專利名稱：一種lcd平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法
技術領域：
本發明屬于濺射靶材用鉬板制備技術領域，具體涉及ー種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法。
背景技術：
厚度14mm 18mm，寬度IOOOmm 1800mm，長度1300mm 2200mm的大尺寸鉬板
可用于加工4. 5代線 6代線IXD平板顯示器濺射靶材。此類鉬板技術要求較高，其中密度要求不小于10. 15g/cm3，顯微組織要求為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸不超過200 μ m， 板面要求平整。常規小尺寸鉬板的軋制方法為氫氣保護加熱，直接軋制。但大尺寸鉬板所需坯料重量較大，常規氫氣爐無法進行加熱；另一方面由于坯料重量和成品尺寸較大，按公知的軋制方法所需軋制力較大，常規鎢鉬軋機無法進行軋制；而寬幅軋機輥道較長，若直接加熱軋制，鉬坯降溫嚴重，勢必導致軋制開裂。對大規格鉬坯料而言，按公知的軋制エ藝，無法保證軋制鉬板成品熱處理后得到均勻的等軸晶組織。

發明內容
本發明所要解決的技術問題在于針對上述現有技術的不足，提供ー種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法。該方法采用涂刷抗氧化涂層和鋼包套包覆的方式，解決了加熱和軋制過程中的氧化問題，出爐和軋制過程中坯料溫降嚴重的問題，同時降低鉬板軋制力，保證了軋制順利進行；軋制過程中通過控制第一火次軋制的總加工率為 50 % 60 %，并在第一火次軋制完畢后將軋件置于冷床上進行快速冷卻，可防止熱軋開坯后顯微組織的不均勻長大和再結晶，得到變形均勻的加工組織，最終制備的鉬板具有尺寸均勻的等軸晶組織。為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為55mm 130mmX600mm SOOmmX 800mm IOOOmm的鉬板坯表面均勻涂刷抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、有機粘結劑和水按照8 10 1 8 10的質量比混合而成的漿料；所述有機粘結劑為水
玻璃；步驟ニ、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為IOmm 20mm的鋼包套
包覆；步驟三、將步驟ニ中包覆有鋼包套的鉬板坯加熱至1300°C 1400°C后進行ー 火次的軋制，然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的道次加工率為15% 30%，軋制總加工率為50% 60% ；步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至900°C 1050°C，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為19mm 24mm(含鋼包套)；所述軋制的道次加工率為10% 25% ；步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至850°C 950°C后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為14mm 18mm，寬度為 IOOOmm 1800mm，長度為1300mm 2200mm的半成品鉬板；步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1100°C 1400°C的條件下進行真空熱處理，得到厚度為14mm 18mm，寬度為IOOOmm 1800mm，長度為1300mm 2200mm的 IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。上述的ー種IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟一中所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成75%ニ氧化硅，20%三氧化ニ硼，2%三氧化ニ鋁，2%氧化鋅，余量為氧化鉀。上述的ー種IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟一中所述抗氧化涂層的涂刷厚度為1. 5mm 2. 5mm。上述的ー種IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟ニ中所述鋼包套的材質為Q235鋼板或45#鋼板。上述的ー種IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，步驟六中所述真空熱處理的處理時間為池 4h。本發明與現有技術相比具有以下優點1、本發明采用涂刷抗氧化涂層和鋼包套包覆的方式，解決了加熱和軋制過程中的氧化問題；解決了出爐和軋制過程中坯料溫降嚴重的問題；采用包套軋制可降低鉬板軋制力，保證了軋制順利進行。2、本發明通過控制第一火次軋制的總加工率為50% 60%，并在第一火次軋制完畢后將軋件置于冷床上進行快速冷卻，可防止熱軋開坯后顯微組織的不均勻長大和再結晶，得到變形均勻的加工組織，最終制備的鉬板具有尺寸均勻的等軸晶組織。3、采用本發明的方法制備的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板板面平整，密度不小于10. 15g/cm3，顯微組織為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸不大于2001am。下面通過實施例，對本發明技術方案做進ー步的詳細說明。
具體實施例方式實施例1步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為130mmX800mmX IOOOmm的鉬板坯表面均勻涂刷厚度約為2. 5mm的抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、水玻璃和水按照 10 1 10的質量比混合而成的漿料；所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成75% ニ氧化硅，20 %三氧化ニ硼，2 %三氧化ニ鋁，2 %氧化鋅，余量為氧化鉀；步驟ニ、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為20mm的鋼包套包覆；所述鋼包套的材質為45#鋼板；步驟三、將步驟ニ中包覆有鋼包套的鉬板坯在空氣單預熱推鋼式加熱爐中加熱至 1400°C后進行ー火次的軋制，然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的各道次加工率分別為30%、20%、16%和15%，軋制總加工率為60% ；步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至1050°C，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為24mm ；所述軋制的各道次加工率分別為25%、20%、18%、16%和15% ；步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至850°C后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為18mm，寬度為1800mm，長度為 2200mm的半成品鉬板；步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1400°C的條件下真空熱處理4h，得到厚度為18mm，寬度為1800mm，長度為2200mm的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。經檢測，本實施例制備的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板板面平整，密度為10. 17g/cm3，顯微組織為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸為200 μ m。