鎢鈦靶材的制造方法和鎢鈦靶材組合的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了鎢鈦靶材的制造方法和鎢鈦靶材組合的制造方法。其中，所述鎢鈦靶材的制造方法包括：在模具中裝入鎢粉和鈦粉的混合粉末；對所述混合粉末進(jìn)行冷壓成型處理，形成鎢鈦靶材坯料；將所述鎢鈦靶材坯料進(jìn)行真空熱壓燒結(jié)處理，形成鎢鈦靶材。本發(fā)明所公開的鎢鈦靶材的制造方法通過冷壓成型處理和真空熱壓燒結(jié)及相關(guān)工藝參數(shù)的設(shè)定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的鎢鈦靶材，并且所獲得的鎢鈦靶材微觀結(jié)構(gòu)均勻，具有優(yōu)異的濺射使用性能。同時(shí)，本發(fā)明的制造方法工藝步驟少，生產(chǎn)速度快。
【專利說明】鎢鈦靶材的制造方法和鎢鈦靶材組合的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于濺射靶材【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種鎢鈦靶材的制造方法和一種鎢鈦靶材組合的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]物理氣相沉積(PVD,Physical Vapor Deposition)被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、電子、信息等高端產(chǎn)業(yè)中，例如:集成電路、液晶顯示器(LCD,Liquid Crystal Display)、工業(yè)玻璃、照相機(jī)鏡頭、信息存儲、船舶、化工等。PVD中使用的合金靶材則是集成電路、液晶顯示器等制造過程中最重要的原材料之一。
[0003]隨著PVD技術(shù)的不斷發(fā)展，對合金靶材需求量及質(zhì)量要求日益提高，合金靶材的晶粒越細(xì)，成分組織越均勻，其表面粗糙度越小，通過PVD在硅片上形成的薄膜就越均勻。此外，形成的薄膜的純度與合金靶材的純度也密切相關(guān)，故PVD后薄膜質(zhì)量的好壞主要取決于合金靶材的純度、密度、晶粒度、微觀結(jié)構(gòu)等因素。
[0004]鎢鈦靶材是一種比較典型的合金靶材，大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路、太陽能電池等都會使用鎢鈦靶材進(jìn)行PVD鍍膜，形成阻擋層。就目前而言，對于濺射用的鎢鈦靶材的要求通常為鎢鈦靶材純度> 99.9%，相對致密度> 99%，微觀結(jié)構(gòu)均勻，無裂紋缺陷。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用粉末冶金工藝生產(chǎn)鎢鈦靶材，但是通過現(xiàn)有的粉末冶金工藝的工藝參數(shù)獲得的鎢鈦靶材的硬度值偏高，易出現(xiàn)裂紋，進(jìn)而使得最終獲得的鎢鈦靶材達(dá)不到半導(dǎo)體集成電路及太陽能電池等使用的鎢鈦靶材的要求。因此，如何可以制造出符合半導(dǎo)體濺射用的鎢鈦靶材成為目前亟待解決的問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

`[0006]本發(fā)明的目的在于提供符合半導(dǎo)體濺射用的鎢鈦靶材，有鑒于此，本發(fā)明提供一種鎢鈦靶材的制造方法，包括:
[0007]在模具中裝入鎢粉和鈦粉的混合粉末；
[0008]對所述混合粉末進(jìn)行冷壓成型處理，形成鎢鈦靶材坯料；
[0009]將所述鎢鈦靶材坯料進(jìn)行真空熱壓燒結(jié)處理，形成鎢鈦靶材；
[0010]所述真空熱壓燒結(jié)處理包括:
[0011]將裝有所述鎢鈦靶材坯料的所述模具放置在真空熱壓爐內(nèi)；
