專利名稱：用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及扁平材料半成品二次加工或深加工行業(yè)，具體的說(shuō)是一種用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置，應(yīng)用于扁平材料半成品二次加工或深加工設(shè)備上面。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中扁平材料多為整卷的材料，長(zhǎng)度從幾百米至上萬(wàn)米不等，而對(duì)于要求相對(duì)較高的材料(如鍍膜)在涂覆加工的過(guò)程都是處于真空環(huán)境中完成的。由于這樣的加工工藝環(huán)境復(fù)雜、技術(shù)難度較高，所以對(duì)于在真空環(huán)境中完成涂覆工作的設(shè)備以及檢測(cè)物料表面質(zhì)量參數(shù)進(jìn)行測(cè)量的檢測(cè)設(shè)備和技術(shù)要求都非常高。目前國(guó)內(nèi)這種在扁平材料表面進(jìn)行涂覆工藝的設(shè)備已經(jīng)不完全依賴于進(jìn)口了。但是由于這種對(duì)扁平材料表面進(jìn)行涂覆加工工藝是完全處于真空環(huán)境中完成的，所以這就對(duì)在涂覆過(guò)程中材料表面質(zhì)量檢測(cè)的設(shè)備和技術(shù)要求非常高。同時(shí)由于扁平材料(如膜)收儲(chǔ)的特殊性，多為卷裝，中間不能有任何斷裂或者破損，所以在加工過(guò)程中的材料必須保持連續(xù)性。但又不能采用整卷材料全都涂覆完成取出后再進(jìn)行檢測(cè)，那樣就無(wú)法保證整卷材料的質(zhì)量統(tǒng)一是否合格。也不能加工過(guò)程中在大氣中進(jìn)行測(cè)試，那樣會(huì)造成真空環(huán)境泄漏和破壞，造成整卷薄膜質(zhì)量不合格。但必須在加工過(guò)程中在真空環(huán)境情況下對(duì)材料表面進(jìn)行實(shí)時(shí)質(zhì)量數(shù)據(jù)采集檢測(cè)，以此確保整個(gè)材料質(zhì)量自始至終的穩(wěn)定性。所以就得要求在真空中完成對(duì)薄膜表面質(zhì)量參數(shù)的在線采集和監(jiān)測(cè)。把測(cè)量?jī)x器儀表置于真空中，信號(hào)由數(shù)據(jù)線引出。測(cè)試儀器儀表的體積和使用環(huán)境受限制、電子芯片散熱、電路板防電暈等因素導(dǎo)致測(cè)量系統(tǒng)可靠性極低。同時(shí)目前工作在真空里的分析測(cè)試儀器儀表幾乎沒(méi)有，依賴于購(gòu)買進(jìn)口產(chǎn)品，價(jià)格非常高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置，本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)包括通氣閥、通氣孔、活動(dòng)密封蓋、橡膠密封圈、橡膠墊、密封托板、萬(wàn)向球坑、萬(wàn)向球頭、直線滑桿、直線軸承、連桿、偏心輪、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、真空、外殼，其特征在于外殼上面中心處設(shè)置密封窗口，密封窗口處設(shè)置活動(dòng)密封蓋，活動(dòng)密封蓋下面與密封窗口之間設(shè)置有橡膠密封圈，活動(dòng)密封蓋中心位置設(shè)置有通氣孔，活動(dòng)密封蓋上面設(shè)置通氣閥，通氣閥與通氣孔連接，活動(dòng)密封蓋里面對(duì)應(yīng)位置設(shè)置密封托板，密封托板上面設(shè)置有圓形片狀的橡膠墊，在外殼內(nèi)與密封托板相對(duì)的位置也設(shè)置有環(huán)形片狀的橡膠墊，外殼上的橡膠墊中間設(shè)置孔并且孔的直徑與密封窗口徑相等外徑與密封托板的直徑相等，密封托板的下表面設(shè)置有萬(wàn)向球坑，萬(wàn)向球坑內(nèi)設(shè)置有萬(wàn)向球頭，萬(wàn)向球頭下面設(shè)置直線滑桿，直線滑桿固定在直線軸承上，直線滑桿下面設(shè)置有偏心輪，偏心輪中心設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸，直線滑桿通過(guò)連桿與偏心輪連接，直線滑桿可做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，外殼內(nèi)設(shè)置真空。