專利名稱：真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于鍍膜設(shè)備，特別涉及一種能送料、鍍膜和出料連續(xù)操作的真空鍍膜自動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
真空鍍膜技術(shù)在經(jīng)濟(jì)社會(huì)各個(gè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用，特別是科技迅速發(fā)展、人們生活的不斷提高以及高科技鍍膜產(chǎn)品的不斷涌現(xiàn)，給真空鍍膜技術(shù)的發(fā)展和推廣應(yīng)用帶來(lái)了新的機(jī)遇。真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。基片與靶材同在真空腔中。如蒸發(fā)鍍膜就是加熱靶材，使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程形成薄膜。·常見的蒸發(fā)鍍膜就是將放置鍍膜工件的托架置于真空沉積腔室內(nèi)，關(guān)閉閘門后，啟動(dòng)控制裝置抽真空，啟動(dòng)加熱裝置對(duì)鍍膜工件加熱，啟動(dòng)加熱裝置對(duì)靶材加熱達(dá)到靶材蒸發(fā)，實(shí)現(xiàn)對(duì)托架上工件鍍膜操作，鍍膜工序結(jié)束后，打開閘門再取出鍍膜工件，再放入下一批鍍膜工件，按照上述重復(fù)操作。然而，這樣操作效率低下。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供一種真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，能將放置工件、進(jìn)行真空鍍膜和取出鍍膜工件連續(xù)進(jìn)行，提高了加工效率。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，包括并排相連的進(jìn)料室、真空鍍膜室和出料室，該進(jìn)料室與真空鍍膜室之間，以及該真空鍍膜室與出料室之間分別設(shè)有能密封關(guān)閉的第二閘門和第三閘門，其中I)該進(jìn)料室設(shè)有用于托架滑動(dòng)的第一軌道、控制托架沿該第一軌道滑動(dòng)的第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能送入托架并密封關(guān)閉的第一閘門；2)該真空鍍膜室設(shè)有能由該第一軌道上托架通過(guò)該第二閘門滑入的第二軌道、控制托架沿該第二軌道滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)；3)該出料室設(shè)有由該第二軌道上托架通過(guò)該第三閘門能滑入的第三軌道、控制托架沿該第三軌道滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能取出托架并密封關(guān)閉的第四閘門。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該托架設(shè)有能放置鍍膜工件的支撐板或掛鉤。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)和第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)于對(duì)應(yīng)軌道上并能支撐托架滑動(dòng)的滾輪組，各滾輪組分別通過(guò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)控制滾動(dòng)。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該第一閘門、第二閘門、第三閘門和第四閘門分別通過(guò)馬達(dá)控制關(guān)閉或打開。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該真空鍍膜室內(nèi)側(cè)頂部至少設(shè)有一個(gè)能對(duì)托架上的工件加熱的電阻加熱體或紅外加熱體。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該進(jìn)料室內(nèi)側(cè)頂部至少設(shè)有一個(gè)能對(duì)托架上的工件加熱的電阻加熱體或紅外加熱體。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該真空鍍膜室位于該第二軌道下方設(shè)有靶材，該靶材通過(guò)加熱機(jī)構(gòu)加熱蒸發(fā)，該加熱機(jī)構(gòu)為安裝于該真空鍍膜室內(nèi)并可放置該靶材的槽狀金屬加熱體，該槽狀金屬加熱體兩側(cè)設(shè)有一對(duì)電極，該對(duì)電極另一端引出于該真空鍍膜室后，分別與電源變壓器之次級(jí)繞組弓I出端連接。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，該靶材還通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制能相對(duì)該第二軌道上托架轉(zhuǎn)動(dòng)，該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為通過(guò)軸承固定于該真空鍍膜室內(nèi)側(cè)底部的轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸上端與絕緣連接桿一端固定，并且該絕緣連接桿與該轉(zhuǎn)軸呈直角連接，該絕緣連接桿另一端固定該槽狀金屬加熱體，該對(duì)電極另一端沿該絕緣連接桿，并通過(guò)該轉(zhuǎn)軸內(nèi)的兩通孔引出，該轉(zhuǎn)軸下端伸出該真空鍍膜室外后固定滾輪，并通過(guò)傳送帶和馬達(dá)控制轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明的有益技術(shù)效果是所述進(jìn)料室、真空鍍膜室和出料室分別用于裝載鍍膜·工件、進(jìn)行真空操作和取出鍍膜工件，所述第一軌道與第