[0012]將所述真空熱壓爐抽真空至絕對壓強(qiáng)IOOPa以下，以5°C /mirTl(TC /min的升溫速度升溫至900°C~1100°C，保溫60mirT90min ；
[0013]經(jīng)上述保溫處理后，充入惰性氣體至所述真空熱壓爐的相對氣壓為-0.0SMPa^-0.06MPa ;利用真空熱壓爐的壓柱對所述模具內(nèi)的所述鎢鈦靶材坯料進(jìn)行加壓，所述加壓以0.lMPa/mirT0.4MPa/min的加壓速度加壓至最大壓強(qiáng),所述最大壓強(qiáng)在20MPa~30MPa之間；以5°C /mirTl(TC /min的升溫速度升溫至最高溫度，所述最高溫度在IlOO0C~1250°C之間，在所述最大壓強(qiáng)和所述最高溫度條件下保溫保壓30mirT60min。[0014]可選的，所述冷壓成型處理包括將裝有所述混合粉末2的所述模具放入靜壓機(jī)進(jìn)行冷壓，所加壓強(qiáng)在IMPa?2MPa之間。
[0015]可選的，在所述真空熱壓燒結(jié)工藝后，關(guān)爐冷卻；當(dāng)所述真空熱壓爐內(nèi)溫度冷卻到2000C以下后，將所述鎢鈦靶材從模具中取出。
[0016]可選的，將所述鎢鈦靶材進(jìn)行機(jī)械加工，去除其表面的氧化皮、雜質(zhì)及余量，使得所述鎢鈦靶材達(dá)到所需的尺寸。
[0017]可選的，所述模具為石墨模具，在所述模具中包括有多層所述混合粉末時(shí)，相鄰兩層所述混合粉末之間以隔板隔開。
[0018]可選的，所述石墨模具包括外模、內(nèi)模及上、下壓頭，所述上壓頭包括能夠伸入所述內(nèi)模的墊片，所述內(nèi)模限定了模具腔體；真空熱壓燒結(jié)處理后，所述上壓頭的所述墊片仍凸出于所述模具腔體。
[0019]可選的，所述混合粉末中所述鎢粉和所述鈦粉的質(zhì)量比為9:1。
[0020]本發(fā)明還公開了一種鎢鈦靶材組合的制造方法，包括:
[0021]將由如上所述的鎢鈦靶材的制造方法制得的鎢鈦靶材進(jìn)行表面處理，增大其表面粗糙度；
[0022]將所述鎢鈦靶材放到鍍鎳槽內(nèi)進(jìn)行鍍鎳；
[0023]將鍍鎳后的所述鎢鈦靶材與背板焊接在一起，形成鎢鈦靶材組合。
[0024]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0025]本發(fā)明所公開的鎢鈦靶材的制造方法通過冷壓成型處理和真空熱壓燒結(jié)及相關(guān)工藝參數(shù)的設(shè)定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的鎢鈦靶材，并且所獲得的鎢鈦靶材微觀結(jié)構(gòu)均勻，具有優(yōu)異的濺射性能。同時(shí)，本發(fā)明的制造方法工藝步驟少，生產(chǎn)速度快。
[0026]本發(fā)明所公開的鎢鈦靶材的制造方法，于加壓升溫階段在所述真空熱壓爐內(nèi)通入惰性氣體，該通入氣體作為傳熱介質(zhì)可以起到對流傳熱的目的，從而使得所述真空熱壓爐內(nèi)部的溫度更加均勻，從而使得制得的所述鎢鈦靶材的性能更好。
[0027]本發(fā)明所公開的鎢鈦靶材的制造方法，在裝模時(shí)，可以在一個模具內(nèi)裝入多層所述混合粉末，從而可以一次成型多個鎢鈦靶材，提高了生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1為本發(fā)明實(shí)施例裝有混合粉末的石墨|旲具的不意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]本發(fā)明公開了一種鎢鈦靶材的制造方法，通過在模具中裝入鎢粉和鈦粉的混合粉末，然后對所述混合粉末進(jìn)行冷壓成型處理，形成鎢鈦靶材坯料，再將所述鎢鈦靶材坯料進(jìn)行真空熱壓燒結(jié)處理，形成鎢鈦靶材。