng)齒輪(32)與下盤從動(dòng)齒輪(33) 相嚙合；下盤主動(dòng)齒輪(32)設(shè)在動(dòng)力傳動(dòng)軸(28)上，動(dòng)力傳動(dòng)軸(28)通過軸承設(shè) 在主支座(14)上。
所述的主支座(14)上還設(shè)有太陽輪電機(jī)(35)和齒圈電機(jī)(49)，太陽輪電機(jī)(35) 與太陽輪減速箱(36)相連，太陽輪減速箱(36)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有太陽輪主動(dòng)齒輪 (34)，太陽輪主動(dòng)齒輪(34)與太陽輪從動(dòng)齒輪(29)相嚙合；齒圈電機(jī)(49)與齒圈 減速箱(50)相連，齒圈減速箱(50)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有齒圈主動(dòng)齒輪(53)，齒圈主 動(dòng)齒輪(53)與齒圈從動(dòng)齒輪(48)相嚙合。
所述的工業(yè)控制器包括有單片機(jī)(62)、環(huán)形變壓器和電壓差分放大器(66)，單片 機(jī)(62)的兩個(gè)串口分別與上位機(jī)(63)和變頻器(64)相連，單片機(jī)(62)的通過SPI 總線與數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC (65)和鐵電(67)相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)總線與電壓差 分放大器(66)相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)地址總線與可編程邏輯控制器CPLD (69) 相連，單片機(jī)(62)通過并行地址數(shù)據(jù)總線與備用的存儲(chǔ)器RAM (68)相連，可編程 邏輯控制器CPLD (69)通過數(shù)據(jù)線分別與輸出光繼電器(70)、輸入光耦合器(71)和 輸入AB相脈沖發(fā)生器(72)相連。
本發(fā)明的有益效果是，所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，可以由單個(gè)或多個(gè)伺服電機(jī)拖 動(dòng)，每個(gè)伺服電機(jī)還可以單獨(dú)驅(qū)動(dòng)，這樣可以靈活規(guī)劃加工工藝，每步工序中各驅(qū)動(dòng)件 的轉(zhuǎn)速及轉(zhuǎn)向均可靈活編輯；從而使變速范圍廣，運(yùn)動(dòng)精度更高，響應(yīng)速度更快，抗干 擾能力強(qiáng)，能更好的適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào) 速穩(wěn)定，沖擊小。工作可靠，對(duì)維護(hù)和保養(yǎng)要求低。


圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2為本發(fā)明圖1的后視結(jié)構(gòu)示意圖3為本發(fā)明圖1中的主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理示意圖4為本發(fā)明工業(yè)控制原理圖。
具體實(shí)施例方式
以下結(jié)合附圖所示之最佳實(shí)施例作進(jìn)一步詳述
見圖l、 2、 3，所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，包括有焊接箱體16，焊接箱體16的一 側(cè)設(shè)有立柱17，焊接箱體16的另一側(cè)設(shè)有電器柜13,橫梁18的兩端分別固定安裝在立 柱17和電器柜13上，焊接箱體16內(nèi)的主支座14上設(shè)有主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)15，橫梁18上 與主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)15對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有上盤裝置，操作箱12通過操作箱托臂9設(shè)在電器柜 13上，其特點(diǎn)是還包括有所述的上盤裝置的快速作用缸5的氣缸桿朝下固定安裝在橫 粱18中央，快速作用缸5的氣缸桿與緩作用缸4相連接，緩作用缸4的氣缸桿與拉力傳 感器組件6相連，承載盤19通過支桿20設(shè)在拉力傳感器組件6的下方，上盤21固定安 裝在承載盤19上，分液環(huán)22固定設(shè)置在拉力傳感器組件6上，分液環(huán)22上設(shè)有分液球 閥8,分液環(huán)22通過管架7與拉力傳感器組件6固定連接；所述的操作箱12內(nèi)設(shè)有用 于運(yùn)動(dòng)控制的上位機(jī)平板電腦，平板電腦內(nèi)設(shè)控制程序，通過觸摸屏發(fā)送指令進(jìn)行設(shè)備 的數(shù)據(jù)采集、傳輸、處理，以完成該研磨拋光機(jī)的高精度控制；所述的電器柜13內(nèi)設(shè)有 用于運(yùn)動(dòng)控制的工業(yè)控制器和電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
