一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置，屬于磁控濺射鍍膜【技術領域】。包括有無磁型材框架、磁鋼托架A、磁鋼托架B、儀器測量臺、磁場測試器，所述磁鋼托架A、磁鋼托架B分別固定在無磁型材框架的兩側，其上配裝有磁鋼，儀器測量臺包括有滑塊、連接板，在無磁型材框架的一側設置有滑道，其內配置有滑塊，滑道的一側或兩側設置有刻度B，所述連接板上設置有一水平部和一垂直部，連接板上的水平部固定在滑塊的上表面，其上配裝有一呈指針狀的指示片，垂直部上設置有托板，其上設置有磁場測試器。本發明的優點是：能夠實現一個人獨立對磁鋼進行檢測，測量準確、效率高，制造成本低，有利于大范圍的推廣和應用。
【專利說明】一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置
[0001]
【技術領域】
[0002]本發明屬于磁控濺射鍍膜【技術領域】，特別是涉及一種磁鋼檢測裝置。
【背景技術】
[0003]真空鍍膜包括光學鍍膜與磁控濺射鍍膜兩種，其中磁控濺射鍍膜是指在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術，利用氣體放電使靶材蒸發并使被蒸發物質與氣體都發生電離，利用電場的加速作用，使被蒸發物質及其反應產物沉積在工件上。其在光學薄膜、微電子、材料表面處理等工業化生產或科學研究領域中被廣泛應用，尤其應用在大面積平板玻璃表面鍍制金屬單層質膜、合金膜或金屬化合物膜工藝中，其中鍍成的薄膜厚度的均勻性是成膜質量檢測的一項重要指標，而對薄膜厚度起決定作用的是磁場的分布，由于鍍膜設備在工作時會存在一定的機械震動，長時間的機械震動會使磁鋼內的小磁鐵位置發生位移，從而影響磁場分布，所以就需要定期的對磁鋼進行檢測。目前的檢測方法為:首先將磁鋼從靶管中取出，然后用繩子將磁鋼的兩頭吊起，再用磁力儀在磁鋼的下面進行一字型測量，這樣的測量方式存在以下弊端:
1由于磁鋼是被人為的用繩子吊起，所以會左右晃動，從而造成測量不準確；
2由于磁力儀也是人為手持進行測量，所以測量數據也會有偏差；
3測量儀的探頭和磁鋼的距離由于人為的因素也不能完全保持一致；
4由于磁鋼的本身沒有刻度，所以不能準確找出磁力不合格的位置；
5檢測需要多人合作才能完成，影響檢測效率。

【發明內容】

[0004]本發明為解決公知技術中存在的技術問題而提供一種測量準確，效率高的磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置。
[0005]本發明為解決公知技術中存在的技術問題所采取的技術方案是:
一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置，其特征在于:包括無磁型材框架、磁鋼托架A、磁鋼托架B、儀器測量臺、磁場測試器，所述磁鋼托架A、磁鋼托架B分別固定在無磁型材框架的兩側，其上配裝有磁鋼，所述儀器測量臺包括有滑塊、連接板，在無磁型材框架的一側設置有滑道，其內配置有所述滑塊，在滑道的一側或兩側設置有刻度B，所述連接板上設置有一水平部和一垂直部，連接板上的水平部固定在所述滑塊的上表面，其上配裝有一呈指針狀的指示片，所述垂直部上設置有托板，其上裝有所述磁場測試器。
[0006]本發明還可以采用如下技術方案:
所述磁場測試器包括有連桿、支撐桿、測試器外殼，所述支撐桿一端與所述連桿鉸接，另一端固定在所述測試器外殼的外表面，所述連桿一端設置有測試探頭、另一端通過彈簧固定在測試器外殼的內部上表面，所述測試器外殼的內部設置有帶刻度A的顯示板。[0007]本發明具有的優點和積極效果為:1、通過將磁鋼放置在磁鋼托架上，不僅能夠實現一個人獨立對磁鋼進行檢測，節省了人力資源，還能夠提高測量的準確度，避免了手動測量帶來的誤差，通過滑塊和滑道的配合，可以實現對磁鋼的每個部分進行精確測量，由于滑道的一側或兩側設置有刻度，可以準確找出需要調試的部位，從而實現邊測量邊調試。2、本發明制造成本低，利于生產實踐中大范圍的推廣應用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本發明的俯視結構示意圖；
圖2是本發明儀器測量臺和無磁型材框架的裝配結構示意圖；