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二軌道與第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及第三軌道與第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了將裝有鍍膜工件的托架從進(jìn)料室送入真空鍍膜室，再由真空鍍膜室送入出料室，而所述第二閘門和第三閘門既起到密封關(guān)閉作用(便于真空鍍膜室操作)，又有利于托架在各工作室之間轉(zhuǎn)換，所述第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)和第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及第一閘門、第二閘門、第三閘門和第四閘門都分別通過(guò)馬達(dá)控制操作的，因此整個(gè)鍍膜過(guò)程(包括放置工件、真空鍍膜和取出工件)連續(xù)進(jìn)行，提高了加工效率。


圖I為本發(fā)明的半剖視結(jié)構(gòu)示意圖。對(duì)照以上附圖作如下補(bǔ)充20——真空鍍膜室3——靶材21——進(jìn)料室46——托架22——出料室50——槽狀金屬加熱體23a——第一閘門52——絕緣連接桿23b——第二閘門60——轉(zhuǎn)軸23c——第三閘門61——軸承23d——第四閘門62——通孔24——電熱絲加熱體63——滾輪25——電熱絲加熱體64——傳送帶30a-第一軌道66-馬達(dá)30b——第二軌道70——電源變壓器30c——第三軌道
具體實(shí)施例方式結(jié)合附圖1，以下作詳細(xì)描述一種真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，包括并排相連的進(jìn)料室21、真空鍍膜室20和出料室22，該進(jìn)料室21與真空鍍膜室20之間，以及該真空鍍膜室20與出料室22之間分別設(shè)有能密封關(guān)閉的第二閘門23b和第三閘門23c，該第二閘門23b和第三閘門23c能分別通過(guò)馬達(dá)控制關(guān)閉或打開，其中I)該進(jìn)料室21設(shè)有用于托架滑動(dòng)的第一軌道30a、控制托架(圖中未示出)沿該第一軌道30a滑動(dòng)的第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能送入托架并密封關(guān)閉的第一閘門23a,該第一閘門23a能通過(guò)馬達(dá)控制關(guān)閉或打開，便于裝載托架和工件，該進(jìn)料室21內(nèi)側(cè)頂部設(shè)有一個(gè)能對(duì)托架上的工件加熱的電熱絲加熱體24，該第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于該第一軌道上并能支撐托架滑動(dòng)的滾輪組，該滾輪組通過(guò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)控制滾動(dòng)；2)該真空鍍膜室20設(shè)有能由該第一軌道30a上托架通過(guò)該第二閘門23b滑入的第二軌道(30b)、控制托46沿該第二軌道(30b)滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，該托架46設(shè)有能放置鍍膜工件的支撐板或掛鉤，該真空鍍膜室20內(nèi)側(cè)頂部設(shè)有兩個(gè)能對(duì)托架上的工件加熱的電熱絲加熱體25，圖I中顯示兩個(gè)電熱絲加熱體25，該第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于該第二軌道上并能支撐托架滑動(dòng)的滾輪組，該滾輪組通過(guò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)控制滾動(dòng)；
3)該出料室22設(shè)有由該第二軌道30b上托架通過(guò)該第三閘門23c能滑入的第三軌道30c、控制托架沿該第三軌道30c滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能取出托架并密封關(guān)閉的第四閘門23d，該第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于該第三軌道上并能支撐托架滑動(dòng)的滾輪組，該滾輪組通過(guò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)控制滾動(dòng)，該第四閘門23d能通過(guò)馬達(dá)控制關(guān)閉或打開，便于取出鍍膜工件。該真空鍍膜室20位于該第二軌道30b下方設(shè)有靶材3，該靶材通過(guò)加熱機(jī)構(gòu)加熱蒸發(fā)，還通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制能相對(duì)該第二軌道30b上托架46轉(zhuǎn)動(dòng),該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為通過(guò)軸承61固定于該真空鍍膜室20內(nèi)側(cè)底部的轉(zhuǎn)軸60，該轉(zhuǎn)軸60上端與絕緣連接桿52 —端固定，并且該絕緣連接桿52與該轉(zhuǎn)軸60呈直角連接，該絕緣連接桿52另一端固定槽狀金屬加熱體50，該對(duì)電極另一端沿該絕緣連接桿52，并通過(guò)該轉(zhuǎn)軸60內(nèi)的兩通孔62引出后，分別與電源變壓器70之次級(jí)繞組引出端連接，該轉(zhuǎn)軸60下端伸出該真空鍍膜室20外后固定滾輪63，并通過(guò)傳送帶64和馬達(dá)66控制轉(zhuǎn)動(dòng)。上述電熱絲加熱方式也可以采用紅外加熱體。所謂金屬加熱體就是利用金屬體兩端接通交流電，使得金屬體發(fā)熱產(chǎn)生熱量，而紅外加熱和金屬體加熱不是本發(fā)明的創(chuàng)新點(diǎn)，屬于現(xiàn)有技術(shù)，在此不作詳細(xì)描述。
權(quán)利要求
