專利名稱：硅片邊緣倒角方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種硅片邊緣倒角方法。
背景技術(shù)：
硅片倒角加工的目的是要消除硅片邊緣表面由于經(jīng)切割加工后產(chǎn)生的棱角、毛刺、崩邊、裂縫或其他的缺陷和各種邊緣表面污染，從而降低硅片表面的粗糙度，增加硅片邊緣表面的機(jī)械強(qiáng)度、減少顆粒的表面沾污。現(xiàn)有技術(shù)中的倒角方法，產(chǎn)品良率低，造成生產(chǎn)成本高。在使用R型、11度砂輪、倒角面幅> 600um時(shí)，倒角加工的硅片倒角劃傷、倒角星點(diǎn)不良率總和為0. 09%。尤其是在使用R型、11度、砂輪槽口 0. 17R的倒角砂輪為重?fù)脚鸸杵菇羌庸み^程中倒劃不良率達(dá)到 0. 62%。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可降低倒角不良率的硅片邊緣倒角方法。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)硅片邊緣倒角方法，使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，其特征在于，采用 4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為27 35mm/12 18s;第4圈倒角速度為 20-26mm/10 14s。優(yōu)選地是，倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。優(yōu)選地是，使用油石修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石與倒角砂輪邊緣切線之間的夾角為45° 60°。優(yōu)選地是，對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石去除量為0. 5 1. 5cm。優(yōu)選地是，使用Y型水槍分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。優(yōu)選地是，所述水槍噴射的磨削液的壓力為2. 5 3. 5KG/cm2左右。優(yōu)選地是，所述倒角砂輪為R型11度砂輪。優(yōu)選地是，倒角面幅彡600um。優(yōu)選地是，所述硅片為重?fù)脚鸸杵?，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為 0. 17R。本發(fā)明中的硅片邊緣倒角方法，可提高硅片倒角質(zhì)量。使用本發(fā)明中的硅片邊緣倒角方法，倒角劃傷比率為0. 0502%。倒角不良率降為0. 063%。


圖1為使用油石修整倒角砂輪時(shí)的位置示意圖。圖2為本發(fā)明中使用的Y型水槍結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述實(shí)施例1硅片邊緣倒角方法，硅片為重?fù)脚鸸杵菇敲娣?gt; 600um。使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為25mm/15s ；第4圈倒角速度為20mm/12s。倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時(shí)，油石3放置于陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石3去除量為0. 5cm。如圖2所示，Y型水槍4設(shè)置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為2.5KG/cm2左右。因倒角過程中有硅屑產(chǎn)生，現(xiàn)有技術(shù)工藝無法及時(shí)排除硅屑，出現(xiàn)堵塞情況，致使倒角劃傷等出現(xiàn)。使用本發(fā)明中的Y型水槍，使用油石修正后能及時(shí)排屑。本發(fā)明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排泄量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產(chǎn)生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉(zhuǎn)換；第四圈精槽修正。實(shí)施例2硅片邊緣倒角方法，硅片為重?fù)脚鸸杵?，倒角面?gt; 600um。使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為30mm/15s ；第4圈倒角速度為25mm/12s。倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時(shí)，油石3放置于陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石3去除量為lcm。如圖2所示，Y型水槍4設(shè)置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為3KG/cm2左右。因倒角過程中有硅屑產(chǎn)生，現(xiàn)有技術(shù)工藝無法及時(shí)排除硅屑，出現(xiàn)堵塞情況，致使倒角劃傷等出現(xiàn)。使用本發(fā)明中的Y型水槍， 使用油石修正后能及時(shí)排屑。本發(fā)明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排泄量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產(chǎn)生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉(zhuǎn)換；第四圈精槽修正。實(shí)施例3硅片邊緣倒角方法，硅片為重?fù)脚鸸杵?，倒角面?gt; 600um。使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為33mm/15s ；第4圈倒角速度為25mm/12s。倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時(shí)，油石3放置于陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為60°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石3去除量為1. 5cm。如圖2所示，Y型水槍4設(shè)置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為3KG/cm2左右。因倒角過程中有硅屑產(chǎn)生，現(xiàn)有技術(shù)工藝無法及時(shí)排除硅屑，出現(xiàn)堵塞情況，致使倒角劃傷等出現(xiàn)。使用本發(fā)明中的Y型水槍， 使用油石修正后能及時(shí)排屑。