專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于真空結(jié)晶爐保溫組件的材料的生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
:本發(fā)明涉及一種用于真空結(jié)晶爐中保溫組件的材料的生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)：
:現(xiàn)有的真空結(jié)晶爐的保溫組件是由鑰制板材或石墨氈制成的，由鑰制板材制成的保溫組件的缺點(diǎn)是:鑰板加熱后，具有因再結(jié)晶晶粒變粗和脆化的特點(diǎn)，常發(fā)生表面起泡、起層現(xiàn)象，而且極易破碎，無(wú)法維修，另外，真空結(jié)晶爐工作時(shí)爐內(nèi)的溫度在2000で以上，而鑰在1800°C時(shí)，會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的蒸發(fā)(升華)現(xiàn)象，不僅對(duì)結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染，影響晶體質(zhì)量，還會(huì)減短保溫組件的使用周期。由石墨氈制作的保溫組件的缺點(diǎn)是:在高溫、高真空狀態(tài)下石墨易揮發(fā)，所產(chǎn)生的游離態(tài)碳分子與結(jié)晶爐內(nèi)的鎢、鑰坩堝及發(fā)熱體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成碳化物，會(huì)縮短真空結(jié)晶爐的使用壽命
發(fā)明內(nèi)容
:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于真空結(jié)晶爐保溫組件的材料的生產(chǎn)方法，按照該方法生產(chǎn)出的材料制成的保溫組件不會(huì)對(duì)真空結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染，不影響晶體質(zhì)量，井能延長(zhǎng)保溫組件和真空結(jié)晶爐的使用壽命。上述目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:將生產(chǎn)態(tài)粒度為2.55um,研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um,研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆粒混合，其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2% -0.5%的CeO，和占W顆粒和Mo顆粒總重量
0.05% -0.1%的ZrH2，混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機(jī)壓制成型，最后在溫度為2350°C以上的高溫真空燒結(jié)爐(真空度< IXl(T2Pa)內(nèi)燒結(jié)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:由于按本方法生產(chǎn)的材料中含有占總重量近50%的W和50%的Mo，所以其與純鑰板相比可大幅度提高再結(jié)晶的溫度，在溫度2200°C、真空度小于IXlO-2Pa的條件下，重復(fù)使用仍能保持較高的強(qiáng)度；與純鎢相比，用冷等靜壓機(jī)壓制的型坯強(qiáng)度高，有利于脫模和精整成型エ序的完成，燒結(jié)后制品的韌性好，有利于進(jìn)行機(jī)械加エ。另外CeO主要起細(xì)化晶粒作用，能提高制品的耐熔融性和抗蠕變性能，加入ZrH2是利用其在真空狀態(tài)下低溫脫氫的特性，能有效地去除鎢粉和鑰粉中的含氧雜質(zhì)，形成的ZrO2同樣具有細(xì)化晶粒和抗蠕變性能。所以用本方法生產(chǎn)的材料制成的真空結(jié)晶爐中的保溫組件不會(huì)對(duì)真空結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染，不影響晶體質(zhì)量，能延長(zhǎng)保溫組件和真空結(jié)晶爐的使用壽命。
具體實(shí)施方式
:將生產(chǎn)態(tài)粒度為2.55um，研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um,研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆粒混合，其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2%或0.3%或0.5%的CeO，和占W顆粒和Mo顆粒總重量0.05%或0.07%或0.1 %的ZrH2,混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機(jī)壓制成型，最后在溫度為2350°C以上的高溫真空燒結(jié)爐(真空度く IXl(T2Pa)內(nèi)燒結(jié)。
權(quán)利要求
1.一種用于真空結(jié)晶爐保溫組件的材料的生產(chǎn)方法，其特征是:將生產(chǎn)態(tài)粒度為.2.55um，研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um，研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆粒混合,其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2% -0.5%的CeO，和占W顆粒和Mo顆粒總重量0.05% -0.1 %的ZrH2,混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機(jī)壓制成型，最后在溫度為2350°C以上的高溫真空燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于真空結(jié)晶爐中保溫組件的材料的生產(chǎn)方法。主要是為解決現(xiàn)有的由鉬或石墨氈制成的保溫組件對(duì)結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染，影響晶體質(zhì)量等問(wèn)題而發(fā)明的。方法是將生產(chǎn)態(tài)粒度為2.55um，研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um，研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆粒混合，其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2％-0.5％的CeO，和占W顆粒和Mo顆粒總重量0.05％-0.1％的ZrH2，混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機(jī)壓制成型，最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)。優(yōu)點(diǎn)是不會(huì)對(duì)真空結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染，不影響晶體質(zhì)量。
文檔編號(hào)B22F3/16GK103121104SQ20111036985
公開(kāi)日2013年5月29日 申請(qǐng)日期2011年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月21日
發(fā)明者高殿斌 申請(qǐng)人:高殿斌