其中，所述真空熱壓燒結(jié)處理包括:將真空熱壓爐抽真空至絕對壓強(qiáng)IOOPa以下，以5°C /mirTKTC /min的升溫速度升溫至900°C?1100°C，保溫60mirT90min。然后充入惰性氣體至所述真空熱壓爐的相對氣壓為-0.08MPa?-0.06MPa。最后以0.1MPa/min、.4MPa/min的加壓速度加壓至最大壓強(qiáng)，以5°C /min?10°C /min的升溫速度升溫至最高溫度，所述最高溫度在1100°C?1250°C之間，所述最大壓強(qiáng)在20MPa?30MPa之間，在所述最大壓強(qiáng)和所述最高溫度條件下保溫保壓30mirT60min。[0030]以下將結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明的具體實(shí)施過程作詳細(xì)描述。
[0031]首先選取純度適宜的鎢粉和鈦粉作為原材料。優(yōu)選的，所選鎢粉純度大于或等于3N (鶴質(zhì)量含量不低于99.9%),所述鈦粉純度大于或等于3N (鈦質(zhì)量含量不低于99.9%)。在選擇高純鎢粉和所述高純鈦粉的質(zhì)量比時(shí)，通常根據(jù)所要制得的靶材的成分來決定相應(yīng)地質(zhì)量比。作為一種具體的實(shí)施方式，本實(shí)施例中所述高純鎢粉和所述高純鈦粉按的質(zhì)量比9:1，并用混粉機(jī)將其進(jìn)行機(jī)械混合。混合均勻后，可以暫時(shí)真空包裝待用。
[0032]請參考圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例裝有混合粉末2的石墨|旲具I的不意圖。本實(shí)施例中，石墨模具I具有最底部的托盤15，托盤15上設(shè)置有下壓頭14，從圖1中的剖示圖可以看出，石墨模具I的左右兩側(cè)為側(cè)壁12，側(cè)壁12包括內(nèi)模121和外模122。需要說明的是，內(nèi)模121的內(nèi)徑通常略大于要形成的鎢鈦靶材的直徑，這樣使得拆模后的鎢鈦靶材具有一定余量供后續(xù)機(jī)械加工去除。石墨模具I還包括上壓頭11。其中上壓頭11包括頂蓋111和墊片112，墊片112為可伸入石墨模具I的內(nèi)模121所形成的腔體內(nèi)，并且墊片112凸出于內(nèi)模121所限定出的腔體外一段高度，此高度為圖1中所示的H。本實(shí)施例中，將混合粉末2裝入事先預(yù)備的石墨模具I中。如果所述混合粉末2包括有多層，則將相鄰的兩層混合粉末2之間用隔板隔開，如現(xiàn)在圖1所述，在兩層混合粉末2之間有隔板13隔開。如果有多層的混合粉末2(如圖1中所顯示的有五層混合粉末2)，根據(jù)要制得的鎢鈦靶材的尺寸要求，各層混合粉末2的高度可以相等，也可以不相等。
[0033]在將所述混合粉末2裝入后，保證所述混合粉末2的平面度在2mm以下(即在裝入的時(shí)候注意攤平混合粉末2使其在所述石墨模具I內(nèi)盡量平整鋪實(shí))。本實(shí)施例中，石墨模具I的尺寸根據(jù)最終形成鎢鈦靶材的尺寸來選擇。石墨模具I起到成型和保護(hù)所述混合粉末2的作用。
[0034]在將混合粉末2裝入石墨模具I之后，將石墨模具I放入靜壓機(jī)內(nèi)，所述靜壓機(jī)內(nèi)設(shè)有壓柱，當(dāng)壓柱向下移動時(shí)即可壓實(shí)放入石墨模具I內(nèi)的混合粉末2，形成鎢鈦靶材坯料。
[0035]對所述混合粉末2進(jìn)行冷壓處理是為了向石墨模具I填充更多的所述混合粉末2，使得每個模具多裝所述混合粉末2，為后續(xù)形成致密的鎢鈦靶材提供足夠的鎢鈦原料。靜壓機(jī)對所述混合粉末2的壓力作用(壓力的作用以壓強(qiáng)表示)為IMPalMPa之間，在壓力作用下所述混合粉末2開始產(chǎn)生塑性形變，并且使得壓實(shí)后的所述混合粉末2的位錯密度大幅度增加，有的混合粉末2顆粒間以點(diǎn)接觸，有的混合粉末2顆粒相互分開，混合粉末2中鎢顆粒與鈦顆粒之間保留著較多的空隙。
