專利名稱：一種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的無應(yīng)カ精密拋光方法，屬于光學(xué)加工領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
以鈦合金和玻璃經(jīng)燒結(jié)而成的復(fù)合式結(jié)構(gòu)輕質(zhì)反射鏡，熱穩(wěn)定性好、密度相對(duì)小，傳統(tǒng)的純玻璃反射鏡相比，重量大大減輕，從而減小カ矩電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量，提高穩(wěn)像精度，同時(shí)具有環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，易于裝夾等特點(diǎn)。復(fù)合輕質(zhì)反射鏡不但應(yīng)用于火控系統(tǒng)、光電雷達(dá)系統(tǒng)、自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)，也可應(yīng)用到衛(wèi)星、穩(wěn)像觀瞄望遠(yuǎn)鏡等民用領(lǐng)域。 復(fù)合輕質(zhì)反射鏡為減輕重量，往往將鈦合金基底背面做成蜂窩、六方形等形狀，而與之結(jié)合的玻璃加工后只有O. 3—0. 6mm。復(fù)合輕質(zhì)反射鏡徑厚比一般都遠(yuǎn)大于20 :1，而且兩種材料的強(qiáng)度和熱膨脹系數(shù)不同，加上背面結(jié)構(gòu)復(fù)雜、玻璃層特別薄，是光學(xué)拋光難度最大的ー類零件。采用傳統(tǒng)拋光方法加工，加工效率非常低，質(zhì)量也難以保證，是制約批生產(chǎn)的重大瓶頸問題。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的無應(yīng)カ精密拋光方法，能有效提高復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的拋光效率和合格率，解決復(fù)合輕質(zhì)反射鏡批生產(chǎn)的瓶頸問題。為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，其特征是在拋光過程中采用直徑為Im的環(huán)拋機(jī)進(jìn)行拋光，控制拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速為2r/min 3r/min，拋光液流量為O. 81/h I. ΟΙ/h,對(duì)復(fù)合輕質(zhì)反射鏡表面連續(xù)拋光IOh 12h，拋光結(jié)束后進(jìn)行清洗，然后定溫6 10h。進(jìn)ー步，所述的拋光機(jī)拋光模面形要求為Λ N < O. 2。進(jìn)ー步，所述的拋光液中拋光粉的濃度為O. 3% O. 5%，拋光粉是粒度為300目的氧化鈰拋光粉。進(jìn)ー步，所述的拋光過程中，溫度控制為22°C 26°C，溫度梯度< 1°C /h，相對(duì)濕度為60% 80%。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明采取上述技術(shù)方案以后，復(fù)合輕質(zhì)反射鏡拋光效率提高3 5倍，零件面形一致性好。經(jīng)檢測(cè)，復(fù)合輕質(zhì)反射鏡拋光指標(biāo)達(dá)到Ν=1，ΛΝ=0.2，α〈2" ,ff彡2. 4km，B= VI。從而解決了復(fù)合輕質(zhì)反射鏡普通拋光エ藝拋光效率低及エ藝不穩(wěn)定的問題，以及復(fù)合輕質(zhì)反射鏡批生產(chǎn)的瓶頸問題。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)ー步的說明
實(shí)施例I:
ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，具體過程如下采用粒度為300目的氧化鈰拋光粉配制拋光液，其中拋光粉的濃度為O. 4%。然后將復(fù)合輕質(zhì)反射鏡使用夾具安放到直徑為Im的環(huán)拋機(jī)上,控制拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速為2. 5r/min,拋光液流量為O. 91/h，拋光過程中，溫度控制為24°C，濕度為65%，對(duì)復(fù)合輕質(zhì)反射鏡表面連續(xù)拋光12h，拋光結(jié)束后進(jìn)行清洗，然后定溫8h，最后檢測(cè)面形參數(shù)，采用平面激光干涉儀進(jìn)行光圈檢驗(yàn)。實(shí)施例2:
ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，具體過程如下
采用粒度為300目的氧化鈰拋光粉配制拋光液，其中拋光粉的濃度為0.3%。然后將復(fù)合輕質(zhì)反射鏡使用夾具安放到直徑為Im的環(huán)拋機(jī)上，控制拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速為2r/min，拋光液流量為O. 81/h，拋光過程中，溫度控制為22°C，濕度為60%，對(duì)復(fù)合輕質(zhì)反射鏡表面連續(xù)拋光IOh,拋光結(jié)束后進(jìn)行清洗，然后定溫6h，最后檢測(cè)面形參數(shù)，采用平面激光干涉儀進(jìn)行光圈 檢驗(yàn)。實(shí)施例3:
ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，具體過程如下
采用粒度為300目的氧化鈰拋光粉配制拋光液，其中拋光粉的濃度為0.5%。然后將復(fù)合輕質(zhì)反射鏡使用夾具安放到直徑為Im的環(huán)拋機(jī)上，控制拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速為3r/min，拋光液流量為I. ΟΙ/h，拋光過程中，溫度控制為26°C，濕度為80%，對(duì)復(fù)合輕質(zhì)反射鏡表面連續(xù)拋光12h，拋光結(jié)束后進(jìn)行清洗，然后定溫10h，最后檢測(cè)面形參數(shù)，采用平面激光干涉儀進(jìn)行光圈檢驗(yàn)。上述實(shí)施例經(jīng)檢驗(yàn)后,指標(biāo)達(dá)到N=I, Λ N=O. 2, α =1. 8" ,f' =2. 6km, B= VI,符合要求。凡在不脫離本發(fā)明核心的情況下做出的簡單的變形或修改均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.ー種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，其特征是在拋光過程中采用直徑為Irn的環(huán)拋機(jī)進(jìn)行拋光，控制拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速為2r/min 3r/min,拋光液流量為O. 81/h I. ΟΙ/h,對(duì)復(fù)合輕質(zhì)反射鏡表面連續(xù)拋光IOh 12h,拋光結(jié)束后進(jìn)行清洗,然后定溫6 10h。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，其特征是所述的拋光機(jī)拋光模面形要求為Λ N < O. 2。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，其特征是所述的拋光液中拋光粉的濃度為O. 3% O. 5%，拋光粉是粒度為300目的氧化鈰拋光粉。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，其特征是所述的拋光過程中，溫度控制為22°C 26°C，溫度梯度< 1°C /h，相対濕度為60% 80%。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法包括如下步驟一種復(fù)合輕質(zhì)反射鏡的精密拋光方法，在拋光過程中采用直徑為1m的環(huán)拋機(jī)進(jìn)行拋光，控制拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速為2r/min～3r/min，拋光液流量為0.8l/h～1.0l/h，對(duì)復(fù)合輕質(zhì)反射鏡表面連續(xù)拋光10h～12h，拋光結(jié)束后進(jìn)行清洗，然后定溫6～10h。采取上述技術(shù)方案以后，復(fù)合輕質(zhì)反射鏡拋光效率提高3～5倍，零件面形一致性好。復(fù)合輕質(zhì)反射鏡拋光指標(biāo)達(dá)到N=1，△N=0.2，α<2″，f′≥2.4km，B=Ⅵ，解決了復(fù)合輕質(zhì)反射鏡普通拋光工藝拋光效率低及工藝不穩(wěn)定的問題，以及復(fù)合輕質(zhì)反射鏡批生產(chǎn)的瓶頸問題。
文檔編號(hào)B24B13/01GK102689253SQ20121018760
公開日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2012年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月8日
發(fā)明者任玉河, 劉海偉, 張成群, 張濤, 李明, 田軍, 胡寶珍, 蘇穎, 陳菊意 申請(qǐng)人:河南平原光電有限公司