工作原理及使用方法本發(fā)明工作原理是將已經(jīng)加工好的扁平材料經(jīng)過(guò)檢測(cè)區(qū)，使扁平物料做短暫停留，待測(cè)試完成后再繼續(xù)前行。偏心輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸經(jīng)真空密封軸承引出真空室，在馬達(dá)變速箱或搖把的驅(qū)動(dòng)下，偏心輪經(jīng)連桿驅(qū)動(dòng)直線軸承內(nèi)的直線滑桿做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。滑桿端部的萬(wàn)向球頭頂入密封托板背部萬(wàn)向球坑，以保證兩個(gè)密封面在受力時(shí)的平行度。密封托板上面固定圓形片狀密封橡膠墊，窗口內(nèi)測(cè)的真空殼體上固定環(huán)形片狀的密封橡膠墊。環(huán)形密封橡膠墊的內(nèi)徑與密封窗口徑相等，外徑與密封托板直徑相等。活動(dòng)密封蓋與真空殼體之間用橡膠密封圈密封。當(dāng)直線滑桿處于上極限位時(shí)，位于片狀物料兩側(cè)的密封橡膠墊被擠壓，此時(shí)的密封托板、片狀物料和密封窗內(nèi)測(cè)形成真空密封。位于密封窗蓋上面的放氣閥放氣后，打開窗蓋。此時(shí)位于窗口的片狀物料上表面暴露在大氣中，且不影響殼體內(nèi)的真空度。使用測(cè)試儀器的探頭(傳感器)對(duì)物料表面直接進(jìn)行測(cè)試。完成測(cè)試后，蓋上窗蓋，關(guān)閉放氣閥。驅(qū)動(dòng)偏心輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，通過(guò)連桿把直線連桿和密封托板帶回下極限位，橡膠墊和片狀物料分離，本次測(cè)試過(guò)程結(jié)束，物料涂覆加工繼續(xù)行進(jìn)。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉的特點(diǎn)，將真空外檢測(cè)和真空中生產(chǎn)結(jié)合在一起，降低了檢測(cè)設(shè)備的環(huán)境要求，進(jìn)而降低了成本。


圖1 本發(fā)明實(shí)施例結(jié)構(gòu)未探測(cè)物料狀態(tài)示意圖；圖2 本發(fā)明實(shí)施例結(jié)構(gòu)探測(cè)物料至上極限位置示意圖；圖中通氣閥1、通氣孔2、活動(dòng)密封蓋3、橡膠密封圈4、片狀物料5、橡膠墊6、密封托板7、萬(wàn)向球坑8、萬(wàn)向球頭9、直線滑桿10、直線軸承11、連桿12、偏心輪13、轉(zhuǎn)動(dòng)軸14、
真空15。
具體實(shí)施例方式參照

對(duì)本發(fā)明作以下具體的詳細(xì)說(shuō)明；如附圖所示，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)包括通氣閥1、通氣孔2、活動(dòng)密封蓋3、橡膠密封圈4、橡膠墊6、密封托板7、萬(wàn)向球坑8、萬(wàn)向球頭9、直線滑桿10、直線軸承11、連桿12、偏心輪13、轉(zhuǎn)動(dòng)軸14、真空15、外殼16，其特征在于外殼16上面中心處設(shè)置密封窗口，密封窗口處設(shè)置活動(dòng)密封蓋3，活動(dòng)密封蓋3下面與密封窗口之間設(shè)置有橡膠密封圈4，活動(dòng)密封蓋3中心位置設(shè)置有通氣孔2，活動(dòng)密封蓋3上面設(shè)置通氣閥1，通氣閥1與通氣孔2連接，活動(dòng)密封蓋3里面對(duì)應(yīng)位置設(shè)置密封托板7，密封托板7上面設(shè)置有圓形片狀的橡膠墊6，在外殼16內(nèi)與密封托板7相對(duì)的位置也設(shè)置有環(huán)形片狀的橡膠墊6，外殼16上的橡膠墊6中間設(shè)置孔并且孔的直徑與密封窗口徑相等外徑與密封托板7的直徑相等，密封托板7的下表面設(shè)置有萬(wàn)向球坑8，萬(wàn)向球坑8內(nèi)設(shè)置有萬(wàn)向球頭9，萬(wàn)向球頭9下面設(shè)置直線滑桿10，直線滑桿10固定在直線軸承11上，直線滑桿10下面設(shè)置有偏心輪13，偏心輪13中心設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸14，直線滑桿10通過(guò)連桿12與偏心輪13連接，直線滑桿10可做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，外殼16內(nèi)設(shè)置真空。