[0036]隨著冷壓時(shí)間的延長，開始產(chǎn)生鎢顆粒和鈦顆粒間的鍵連和重排過程，這時(shí)鎢顆粒和鈦顆粒因重排而相互靠攏，晶粒長大，鎢顆粒和鈦顆粒之間的空隙逐漸消失，即鎢顆粒和鈦顆粒之間的空隙的總體積迅速減少，鎢顆粒和鈦顆粒之間的晶界面積逐漸增加，但是這時(shí)顆粒間仍以點(diǎn)接觸為主，顆粒之間的空隙仍然連通。在這個過程中，鎢原子和鈦原子發(fā)生遷移。鎢原子和鈦原子的遷移是在表面張力作用下實(shí)現(xiàn)的，鎢原子和鈦原子的遷移可能通過鎢原子和鈦原子之間的錯位滑移、攀移、擴(kuò)散、擴(kuò)散蠕變等多種機(jī)制完成。其中，擴(kuò)散機(jī)制起主要作用，鎢原子和鈦原子的擴(kuò)散使鎢顆粒和鈦顆粒之間的連通的空隙成為孤立的閉孔，鎢顆粒和鈦顆粒之間形成的晶界面積較大，所述閉孔大部分位于晶界相交處，少數(shù)存在于鎢顆粒和鈦顆粒的內(nèi)部。本實(shí)施例中，經(jīng)過上述冷壓工藝形成鎢鈦靶材坯料，制得的所述鎢鈦靶材坯料結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，具有一定的致密度。因而該靜壓機(jī)的壓力作用可將所述混合粉末2預(yù)壓成型。預(yù)壓成型是為了將所述混合粉末2壓實(shí)，調(diào)整人工裝模造成的表面不平整，以及進(jìn)一步壓實(shí)可以多裝粉末。
[0037]將經(jīng)過上述冷壓工藝后，裝有鎢鈦靶材坯料的石墨模具I放入真空熱壓爐中。為了石墨模具I固定在真空熱壓爐，可以通過將托盤15放在真空熱壓爐的平面內(nèi)使下壓頭14固定，再將真空熱壓爐的壓柱固定在上壓頭11上面，使得上壓頭11的位置固定。然后抽真空至所述真空熱壓爐內(nèi)的絕對壓強(qiáng)在IOOPa以下。然后以5°C /mirT2(TC /min的速率將爐溫升至 900°C ~1100°C，并保溫 60mirT90min。
[0038]在上述加熱過程中，所述鎢鈦靶材坯料在加熱到約1000°C時(shí)會發(fā)生膨脹。膨脹的原因一方面是因?yàn)槲矬w的熱脹冷縮性質(zhì)，但是更重要的是因?yàn)椋竭_(dá)一定的溫度后，預(yù)壓成型的所述鎢鈦靶材坯料內(nèi)部的原子重排。
[0039]本發(fā)明利用上述原子重排機(jī)制，在發(fā)生相應(yīng)膨脹的時(shí)候使所述鎢鈦靶材坯料充分地保溫，并使得整個所述鎢鈦靶材坯料的體積保持不變(即阻止鎢鈦靶材坯料膨脹)，這樣，一方面使得原子發(fā)生相應(yīng)重排，以產(chǎn)生晶形轉(zhuǎn)變，從而使所述鎢鈦靶材坯料生成相溶性更好的固溶體，另一方面又防止鎢鈦靶材坯料體積擴(kuò)大而破壞整齊的微觀結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例通過將真空熱壓爐的壓柱固定在與石墨模具I剛好相接觸的位置，從而防止所述鎢鈦靶材坯料發(fā)生膨脹，即當(dāng)所述鎢鈦靶材坯料要發(fā)生膨脹時(shí)，被所述壓柱抵住而無法膨脹，所述能夠使得所述鎢鈦靶材坯料保持體積不變。在該階段升溫速度可以比較大一些，例如選擇在10°C /min。
[0040]在上述加熱升溫階段和保溫過后，本實(shí)施例開始進(jìn)行下一階段的加壓和升溫。
[0041]本實(shí)施例為保證該加壓和升溫階段溫度能夠分布均勻，采取在真空熱壓爐內(nèi)充入惰性氣體作為傳熱介質(zhì)的 方法，來使得真空熱壓爐內(nèi)的溫度較為均勻，從而使得所述鎢鈦靶材坯料的各部分能夠被均勻燒結(jié)，形成性能良好的鎢鈦靶材。本實(shí)施例通過在所述真空熱壓爐內(nèi)通入氬氣，使?fàn)t內(nèi)的相對壓強(qiáng)達(dá)到-0.08MPa^-0.06MPa之間，該部分氬氣在爐內(nèi)進(jìn)行對流傳熱，使得爐內(nèi)溫度更均勻。