本發(fā)明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排泄量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產(chǎn)生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉(zhuǎn)換；第四圈精槽修正。實(shí)施例4硅片邊緣倒角方法，硅片為重?fù)脚鸸杵菇敲娣?gt; 600um。使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為30mm/13s ；第4圈倒角速度為25mm/10s。倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時(shí)，油石3放置于陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石3去除量為lcm。如圖2所示，Y型水槍4設(shè)置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為2.8KG/cm2左右。因倒角過程中有硅屑產(chǎn)生，現(xiàn)有技術(shù)工藝無法及時(shí)排除硅屑，出現(xiàn)堵塞情況，致使倒角劃傷等出現(xiàn)。使用本發(fā)明中的Y型水槍，使用油石修正后能及時(shí)排屑。本發(fā)明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排泄量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產(chǎn)生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉(zhuǎn)換；第四圈精槽修正。實(shí)施例5硅片邊緣倒角方法，硅片為重?fù)脚鸸杵?，倒角面?gt; 600um。使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為^mm/15s ；第4圈倒角速度為25mm/12s。倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。如圖1所示，使用油石3修整金剛石倒角砂輪1時(shí)，油石3放置于陶瓷洗盤2上，油石3與倒角砂輪1邊緣切線之間的夾角為45°。對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石3去除量為1. 5cm。如圖2所示，Y型水槍4設(shè)置有噴嘴41和噴嘴42。分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。水槍噴射的磨削液的壓力為2.5KG/cm2左右。因倒角過程中有硅屑產(chǎn)生，現(xiàn)有技術(shù)工藝無法及時(shí)排除硅屑，出現(xiàn)堵塞情況，致使倒角劃傷等出現(xiàn)。使用本發(fā)明中的Y型水槍，使用油石修正后能及時(shí)排屑。本發(fā)明中使用4圈倒角的工藝，可以減少每圈的排泄量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈去除滾磨損傷層；第2圈去除第一圈產(chǎn)生的損傷層；第3圈精槽R值變更轉(zhuǎn)換；第四圈精槽修正。對比實(shí)施例1硅片邊緣倒角方法，硅片為重?fù)脚鸸杵?，倒角面?gt; 600um。使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。采用2圈倒角的方法，第1圈倒角速度為15mm/10s ；第2圈倒角速度為10mm/7s。未使用砂石修整槽口。使用單噴嘴噴槍噴射磨削液。使用實(shí)施例2和對比實(shí)施例1倒角加工硅片，并對加工結(jié)果測試如下
使用對比實(shí)施例1中的方法倒角，倒角加工168136片，倒角星點(diǎn)274片，倒角不良 $0. 16% ；倒角劃傷1049片，倒角劃傷不良率0.62%。倒角不良率總和為0. 09%。 使用實(shí)施例2中的方法倒角，倒角加工1756337片，倒角星點(diǎn)391片，倒角星點(diǎn)不良率為0. 022%;倒角劃傷772片。倒角劃傷不良率0. 044%。倒角不良率總和為0. 063%。除水槍不同外，其他工藝步驟均相同，使用單水槍與Y型水槍的生產(chǎn)的倒角硅片性能測試結(jié)果如下
權(quán)利要求
1.硅片邊緣倒角方法，使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為27 35mm/12 18s ；第4圈倒角速度為20_26mm/10 14s。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，倒角砂輪磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂輪槽口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，使用油石修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石與倒角砂輪邊緣切線之間的夾角為45° 60°。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，對倒角砂輪修整金剛石倒角砂輪時(shí)，油石去除量為0. 5 1. 5cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，使用Y型水槍分別向倒角砂輪和硅片邊緣噴射磨削液。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，所述水槍噴射的磨削液的壓力為2. 5 3. 5KG/cm2左右。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，所述倒角砂輪為R型11度砂輪。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，倒角面幅>600um。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣倒角方法，其特征在于，所述硅片為重?fù)脚鸸杵?，所述倒角砂輪為R型、11度砂輪，砂輪槽口為0. 17R。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種硅片邊緣倒角方法，使用倒角砂輪磨削硅片邊緣進(jìn)行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度為27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度為20-26mm/10～14s。本發(fā)明中的硅片邊緣倒角方法，可提高硅片倒角質(zhì)量。使用本發(fā)明中的硅片邊緣倒角方法，倒角劃傷比率降為0.0502％。倒角不良率降為0.063％。
文檔編號(hào)B24B9/06GK102343538SQ20111023182
公開日2012年2月8日 申請日期2011年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月14日
發(fā)明者沈輝輝, 趙林, 黃春峰 申請人:上海合晶硅材料有限公司