專利名稱：一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法
技術領域：
本發明涉及一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，特別是一種氟化氬準分子激光氣體配置裝置的鈍化方法。
背景技術：
準分子激光氣用于眼科疾病的治療已經有約三十年的發展歷史。各種含F2準分子激光氣體種類眾多，其中F2氣體是組成其中比不可少的成分，是手術時激光的主要能量提供源。我國從90年代初開始進口準分子激光機，國產機型亦于2001年研制成功。但是其昂貴且消耗大量工作氣源激光氣，激光氣基本上依賴進口，雖有少量國產氣投放入市場， 但是大多存在能量不穩當，保存期短等不足之處。分析其原因可知，在激光氣中，F2含量甚微，并對組成成分誤差要求又極為嚴格。因此在配置過程中，不允許F2的含量有任何變化。 而保證上述要求的關鍵問題之一，是配置裝置需要有極強的抗F2腐蝕能力。眾所周知，F是世界上最活潑的元素。幾乎可以和所有元素發生反應。目前，常用的金屬耐F2腐蝕的方法一般是以N2為基質氣體，通入不同F2含量的混合氣，讓其自發在金屬表面形成一層金屬氟化膜。這種方法可以滿足一般要求。但是，對于F2含量甚微，且需要含量極其穩定的特殊氣體，使用上述方法并不能滿足需求。

發明內容
本發明的目的在于提供一種抗F2腐蝕能力強，可以使激光輸出能量穩定的一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法。本發明提供一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，其特征在于其包括以下步驟，
步驟一鈍化前處理清理準分子激光氣配置裝置中的雜質，并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；
步驟二 鈍化處理在準分子激光氣配置裝置中通入F2和He的混合氣體，恒溫恒壓一段時間后用N2吹除準分子激光氣配置裝置；
步驟三通入N2后密封，完成準分子激光氣配置裝置的鈍化。在上述技術方案的基礎上，所述步驟二具體包括以下步驟
A)將準分子激光氣配置裝置溫度保持在40-60°C并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. 2^0. 5MPa、F2的含量為2飛％，其余為He的混合氣體， 其中F 2的含量為2飛％，其余為He，恒溫恒壓8小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；
B)將準分子激光氣配置裝置溫度保持在-2(T-40°C并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. 2^0. 5MPa、F2的含量為0. 5 1%，其余為He的混合氣體，恒溫恒壓8小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；
C)將準分子激光氣配置裝置保持在常溫并恒溫0. 5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. Γ0. 2MPa、F2的含量為0. 05、. 1%，其余為He的混合氣體，恒溫恒壓M小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置。在上述技術方案的基礎上，所述步驟三中通入的N2壓力為0. 05MPa。與現有技術相比較，本發明使用分子量小、擴散能力強的He氣體替代了現有技術中N2，并且變化了鈍化的溫度條件，因此，氧化膜的形成穩定而且致密，因滲透程度的增加而堅韌牢固，有效的防治了金屬基體的進一步腐蝕。配置的準分子激光器輸出能量穩定，能量分布均勻。完全能滿眼科手術激光治療的要求，并且成本低。