上面所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本發(fā)明的構(gòu)思和范圍進(jìn)行限定，在不脫離本發(fā)明設(shè)計(jì)構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域中普通工程技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作出的各種變型和改進(jìn)，均應(yīng)落入本發(fā)明的保護(hù)范圍，本發(fā)明請(qǐng)求保護(hù)的技術(shù)內(nèi)容，已經(jīng)全部記載在權(quán)利要求書中。
權(quán)利要求
1.用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置，包括通氣閥(1)、通氣孔 O)、活動(dòng)密封蓋(3)、橡膠密封圈0)、橡膠墊(6)、密封托板(7)、萬(wàn)向球坑(8)、萬(wàn)向球頭 (9)、直線滑桿(10)、直線軸承(11)、連桿(12)、偏心輪(13)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸(14)、真空(15)、外殼 (16)，其特征在于外殼(16)上面中心處設(shè)置密封窗口，密封窗口處設(shè)置活動(dòng)密封蓋(3)，活動(dòng)密封蓋C3)下面與密封窗口之間設(shè)置有橡膠密封圈，活動(dòng)密封蓋(3)中心位置設(shè)置有通氣孔O)，活動(dòng)密封蓋C3)上面設(shè)置通氣閥(1)，通氣閥(1)與通氣孔( 連接，活動(dòng)密封蓋(3)里面對(duì)應(yīng)位置設(shè)置密封托板(7)，密封托板(7)上面設(shè)置有圓形片狀的橡膠墊(6)， 在外殼(16)內(nèi)與密封托板(7)相對(duì)的位置也設(shè)置有環(huán)形片狀的橡膠墊(6)，外殼(16)上的橡膠墊(6)中間設(shè)置孔并且孔的直徑與密封窗口徑相等外徑與密封托板(7)的直徑相等， 密封托板(7)的下表面設(shè)置有萬(wàn)向球坑(8)，萬(wàn)向球坑(8)內(nèi)設(shè)置有萬(wàn)向球頭(9)，萬(wàn)向球頭(9)下面設(shè)置直線滑桿(10)，直線滑桿(10)固定在直線軸承(11)上，直線滑桿(10)下面設(shè)置有偏心輪(13)，偏心輪(13)中心設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸(14)，直線滑桿(10)通過(guò)連桿(12)與偏心輪(13)連接，直線滑桿(10)可做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，外殼(16)內(nèi)設(shè)置真空。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置，其特征在于真空殼體上面設(shè)置密封窗口，活動(dòng)密封蓋下面與密封窗口之間設(shè)置有橡膠密封圈，活動(dòng)密封蓋中心位置設(shè)置有通氣孔，活動(dòng)密封蓋里面對(duì)應(yīng)位置設(shè)置密封托板，在外殼內(nèi)與密封托板相對(duì)的位置也設(shè)置有環(huán)形片狀的橡膠墊，密封托板的下表面設(shè)置有萬(wàn)向球坑，萬(wàn)向球坑內(nèi)設(shè)置有萬(wàn)向球頭，以確保密封托板與密封窗內(nèi)側(cè)真空外殼壁在受壓情況下，兩個(gè)密封面的平行度。被探測(cè)的扁平物料位于密封托板與密封窗口處的真空外殼之間，直線滑桿由直線軸承固定，可做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉的特點(diǎn)，將真空外檢測(cè)和真空中生產(chǎn)結(jié)合在一起，降低了檢測(cè)設(shè)備的環(huán)境要求，進(jìn)而降低了成本。
文檔編號(hào)C23C14/56GK102433540SQ20111025886
公開日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月30日
發(fā)明者費(fèi)紹棟 申請(qǐng)人:費(fèi)紹棟