[0042]在通入所述氬氣之后緩慢加壓，同時(shí)進(jìn)行升溫。需要說明的是，在1000°C以下時(shí)，真空熱壓爐采用熱電偶來偵測溫度。但是溫度一旦高于1000°c，熱電偶就容易燒壞。因而當(dāng)溫度高于1000°c時(shí)，就需要換成紅外感應(yīng)器來測定溫度。而由于紅外感應(yīng)器測量溫度是利用從爐體傳出的紅外線來測定的，因而要保證測定到的溫度準(zhǔn)確和均勻，就需要適當(dāng)降低升溫速度。因而，在此階段的升溫過程中，優(yōu)選的，升溫速度可以在5°c /mirTl(TC /min之間。本實(shí)施例進(jìn)一步優(yōu)選的，升溫速度選擇為5°C/min。當(dāng)升溫至到最高溫度后停止升溫，最高溫度優(yōu)選為1100°C~1250°C之間。此階段的加壓是通過真空熱壓爐內(nèi)的壓柱下壓來實(shí)現(xiàn)的。具體的，通過壓柱下壓石墨模具I的上壓頭11，以對模具內(nèi)的所述鎢鈦靶材坯料產(chǎn)生壓力，加壓速度可以在0.lMPa/mirT0.4MPa/min之間。本實(shí)施例優(yōu)選的，加壓速度選擇為0.2MPa/min。當(dāng)加壓至最大壓強(qiáng)后停止加壓，最大壓強(qiáng)優(yōu)選為20MPa~30MPa之間。當(dāng)溫度和壓強(qiáng)都達(dá)到最大值時(shí)，保溫保壓30mirT60min，然后關(guān)爐冷卻。
[0043]需要說明的是，上面已經(jīng)說到內(nèi)模121限定了石墨模具I的模具腔體，在真空熱壓燒結(jié)處理后，上壓頭11的墊片112 (前面已經(jīng)提到，墊片112為上壓頭11中可伸入內(nèi)模121形成的腔體內(nèi))未伸入內(nèi)模121形成的腔體的高度大于后續(xù)所述鎢鈦靶材坯料因燒結(jié)而引起的收縮，即在真空熱壓燒結(jié)之后，圖1中顯示的高度H的值仍然大于零。這樣，一方面能夠保證在熱壓燒結(jié)過程中，上壓頭11能夠持續(xù)提供壓力，另一方面保證在熱壓燒結(jié)之后上壓頭11容易從內(nèi)模121上取下來(亦即容易進(jìn)行拆模)。
[0044]本制造方法用時(shí)390mirT450min，可批量化生產(chǎn)，提高效率。
[0045]關(guān)爐冷卻之后，當(dāng)爐內(nèi)溫度冷卻到溫度低于200°C時(shí)，可開爐取出模具，將鎢鈦靶材從模具中取出。之后可對所述鎢鈦靶材進(jìn)行機(jī)械加工，例如將鎢鈦靶材進(jìn)行磨削、車削或者線切割等方法，去除表面氧化皮及雜質(zhì)，在所述機(jī)械加工過程中，所述鎢鈦靶材的單面磨削量大于1_，從而制得最終尺寸需要的鎢鈦靶材成品。機(jī)械加工后需對成品進(jìn)行清洗、干燥處理等。
[0046]本發(fā)明的制造方法工藝步驟少，生產(chǎn)速度快。采用本發(fā)明的制造方法能夠獲得了致密度大于或者等于99%的鎢鈦靶材，并且所獲得的鎢鈦靶材微觀結(jié)構(gòu)均勻，具有優(yōu)異的濺射使用性能。
[0047]本發(fā)明還提供了一種鎢鈦靶材組合的制造方法。鎢鈦靶材組合通常是指將鎢鈦靶材與背板焊接在一起形成的整體。本發(fā)明鎢鈦靶材組合的制造方法的實(shí)施例中，采用以上所述的鎢鈦靶材的制造方法制得的鎢鈦靶材為原料，將所述鎢鈦靶材進(jìn)行表面處理，可以采用46#白剛玉，用2kg?4kg的壓力對所述鎢鈦靶材表面進(jìn)行處理，以增大其表面粗糙度。然后將表面處理后的所述鎢鈦靶材放到鍍鎳槽內(nèi)進(jìn)行鍍鎳。所述鎢鈦靶材表面粗糙度的增大，有利于提高鍍鎳效率，增加鍍鎳層厚度。之后將鍍鎳后的所述鎢鈦靶材與背板進(jìn)行焊接，制得鎢鈦靶材組合。