所述的緩作用缸4上固定連接有上防轉(zhuǎn)板23，拉力傳感器組件6上固定連接有下防 轉(zhuǎn)板24，防轉(zhuǎn)桿25與下防轉(zhuǎn)板24固定連接，防轉(zhuǎn)桿25的上端設(shè)置在上防轉(zhuǎn)板23的U 型槽內(nèi)。并可在U型槽內(nèi)滑動(dòng)。上盤21在快速作用缸5及緩作用缸4的驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)垂直 移動(dòng)，同時(shí)也可轉(zhuǎn)動(dòng)和浮動(dòng)。
所述的上盤21的上邊緣固定設(shè)置有手柄10。所述的承載盤.19上設(shè)有活動(dòng)鍵11，活 動(dòng)鍵11通過鍵座固定安裝在承載盤19內(nèi)環(huán)邊緣，數(shù)量為2個(gè)，成對(duì)稱分布。
所述的橫梁18上緩作用缸4的兩側(cè)分別設(shè)有拉伸彈簧2和掛鉤作用氣缸3，拉伸彈 簧2和掛鉤作用氣缸3與掛鉤1相連。在拉伸彈簧2和掛鉤作用氣缸3的作用下，掛鉤 1可實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)。所述的拉力傳感器組件6內(nèi)設(shè)有關(guān)節(jié)軸承及推力軸承或深溝球軸承。
所述的主軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括有包括有設(shè)置在焊接箱體16的主電機(jī)26和主支座14，主 電機(jī)26通過皮帶51與設(shè)在主支座14上的主減速箱27相連，所述的主支座14上安裝有 支撐套46，抬升套57設(shè)置在支撐套46的外部，抬升套57下部設(shè)有抬升機(jī)構(gòu)61;齒圈 套47通過軸承52安裝在抬升套57上，齒圈套47上設(shè)有齒圈從動(dòng)齒輪48，齒圈支架43 固定安裝在齒圈套47的上部，齒圈42設(shè)在齒圈支架43上，支撐套46內(nèi)通過軸承裝有 下盤軸45，下盤軸45上部固定安裝有托盤37，下盤41設(shè)置在托盤37上，下盤41和托 盤37上對(duì)應(yīng)設(shè)有撥銷60;下盤軸45的下部固定設(shè)有下盤從動(dòng)齒輪33，下盤軸45內(nèi)部通過軸承裝有太陽輪軸44，太陽輪軸44的上部設(shè)有太陽輪支架58，太陽輪支架58上設(shè) 有太陽輪40，太陽輪軸44的下端固定設(shè)有太陽輪從動(dòng)齒輪29;太陽輪軸44內(nèi)部通過軸 承設(shè)有中心軸38，中心軸38上部固定連接有帶動(dòng)上盤旋轉(zhuǎn)的撥輪39，中心軸38的下端 固定連接有上盤從動(dòng)齒輪30，中心軸38下部通過軸承與主支座14安裝定位。
所述的焊接箱體16上還設(shè)有上盤電機(jī)54，上盤電機(jī)54通過皮帶與上盤減速箱55 相連，上盤減速箱55的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有上盤主動(dòng)齒輪56，上盤主動(dòng)齒輪56與第二惰 輪59相嚙合，第二惰輪59與上盤從動(dòng)齒輪30相嚙合，所述的主支座14上的主減速箱 27的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有動(dòng)力輸入齒輪31，動(dòng)力輸入齒輪31與下盤主動(dòng)齒輪32相嚙合， 下盤主動(dòng)齒輪32與下盤從動(dòng)齒輪33相嚙合；下盤主動(dòng)齒輪32設(shè)在動(dòng)力傳動(dòng)軸28上， 動(dòng)力傳動(dòng)軸28通過軸承設(shè)在主支座14上。
所述的主支座14上還設(shè)有太陽輪電機(jī)35和齒圈電機(jī)49，太陽輪電機(jī)35與太陽輪 減速箱36相連，太陽輪減速箱36的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有太陽輪主動(dòng)齒輪34，太陽輪主動(dòng) 齒輪34與太陽輪從動(dòng)齒輪29相嚙合；齒圈電機(jī)49與齒圈減速箱50相連，齒圈減速箱 50的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有齒圈主動(dòng)齒輪53，齒圈主動(dòng)齒輪53與齒圈從動(dòng)齒輪48相嚙合。
所述的工業(yè)控制器包括有單片機(jī)62、環(huán)形變壓器和電壓差分放大器66，單片機(jī)62 的兩個(gè)串口分別與上位機(jī)63和變頻器64相連，單片機(jī)62的通過SPI總線與數(shù)模轉(zhuǎn)換器 DAC 65和鐵電67相連，單片機(jī)62通過數(shù)據(jù)總線與電壓差分放大器66相連，單片機(jī)62 通過數(shù)據(jù)地址總線與可編程邏輯控制器CPLD 69相連，單片機(jī)62通過并行地址數(shù)據(jù)總 線與備用的存儲(chǔ)器RAM 68相連，可編程邏輯控制器CPLD 69通過數(shù)據(jù)線分別與輸出光 繼電器70、輸入光耦合器71和輸入AB相脈沖發(fā)生器72相連。
