專利名稱：電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源。
背景技術(shù)：
在真空鍍膜設(shè)備上采用陰極電弧離子源進(jìn)行鍍膜，具有膜層沉積速度快，結(jié)合力牢固的特點(diǎn)，為進(jìn)一步提高膜層結(jié)合力，在陰極電弧離子源的設(shè)計(jì)上需要考慮弧靶靶材表面的垂直磁場(chǎng)，磁場(chǎng)強(qiáng)度是直接影響膜層結(jié)合力的關(guān)鍵因素之一，而目前對(duì)此沒有很好的解決辦法。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種采用電動(dòng)引??；調(diào)節(jié)盤螺桿一端位于陰極座內(nèi)，接
近靶材中心，提高靶材表面的垂直磁場(chǎng)的電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，包括引弧系統(tǒng)、陰極座、屏蔽盤、法蘭盤、調(diào)節(jié)盤組件、調(diào)節(jié)盤螺桿；陰極座與法蘭盤之間通過螺釘連接，陰極座絕緣墊位于陰極座與螺釘之間，陰極絕緣套位于陰極座與法蘭盤之間，套在陰極座上；調(diào)節(jié)盤固定件位于調(diào)節(jié)盤組件與陰極座之間，調(diào)節(jié)盤螺桿一端與調(diào)節(jié)盤組件相連，另一端位于陰極座中；屏蔽盤支撐桿位于法蘭盤與屏蔽盤之間。 所述引弧系統(tǒng)由引弧絲、引弧桿、引弧桿外套、引弧線圈外套、線圈支架、引弧線圈
外套后蓋組成；引弧絲與引弧桿相連，引弧桿位于引弧桿外套內(nèi)，引弧桿外套通過螺釘緊固
在法蘭盤上，引弧桿外套絕緣墊位于螺釘與引弧桿外套之間，引弧絕緣法蘭位于引弧桿外
套、引弧桿與法蘭盤之間。 屏蔽環(huán)位于所述屏蔽盤上。 進(jìn)水口 ，出水口位于所述陰極座上，水道位于陰極座內(nèi)。[0008] 磁鋼位于調(diào)節(jié)盤組件中，蓋板位于磁鋼外面。 法蘭盤絕緣墊位于法蘭盤與真空爐體連接處，法蘭絕緣盤位于法蘭盤與真空爐體之間。 采用這樣的結(jié)構(gòu)后，電磁線圈可安裝在引弧線圈外套內(nèi)，電磁線圈可套在線圈支架上，電磁線圈通電后，可帶動(dòng)引弧桿，從而帶動(dòng)引弧絲前后移動(dòng)，使引弧絲點(diǎn)觸靶材表面，使靶材表面產(chǎn)生電??；可拆卸引弧線圈外套后蓋，取出電磁線圈，方便更換；引弧絕緣法蘭使引弧桿與法蘭盤絕緣；引弧桿可在引弧桿外套內(nèi)前后移動(dòng)；引弧桿外套通過螺釘緊固在法蘭盤上，引弧桿外套絕緣墊使之與法蘭盤絕緣。 調(diào)節(jié)盤組件中鑲嵌磁鋼，并用蓋板封閉，可產(chǎn)生磁鋼磁場(chǎng)；磁鋼磁場(chǎng)通過調(diào)節(jié)盤螺桿傳遞到陰極座上；調(diào)節(jié)盤螺桿一端與調(diào)節(jié)盤組件相連，另一端位于陰極座內(nèi)；進(jìn)一步提高弧靶靶材表面的垂直磁場(chǎng)，提高了膜層結(jié)合力。[0012] 調(diào)節(jié)盤固定件將調(diào)節(jié)盤組件固定在陰極座上。 陰極絕緣套套在陰極座上，使陰極座與法蘭盤絕緣；陰極座安裝在法蘭盤上，通過螺釘緊固，陰極座絕緣墊隔離緊固螺釘和法蘭盤；陰極座安裝在法蘭盤上，通過法蘭盤固定 在真空爐上。 陰極座上可安裝耙材，由于進(jìn)水口，出水口位于所述陰極座上，水道位于陰極座內(nèi)
部，可接通冷卻水，從而對(duì)靶材冷卻，降低靶材溫度，提高鍍膜質(zhì)量，冷卻水與靶材不接觸，
所以是間接冷卻，冷卻水不會(huì)進(jìn)入真空爐體內(nèi)，保證了真空爐體內(nèi)真空效果。 屏蔽盤可套在靶材上，對(duì)靶材帶電粒子進(jìn)行屏蔽；屏蔽盤支撐桿安裝在法蘭盤上，
支撐屏蔽盤；屏蔽環(huán)安裝在屏蔽盤上，可調(diào)整間隙。 法蘭盤可用螺釘固定在真空爐體接口上，法蘭盤絕緣墊隔離螺釘與爐體；法蘭盤 安裝在真空室爐體上，中間夾法蘭絕緣盤，使法蘭盤與爐體絕緣。 本實(shí)用新型采用電動(dòng)引弧，從而減少了密封圈接口，使引弧絲與真空爐隔離，減少 了漏氣點(diǎn)，大大簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)，使安裝維護(hù)更為簡(jiǎn)便，操作更為容易。

圖1是本實(shí)用新型電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