圖1為本發明一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法示意圖；具體實施方式

以下結合附圖對本發明作進一步詳細說明。情參考圖1，本發明一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，該方法包括以下步驟
第一步鈍化前處理清理配置裝置中的雜質，并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；具體為清理配置裝置中管道內污垢等雜質，再用高純度的N2吹除，之后密封待用。
步驟二 鈍化處理在準分子激光氣配置裝置中通入F2和He的混合氣體，恒溫恒壓一段時間后用N2吹除準分子激光氣配置裝置；具體分三個步驟
A)將準分子激光氣配置裝置溫度保持在40-60°C并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. 2^0. 5MPa、F2的含量為2飛％，其余為He的混合氣體， 其中F 2的含量為2飛％，其余為He，恒溫恒壓8小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；
B)將準分子激光氣配置裝置溫度保持在-2(T-4(TC并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. 2^0. 5MPa、F2的含量為0. 5 1%，其余為He的混合氣體，恒溫恒壓8小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；
C)將準分子激光氣配置裝置保持在常溫并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. Γ0. 2MPa、F2的含量為0. 05、. 1%，其余為He的混合氣體，恒溫恒壓M小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置。最后通入壓力為0. 05MPa的N2作為保護氣體。密封后待用及完成整個鈍化過程。請再次參考圖1，本發明準分子激光氣配置裝置的鈍化方法包括控制閥1、10、11、 12、13、14、15、16、17、18、19，壓力表2、管線3、真空計4，凈化器5以及真空泵6，其中管線3 連接罐裝的產品氣、F2、Ar、He、Ne。通有N2的管線設有控制閥1。鈍化前，關閉控制閥1、 10、12、14、15，F2和He混合氣由控制閥11、13進入準分子激光氣配置裝置，當達到規定量后，關閉控制閥11、13，混合氣體被密封在準分子激光氣配置裝置內。這時，準分子激光氣配置裝置與外界接觸的控制閥1、10關閉。抽真空時，僅開啟與真空泵相聯的控制閥15、17、 19，其余控制閥10、11、12、13、14、16、18關閉。將裝置內部抽成真空。用N2吹除時，僅開啟與凈化器相聯的控制閥15、17、18，其余控制閥10、11、12、13、14、16、19關閉。
本發明使用分子量小擴散能力強的He氣體替代了現有技術中N2，并且變化了鈍化的溫度條件，因此，氧化膜的形成穩定而且致密，因滲透程度的增加而堅韌牢固，有效的防治了金屬基體的進一步腐蝕。配置的準分子激光器輸出能量穩定，能量分布均勻。完全能滿眼科手術激光治療的要求，并且成本低。本發明不僅局限于上述最佳實施方式，任何人在本發明的啟示下都可以得出其他各種形式的產品，但不論在其形狀或結構及方法上作任何變化，凡是具有與本發明相同或相近似的技術方案，均在其保護的范圍內。
權利要求
1.一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，其特征在于其包括以下步驟，步驟一鈍化前處理清理準分子激光氣配置裝置中的雜質，并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；步驟二 鈍化處理在準分子激光氣配置裝置中通入F2和He的混合氣體，恒溫恒壓一段時間后用N2吹除準分子激光氣配置裝置；步驟三通入N2后密封，完成準分子激光氣配置裝置的鈍化。
2.如權利要求1所述的一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，其特征在于所述步驟二具體包括以下步驟A)將準分子激光氣配置裝置溫度保持在40-60°C并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. 2^0. 5MPa、F2的含量為2 5%，其余為He的混合氣體， 恒溫恒壓8小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；B)將準分子激光氣配置裝置溫度保持在-2(T-4(TC并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. 2^0. 5MPa、F2的含量為0. 5 1%，其余為He的混合氣體，恒溫恒壓8小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；C)將準分子激光氣配置裝置保持在常溫并恒溫0.5^1小時，將所述準分子激光氣配置裝置抽真空，并通入壓力為0. Γ0. 2MPa、F2的含量為0. 05、. 1%，其余為He的混合氣體，恒溫恒壓M小時后減壓并用N2吹除準分子激光氣配置裝置。
3.如權利要求1所述的一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，其特征在于所述步驟三中通入的N2壓力為0. 05MPa。
全文摘要
一種準分子激光氣配置裝置的鈍化方法，其特征在于其包括以下步驟，步驟一鈍化前處理清理準分子激光氣配置裝置中的雜質，并用N2吹除準分子激光氣配置裝置；步驟二鈍化處理在準分子激光氣配置裝置中通入F2和He的混合氣體，恒溫恒壓一段時間后用N2吹除準分子激光氣配置裝置；步驟三通入N2后密封，完成準分子激光氣配置裝置的鈍化。使用分子量小擴散能力強的He氣體替代了現有技術中N2，并且變化了鈍化的溫度條件，因此，氧化膜的形成穩定而且致密，因滲透程度的增加而堅韌牢固，有效的防治了金屬基體的進一步腐蝕。配置的準分子激光器輸出能量穩定，能量分布均勻。完全能滿眼科手術激光治療的要求，并且成本低。
文檔編號C23C8/08GK102517540SQ20111042941
公開日2012年6月27日 申請日期2011年12月20日 優先權日2011年12月20日
發明者張智宏, 趙克連, 陳平 申請人:廣東華南特種氣體研究所有限公司