1.一種真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，包括并排相連的進(jìn)料室(21)、真空鍍膜室(20)和出料室(22)，其特征在于該進(jìn)料室(21)與真空鍍膜室(20)之間，以及該真空鍍膜室(20)與出料室(22)之間分別設(shè)有能密封關(guān)閉的第二閘門(23b)和第三閘門(23c)，其中 1)該進(jìn)料室(21)設(shè)有用于托架滑動(dòng)的第一軌道(30a)、控制托架沿該第一軌道(30a)滑動(dòng)的第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能送入托架并密封關(guān)閉的第一閘門(23a)； 2)該真空鍍膜室(20)設(shè)有能由該第一軌道(30a)上托架通過(guò)該第二閘門(23b)滑入的第二軌道(30b)、控制托架(46)沿該第二軌道(30b)滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)； 3)該出料室(22)設(shè)有由該第二軌道(30b)上托架通過(guò)該第三閘門(23c)能滑入的第三軌道(30c)、控制托架沿該第三軌道(30c)滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能取出托架并密封關(guān)閉的第四閘門(23d)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該托架(46)設(shè)有能放置鍍膜工件的支撐板或掛鉤。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)和第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)于對(duì)應(yīng)軌道上并能支撐托架滑動(dòng)的滾輪組，各滾輪組分別通過(guò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)控制滾動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該第一閘門(23a)、第二閘門(23b)、第三閘門(23c)和第四閘門(23d)分別通過(guò)馬達(dá)控制關(guān)閉或打開。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該真空鍍膜室(20)內(nèi)側(cè)頂部至少設(shè)有一個(gè)能對(duì)托架上的工件加熱的電熱絲加熱體(25)或紅外加熱體。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該進(jìn)料室(21)內(nèi)側(cè)頂部至少設(shè)有一個(gè)能對(duì)托架上的工件加熱的電熱絲加熱體(24)或紅外加熱體。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該真空鍍膜室位于該第二軌道(30b)下方設(shè)有祀材(3),該祀材通過(guò)加熱機(jī)構(gòu)加熱蒸發(fā),該加熱機(jī)構(gòu)為安裝于該真空鍍膜室內(nèi)并可放置該靶材(3)的槽狀金屬加熱體(50)，該槽狀金屬加熱體兩側(cè)設(shè)有一對(duì)電極，該對(duì)電極另一端引出于該真空鍍膜室(20)后，分別與電源變壓器(70)之次級(jí)繞組引出端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該靶材(3)還通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制能相對(duì)該第二軌道(30b)上托架(46)轉(zhuǎn)動(dòng)，該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為通過(guò)軸承￠1)固定于該真空鍍膜室(20)內(nèi)側(cè)底部的轉(zhuǎn)軸(60)，該轉(zhuǎn)軸￠0)上端與絕緣連接桿(52) —端固定，并且該絕緣連接桿(52)與該轉(zhuǎn)軸￠0)呈直角連接，該絕緣連接桿(52)另一端固定該槽狀金屬加熱體(50)，該對(duì)電極另一端沿該絕緣連接桿(52)，并通過(guò)該轉(zhuǎn)軸￠0)內(nèi)的兩通孔(62)引出，該轉(zhuǎn)軸(60)下端伸出該真空鍍膜室(20)外后固定滾輪(63)，并通過(guò)傳送帶(64)和馬達(dá)(66)控制轉(zhuǎn)動(dòng)。
全文摘要
一種真空鍍膜自動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置包括并排相連的進(jìn)料室、真空鍍膜室和出料室，進(jìn)料室與真空鍍膜室之間以及真空鍍膜室與出料室之間分別設(shè)有能密封關(guān)閉的第二閘門和第三閘門，進(jìn)料室設(shè)有用于托架滑動(dòng)的第一軌道、控制托架沿第一軌道滑動(dòng)的第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能送入托架并密封關(guān)閉的第一閘門；真空鍍膜室設(shè)有能由第一軌道上托架通過(guò)第二閘門滑入的第二軌道、控制托架沿第二軌道滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)；出料室設(shè)有由第二軌道上托架通過(guò)第三閘門能滑入的第三軌道、控制托架沿第三軌道滑動(dòng)的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)以及能取出托架并密封關(guān)閉的第四閘門，第一、第二和第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)于對(duì)應(yīng)軌道上并能支撐托架滑動(dòng)的滾輪組，各滾輪組分別通過(guò)對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)控制滾動(dòng)。
文檔編號(hào)C23C14/56GK102899616SQ20111021004
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月26日
發(fā)明者黃水祥 申請(qǐng)人:御林汽配(昆山)有限公司