實施例2步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為100mmX 700mmX900mm的鉬板坯表面均勻涂刷厚度約為2mm的抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、水玻璃和水按照9 :1:9 的質量比混合而成的漿料；所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成75%ニ氧化硅，20% 三氧化ニ硼，2%三氧化ニ鋁，2%氧化鋅，余量為氧化鉀；步驟ニ、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為15mm的鋼包套包覆；所述鋼包套的材質為45#鋼板；步驟三、將步驟ニ中包覆有鋼包套的鉬板坯加熱至1350°C后進行ー火次的軋制， 然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的各道次加工率分別為^%、23%和 18. 5%，軋制總加工率為55% ；步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至1000°C，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為22mm ；所述軋制的各道次加工率分別為23%、20%、17%、15%和14% ；步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至950°C后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為16mm，寬度為1500mm，長度為 1800mm的半成品鉬板；步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1300°C的條件下真空熱處理3h，得到厚度為16mm，寬度為1500mm，長度為1800mm的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。經檢測，本實施例制備的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板板面平整，密度為10. 16g/cm3，顯微組織為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸為150 μ m。實施例3步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為55mmX600mmX800mm的鉬板坯表面均勻涂刷厚度約為1.5mm的抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、水玻璃和水按照 8:1: 8的質量比混合而成的漿料；所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成75% ニ氧化硅，20 %三氧化ニ硼，2 %三氧化ニ鋁，2 %氧化鋅，余量為氧化鉀；步驟ニ、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為IOmm的鋼包套包覆；所述鋼包套的材質為Q235鋼板；步驟三、將步驟ニ中包覆有鋼包套的鉬板坯加熱至1300°C后進行ー火次的軋制， 然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的各道次加工率分別為25%、21. 5%和 15%，軋制總加工率為50% ；步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至900°C，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為19mm ；所述軋制的各道次加工率分別為20^,17^,14. 5%和10% ；步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至900°C后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為14mm，寬度為1000mm，長度為1300mm的半成品鉬板；步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1100°C的條件下真空熱處理池，得到厚度為14mm，寬度為1000mm，長度為1300mm的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。經檢測，本實施例制備的IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板板面平整，密度為10. 15g/cm3，顯微組織為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸為100 μ m。以上所述，僅是本發明的較佳實施例，并非對本發明做任何限制，凡是根據發明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬于本發明技術方案的保護范圍內。
權利要求
1.ー種IXD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟步驟一、在常規方法壓制和燒結的尺寸為55_ 130mmX600mm 800mmX800mm IOOOmm的鉬板坯表面均勻涂刷抗氧化涂層；所述抗氧化涂層為玻璃粉、有機粘結劑和水按照8 10 1 8 10的質量比混合而成的漿料；所述有機粘結劑為水玻璃；步驟ニ、將步驟一中涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用厚度為IOmm 20mm的鋼包套包覆；步驟三、將步驟ニ中包覆有鋼包套的鉬板坯加熱至1300°C 1400°C后進行ー火次的軋制，然后將軋制后的鉬板坯置于冷床上冷卻；所述軋制的道次加工率為15% 30%，軋制總加工率為50% 60% ；步驟四、將步驟三中冷卻后的鉬板坯加熱至900°C 1050°C，然后將加熱后的鉬板坯軋制至厚度為19mm 24mm ；所述軋制的道次加工率為10% 25% ；步驟五、將步驟四中經軋制的鉬板坯加熱至850°C 950°C后進行校平處理，然后去除鉬板坯的鋼包套，對去除鋼包套的鉬板坯進行切割，得到厚度為14mm 18mm，寬度為 IOOOmm 1800mm，長度為1300mm 2200mm的半成品鉬板；步驟六、將步驟五中所述半成品鉬板在溫度為1100°C 1400°c的條件下進行真空熱處理，得到厚度為14mm 18mm，寬度為IOOOmm 1800mm，長度為1300mm 2200mm的LCD 平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。
2.根據權利要求1所述的ー種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在干，步驟一中所述玻璃粉由以下重量百分比成分組成75%ニ氧化硅，20%三氧化ニ 硼，2 %三氧化ニ鋁，2 %氧化鋅，余量為氧化鉀。
3.根據權利要求1所述的ー種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在干，步驟一中所述抗氧化涂層的涂刷厚度為1. 5mm 2. 5mm。
4.根據權利要求1所述的ー種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在干，步驟ニ中所述鋼包套的材質為Q235鋼板或45#鋼板。
5.根據權利要求1所述的ー種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，其特征在干，步驟六中所述真空熱處理的處理時間為池 4h。
全文摘要
本發明公開了一種LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板的制備方法，該方法為一、在常規方法壓制和燒結的鉬板坯表面均勻涂刷抗氧化涂層；二、將涂刷有抗氧化涂層的鉬板坯用鋼包套包覆；三、對包覆有鋼包套的鉬板坯進行一火次的軋制，然后置于冷床上冷卻；四、將冷卻后的鉬板坯軋制至厚度為19mm～24mm(含鋼包套)；五、將軋制的鉬板坯進行校平處理，去除鋼包套，切割，得到半成品鉬板；六、將半成品鉬板進行真空熱處理，得到LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板。采用本發明的方法制備的LCD平板顯示器濺射靶材用大尺寸鉬板板面平整，密度不小于10.15g/cm3，顯微組織為均勻等軸晶組織，平均晶粒尺寸不大于200μm。
文檔編號C23C14/34GK102534519SQ20121003887
公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月21日 優先權日2012年2月21日
發明者丁旭, 侯軍濤, 呂利強, 張清, 李明強, 李輝, 淡新國, 鄧自南, 郭磊, 郭讓民, 馬宏旺 申請人:西安瑞福萊鎢鉬有限公司