圖3是本發明磁場測試器的結構示意圖。
[0009]圖中:1、滑塊；2、連接板；3、磁鋼；4、滑道；5、無磁型材框架；6、磁鋼托架B ;7、指示片；8、磁鋼托架A ;9、測試探頭；10、連桿；11、磁場測試器；12、測試器外殼；13、托板；14、儀器測量臺；15、 彈簧；16、顯示板；17、刻度A ;18、支撐桿；19、水平部；20、垂直部；21、刻度B0
[0010]
【具體實施方式】
[0011]為能進一步了解本發明的
【發明內容】
、特點及功效，例舉以下實施例，并配合附圖詳細說明如下:
如圖1-3所示，一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置，包括無磁型材框架5、磁鋼托架A8、磁鋼托架B6、儀器測量臺14、磁場測試器11，所述磁鋼托架A8、磁鋼托架B6分別固定在無磁型材框架5的兩側，其上配裝有磁鋼3，所述儀器測量臺14包括有滑塊1、連接板2，在無磁型材框架5的一側設置有滑道4，其內配置有所述滑塊1，在滑道4的一側或兩側設置有刻度B21，所述連接板2上設置有一水平部19和一垂直部20，連接板2上的水平部19固定在滑塊1的上表面，其上配裝有一呈指針狀的指示片7，所述垂直部20上設置有托板13，所述磁場測試器11設置在所述托板13上。所述磁場測試器11包括有連桿10、支撐桿18、測試器外殼12，所述支撐桿18的一端與所述連桿10鉸接，另一端固定在所述測試器外殼12的外表面，所述連桿10的一端設置有測試探頭9、另一端通過彈簧15固定在測試器外殼12的內部上表面，所述測試器外殼12的內部設置有顯示板16，顯示板16上設置有刻度A17。
[0012]本發明的工作原理是:首先將磁鋼3從靶管內取出，表面清潔干凈，然后將磁鋼3的兩端放置在磁鋼托架A8和磁鋼托架B6上，并且有磁的部分朝下，然后將磁場測試器11放置在儀器測量臺14的托板13上，然后沿著滑道4滑動滑塊1，使磁場測試器11顯示出磁鋼3每個部分的磁力強度，然后通過記錄下數據繪制出位移與磁力強度的坐標圖，如果磁鋼出現磁力強度錯誤的情況，操作員可以根據指示片7指示的位置進行調整，調整后可繼續進行測量。
[0013]以上對本發明的一個實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明的實施范圍。凡依本發明申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本發明的專利涵蓋范圍之內。
【權利要求】
1.一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置，其特征在于:包括無磁型材框架(5)、磁鋼托架A (8)、磁鋼托架B (6)、儀器測量臺(14)、磁場測試器(11)，所述磁鋼托架A (8)、磁鋼托架B(6)分別固定在無磁型材框架(5)的兩側，其上配裝有磁鋼(3)，所述儀器測量臺(14)包括有滑塊(1)、連接板(2)，在無磁型材框架(5)的一側設置有滑道(4)，其內配置有所述滑塊(1)，在滑道(4)的一側或兩側設置有刻度B (21)，所述連接板(2)上設置有一水平部(19)和一垂直部(20 )，連接板(2 )上的水平部(19 )固定在滑塊(1)的上表面，其上配裝有一呈指針狀的指示片(7 )，所述垂直部(20 )上設置有托板(13)，其上裝有磁場測試器(11)。
2.根據權利要求1所述的一種磁控濺射鍍膜用磁鋼檢測裝置，其特征在于:所述磁場測試器(11)包括有連桿(10)、支撐桿(18)、測試器外殼(12)，所述支撐桿(18)—端與所述連桿(10)鉸接，另一端固定在所述測試器外殼(12)的外表面，所述連桿(10)—端設置有測試探頭(9)、另一端通過彈簧(15)固定在測試器外殼(12)的內部上表面，所述測試器外殼(12)的內部設置 有帶刻度A (17)的顯示板(16)。
【文檔編號】C23C14/35GK103710671SQ201210372260
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2012年9月29日 優先權日:2012年9月29日
【發明者】王旭升, 王 琦 申請人:中國南玻集團股份有限公司, 天津南玻工程玻璃有限公司, 天津南玻節能玻璃有限公司