[0048]本說明書中各個部分采用遞進(jìn)的方式描述，每個部分重點(diǎn)說明的都是與其他部分的不同之處，各個部分之間相同相似部分互相參見即可。
[0049]對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，包括: 在模具中裝入鎢粉和鈦粉的混合粉末； 對所述混合粉末進(jìn)行冷壓成型處理，形成鎢鈦靶材坯料； 將所述鎢鈦靶材坯料進(jìn)行真空熱壓燒結(jié)處理，形成鎢鈦靶材； 所述真空熱壓燒結(jié)處理包括: 將裝有所述鎢鈦靶材坯料的所述模具放置在真空熱壓爐內(nèi)； 將所述真空熱壓爐抽真空至絕對壓強(qiáng)IOOPa以下，以5°C /mirTKTC /min的升溫速度升溫至 900°C ~1100°C，保溫 60mirT90min ； 經(jīng)上述保溫處理后，充入惰性氣體至所述真空熱壓爐的相對氣壓為-0.0SMPa^-0.06MPa ;利用真空熱壓爐的壓柱對所述模具內(nèi)的所述鎢鈦靶材坯料進(jìn)行加壓，所述加壓以0.lMPa/mirT0.4MPa/min的加壓速度加壓至最大壓強(qiáng),所述最大壓強(qiáng)在20MPa~30MPa之間；以5°C /mirTl(TC /min的升溫速度升溫至最高溫度，所述最高溫度在IlOO0C~1250°C之間，在所述最大壓強(qiáng)和所述最高溫度條件下保溫保壓30mirT60min。
2.如權(quán)利要求1所述的鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，所述冷壓成型處理包括將裝有所述混合粉末的所述模具放入靜壓機(jī)進(jìn)行冷壓，所加壓強(qiáng)在IMPa~2MPa之間。
3.如權(quán)利要求1或2所述的鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，在所述真空熱壓燒結(jié)工藝后，關(guān)爐冷卻；當(dāng)所述真空熱壓爐 內(nèi)溫度冷卻到200°C以下后，將所述鎢鈦靶材從模具中取出。
4.如權(quán)利要求3所述的鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，將所述鎢鈦靶材進(jìn)行機(jī)械加工，去除其表面的氧化皮、雜質(zhì)及余量，使得所述鎢鈦靶材達(dá)到所需的尺寸。
5.如權(quán)利要求1所述的鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，所述模具為石墨模具，在所述模具中包括有多層所述混合粉末時(shí)，相鄰兩層所述混合粉末之間以隔板隔開。
6.如權(quán)利要求5所述的鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，所述石墨模具包括外模、內(nèi)模及上、下壓頭，所述上壓頭包括能夠伸入所述內(nèi)模的墊片，所述內(nèi)模限定了模具腔體；真空熱壓燒結(jié)處理后，所述上壓頭的所述墊片仍凸出于所述模具腔體。
7.如權(quán)利要求1所述的鎢鈦靶材的制造方法，其特征在于，所述混合粉末中所述鎢粉和所述鈦粉的質(zhì)量比為9:1。
8.—種鎢鈦靶材組合的制造方法，其特征在于，包括: 將由如權(quán)利要求1至7任意一項(xiàng)所述的鎢鈦靶材的制造方法制得的鎢鈦靶材進(jìn)行表面處理，增大其表面粗糙度； 將所述鎢鈦靶材放到鍍鎳槽內(nèi)進(jìn)行鍍鎳； 將鍍鎳后的所述鎢鈦靶材與背板焊接在一起，形成鎢鈦靶材組合。
【文檔編號】C22C1/04GK103691953SQ201210374822
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月27日
【發(fā)明者】姚力軍, 相原俊夫, 大巖一彥, 潘杰, 王學(xué)澤, 宋佳 申請人:寧波江豐電子材料有限公司