圖l所示的本實(shí)用新型電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，包括引弧系統(tǒng)21、 陰極座15、屏蔽盤9、法蘭盤20、調(diào)節(jié)盤組件17、調(diào)節(jié)盤螺桿18 ;陰極座15與法蘭盤20之 間通過螺釘22連接，陰極座絕緣墊12位于陰極座15與螺釘22之間，陰極絕緣套11位于 陰極座15與法蘭盤20之間，套在陰極座15上；調(diào)節(jié)盤固定件16位于調(diào)節(jié)盤組件17與陰 極座15之間，調(diào)節(jié)盤螺桿18 —端與調(diào)節(jié)盤組件17相連，另一端位于陰極座15中；屏蔽盤 支撐桿8位于法蘭盤20與屏蔽盤9之間。 所述引弧系統(tǒng)21由引弧絲1、引弧桿2、引弧桿外套4、引弧線圈外套5、線圈支架 6、引弧線圈外套后蓋7組成；引弧絲1與引弧桿2相連，引弧桿2位于引弧桿外套4內(nèi)，引 弧桿外套4通過螺釘23緊固在法蘭盤20上，引弧桿外套絕緣墊13位于螺釘23與引弧桿 外套4間，引弧絕緣法蘭3位于引弧桿外套4、引弧桿2與法蘭盤20之間。 屏蔽環(huán)10位于所述屏蔽盤9上。 進(jìn)水口 24，出水口 25位于所述陰極座15上，水道26位于陰極座2內(nèi)。 磁鋼27位于調(diào)節(jié)盤組件17中，蓋板28位于磁鋼27外面。 法蘭盤絕緣墊14位于法蘭盤20與真空爐體連接處29，法蘭絕緣盤19位于法蘭盤 20與真空爐體之間。 這樣，引弧線圈外套5內(nèi)電磁線圈通電后，可帶動(dòng)引弧絲1前后移動(dòng)，使引弧絲1 點(diǎn)觸耙材表面，產(chǎn)生電弧，磁鋼磁場(chǎng)通過調(diào)節(jié)盤螺桿18傳遞到陰極座15中，調(diào)節(jié)盤螺桿18 一端位于陰極座15內(nèi)，進(jìn)一步提高弧靶靶材表面的垂直磁場(chǎng)，提高了膜層結(jié)合力。
權(quán)利要求一種電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于包括引弧系統(tǒng)(21)、陰極座(15)、屏蔽盤(9)、法蘭盤(20)、調(diào)節(jié)盤組件(17)、調(diào)節(jié)盤螺桿(18)；陰極座(15)與法蘭盤(20)之間通過螺釘(22)連接，陰極座絕緣墊(12)位于陰極座(15)與螺釘(22)之間，陰極絕緣套(11)位于陰極座(15)與法蘭盤(20)之間，套在陰極座(15)上；調(diào)節(jié)盤固定件(16)位于調(diào)節(jié)盤組件(17)與陰極座(15)之間，調(diào)節(jié)盤螺桿(18)一端與調(diào)節(jié)盤組件(17)相連，另一端位于陰極座(15)中；屏蔽盤支撐桿(8)位于法蘭盤(20)與屏蔽盤(9)之間。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于所述引 弧系統(tǒng)(21)由引弧絲(1)、引弧桿(2)、引弧桿外套(4)、引弧線圈外套(5)、線圈支架(6)、 引弧線圈外套后蓋(7)組成；引弧絲(1)與引弧桿(2)相連，引弧桿(2)位于引弧桿外套 (4)內(nèi)，引弧桿外套(4)通過螺釘(23)緊固在法蘭盤(20)上，引弧桿外套絕緣墊(13)位于 螺釘(23)與引弧桿外套(4)之間，引弧絕緣法蘭(3)位于引弧桿外套(4)、引弧桿(2)與法 蘭盤(20)之間。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于屏蔽環(huán) (10)位于所述屏蔽盤(9)上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于進(jìn)水口 (24)，出水口 (25)位于所述陰極座(15)上，水道(26)位于陰極座(2)內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于磁鋼 (27)位于調(diào)節(jié)盤組件(17)中，蓋板(28)位于磁鋼(27)外面。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于法蘭盤 絕緣墊(14)位于法蘭盤(20)與真空爐體連接位置(29)，法蘭絕緣盤(19)位于法蘭盤(20) 與真空爐體之間。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種電動(dòng)引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，包括引弧系統(tǒng)(21)、陰極座(15)、屏蔽盤(9)、法蘭盤(20)、調(diào)節(jié)盤組件(17)、調(diào)節(jié)盤螺桿(18)；調(diào)節(jié)盤固定件(16)位于調(diào)節(jié)盤組件(17)與陰極座(15)之間，調(diào)節(jié)盤螺桿(18)一端與調(diào)節(jié)盤組件(17)相連，另一端位于陰極座(15)中；所述引弧系統(tǒng)(21)由引弧絲(1)、引弧桿(2)、引弧桿外套(4)、引弧線圈外套(5)、線圈支架(6)、引弧線圈外套后蓋(7)組成。這樣，本實(shí)用新型采用電動(dòng)引弧，冷卻水間接冷卻，進(jìn)一步提高了弧靶靶材表面的垂直磁場(chǎng)，提高了膜層結(jié)合力，提高了鍍膜質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/30GK201495278SQ20092017290
公開日2010年6月2日 申請(qǐng)日期2009年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月14日
發(fā)明者熊劍輝 申請(qǐng)人:熊劍輝