權(quán)利要求
1.一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，包括有焊接箱體(16)，焊接箱體(16)的一側(cè)設(shè)有立柱(17)，焊接箱體(16)的另一側(cè)設(shè)有電器柜(13)，橫梁(18)的兩端分別固定安裝在立柱(17)和電器柜(13)上，焊接箱體(16)內(nèi)的主支座(14)上設(shè)有主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(15)，橫梁(18)上與主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(15)對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有上盤裝置(21)，操作箱(12)通過操作箱托臂(9)安裝在電器柜(13)頂部，其特征是還包括有所述的上盤裝置的快速作用缸(5)的氣缸桿朝下固定安裝在橫梁(18)中央，快速作用缸(5)的氣缸桿與緩作用缸(4)相連接，緩作用缸(4)的氣缸桿與拉力傳感器組件(6)相連，承載盤(19)通過支桿(20)設(shè)在拉力傳感器組件(6)的下方，上盤(21)固定安裝在承載盤(19)上，分液環(huán)(22)固定設(shè)置在拉力傳感器組件(6)上，分液環(huán)(22)上設(shè)有分液球閥(8)，分液環(huán)(22)通過管架(7)與拉力傳感器組件(6)固定連接；所述的操作箱(12)內(nèi)設(shè)有用于運(yùn)動(dòng)控制的上位機(jī)平板電腦，所述的電器柜(13)內(nèi)設(shè)有用于運(yùn)動(dòng)控制的工業(yè)控制器和電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
2. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的緩作用缸(4)上固 定連接有上防轉(zhuǎn)板(23)，拉力傳感器組件(6)上固定連接有下防轉(zhuǎn)板(24)，防轉(zhuǎn) 桿(25)與下防轉(zhuǎn)板(24)固定連接，防轉(zhuǎn)桿(25)的上端定位于上防轉(zhuǎn)板(23) 的U型槽內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的上盤(21)的上邊 緣固定有手柄(10)。
4. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的承載盤(19)上設(shè) 有活動(dòng)鍵(11)，活動(dòng)鍵(11)通過鍵座固定安裝在承載盤(19)內(nèi)環(huán)邊緣，數(shù)量為 2個(gè)，對(duì)稱分布。
5. 如權(quán)利要求2所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的橫梁(18)上緩作 用缸(4)的兩側(cè)分別設(shè)有拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣缸(3)，拉伸彈簧(2)和掛 鉤作用氣缸(3)與掛鉤(1)相連。
6. 如權(quán)利要求2所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的拉力傳感器組件(6) 內(nèi)設(shè)有關(guān)節(jié)軸承及推力軸承或深溝球軸承。
7. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的主軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括 有設(shè)置在焊接箱體(16)的主電機(jī)(26)和主支座(14)，主電機(jī)(26)通過皮帶(51)與設(shè)在主支座(14)上的主減速箱(27)相連，所述的主支座(14)上安裝有支撐 套(46)，抬升套(57)設(shè)置在支撐套(46)的外部，抬升套(57)下部設(shè)有抬升機(jī) 構(gòu)(61);齒圈套(47)通過軸承(52)安裝在抬升套(57)上，齒圈套(47)上設(shè) 有齒圈從動(dòng)齒輪(48)，齒圈支架(43)固定安裝在齒圈套(47)的上部，齒圈(42) 設(shè)在齒圈支架(43)上，支撐套(46)內(nèi)通過軸承裝有下盤軸(45)，下盤軸(45) 上部固定安裝有托盤(37)，下盤(41)設(shè)置在托盤(37)上，下盤(41)和托盤(37) 上對(duì)應(yīng)設(shè)有撥銷(60);下盤軸(45)的下部固定設(shè)有下盤從動(dòng)齒輪(33)，下盤軸(45)內(nèi)部通過軸承裝有太陽輪軸(44)，太陽輪軸(44)的上部設(shè)有太陽輪支架(58)， 太陽輪支架(58)上設(shè)有太陽輪(40)，太陽輪軸(44)的下端固定設(shè)有太陽輪從動(dòng) 齒輪(29);太陽輪軸(44)內(nèi)部通過軸承設(shè)有中心軸(38),中心軸(38)上部固 定連接有帶動(dòng)上盤旋轉(zhuǎn)的撥輪(39),中心軸(38)的下端固定連接有上盤從動(dòng)齒輪(30)，中心軸(38)下部通過軸承與主支座(14)安裝定位。
8. 如權(quán)利要求7所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征是所述的焊接箱體(16)上還 設(shè)有上盤電機(jī)(54)，上盤電機(jī)(54)通過皮帶與上盤減速箱(55)相連，上盤減速 箱(55)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有上盤主動(dòng)齒輪(56)，上盤主動(dòng)齒輪(56)與第二惰輪(59)相嚙合，第二惰輪(59)與上盤從動(dòng)齒輪(30)相嚙合，所述的主支座(14) 上的主減速箱(27)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有動(dòng)力輸入齒輪(31),動(dòng)力輸入齒輪(31) 與下盤主動(dòng)齒輪(32)相嚙合，下盤主動(dòng)齒輪(32)與下盤從動(dòng)齒輪(33)相嚙合； 下盤主動(dòng)齒輪(32)設(shè)在動(dòng)力傳動(dòng)軸(28)上，動(dòng)力傳動(dòng)軸(28)通過軸承設(shè)在主 支座(14)上。
9. 如權(quán)利要求8所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征是所述的主支座(14)上還設(shè) 有太陽輪電機(jī)(35)和齒圈電機(jī)(49)，太陽輪電機(jī)(35)與太陽輪減速箱(36)相 連，太陽輪減速箱(36)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有太陽輪主動(dòng)齒輪(34)，太陽輪主動(dòng)齒 輪(34)與太陽輪從動(dòng)齒輪(29)相嚙合；齒圈電機(jī)(49)與齒圈減速箱(50)相 連，齒圈減速箱(50)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有齒圈主動(dòng)齒輪(53)，齒圈主動(dòng)齒輪(53) 與齒圈從動(dòng)齒輪(48)相嚙合。
10. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征是所述的工業(yè)控制器包括有單 片機(jī)(62)、環(huán)形變壓器和電壓差分放大器(66)，單片機(jī)(62)的兩個(gè)串口分別與 上位機(jī)(63)和變頻器(64)相連，單片機(jī)(62)的通過SPI總線與數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC(65)和鐵電(67)相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)總線與電壓差分放大器(66)相 連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)地址總線與可編程邏輯控制器CPLD (69)相連，單片機(jī)(62)通過并行地址數(shù)據(jù)總線與備用的存儲(chǔ)器RAM (68)相連，可編程邏輯控制器 CPLD (69)通過數(shù)據(jù)線分別與輸出光繼電器(70)、輸入光耦合器(71)和輸入AB 相脈沖發(fā)生器(72)相連。
全文摘要
本發(fā)明涉及主要用于硅片、硬盤基片、光盤母盤、陶瓷片、石英晶體及其它硬脆材料的研磨加工設(shè)備，具體涉及一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)。包括有焊接箱體(16)，其主支座(14)上設(shè)有主軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(15)，其上盤裝置的快速作用缸(5)的氣缸桿朝下固定安裝在橫梁(18)中央，快速作用缸(5)的氣缸桿與緩作用缸(4)相連接，其操作箱(12)內(nèi)設(shè)有用于運(yùn)動(dòng)控制的上位機(jī)平板電腦，所述的電器柜(13)內(nèi)設(shè)有用于運(yùn)動(dòng)控制的工業(yè)控制器和電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。其變速范圍廣，運(yùn)動(dòng)精度更高，響應(yīng)速度更快，抗干擾能力強(qiáng)，能更好的適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
文檔編號(hào)B24B7/00GK101596693SQ200910151790
公開日2009年12月9日 申請(qǐng)日期2009年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月10日
發(fā)明者軍 周, 春 梁, 金萬斌 申請(qǐng)人:蘭州瑞德實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司