專利名稱：蒸發臺用的圓片放置夾具的制作方法
技術領域：
本發明屬于集成電路制造技術領域，是一種圓片背面金屬化工藝用的夾具，具體地說是一種蒸發臺用的圓片放置夾具。
背景技術：
目前，在圓片背面金屬化工藝過程當中，真空蒸發臺所使用的夾具只能裝載與夾具本身尺寸相對應的圓片，在使用的靈活性上受到很大限制。實際操作過程中，當同時有兩種或兩種以上尺寸規格的圓片需要進行背面金屬化時，只能先對其中一種尺寸規格的圓片進行工藝，然后再對另一種尺寸規格的圓片進行工藝，以此類推，通過這樣反復多次的工藝來完成所有的加工需求。這樣多批次的重復性作 業，不僅大大增加了人力、動力等運營成本，對于貴重靶材的重復性消耗，更是對資源的極大浪費。如果可以通過設計一種夾具，在不改變現有設備結構的情況下就能應對上述提及的情況，顯然是非常有好處的。

發明內容
本發明的目的在于克服現有技術中存在的不足，提供一種結構簡單、巧妙、合理的蒸發臺用的圓片放置夾具，該夾具可以柔性裝載不同尺寸的圓片，使用靈活，應用范圍較廣。按照本發明提供的技術方案一種蒸發臺用的圓片放置夾具，包括圓片保護蓋、內沿設置臺階的環狀本體，所述臺階上轉動設置若干個環形手臂，特征在于所述環形手臂包括上臂，上臂上設置有滑槽，緊定螺栓將下臂固定連接于滑槽下端，所述下臂端部設置圓片臺階。作為本發明的進一步改進，所述環狀本體的臺階沿圓周方向均布定位孔，定位栓將環形手臂的上臂固定于臺階的定位孔中，所述定位栓下端部通過定位栓銷子卡緊。作為本發明的進一步改進，所述環形手臂的弧度與環狀本體的弧度相同。作為本發明的進一步改進，所述下臂上設置有螺紋孔，緊定螺栓下端旋緊在螺紋孔中。本發明與現有技術相比，優點在于本發明蒸發臺用的圓片放置夾具在不改變現有設備構造、不增加設備負擔的前提下，為多種尺寸的硅片同時進行背面金屬化工藝，提供了較好的解決辦法，在減少運行成本及貴重靶材消耗的同時，工藝可靠性也能得到保證，可操作性強，本發明結構簡單、巧妙、合理，可以有效裝載不同尺寸規格的圓片。


圖1為本發明的結構示意圖。圖2為本發明的使用狀態結構示意圖。
具體實施例方式下面結合具體附圖和實施例對本發明作進一步說明。如圖1、2所示，包括環狀本體1、臺階2、環形手臂3、上臂4、下臂5、定位栓6、滑槽7、緊定螺栓8、圓片臺階9、定位栓銷子10、圓片保護蓋11、圓片12、定位孔13、螺紋孔14。如圖1、2所示，本發明是一種蒸發臺用的圓片放置夾具，包括圓片保護蓋11、內沿設置臺階2的環狀本體1，所述臺階2上轉動設置若干個環形手臂3，所述環形手臂3包括上臂4，上臂4上設置有滑槽7，緊定螺栓8將下臂5固定連接于滑槽7下端，所述下臂5端部設置圓片臺階9。所述環狀本體I的臺階2沿圓周方向均布定位孔13，定位栓6將環形手臂3的上臂4固定于臺階2的定位孔13中，所述定位栓6下端部通過定位栓銷子10卡緊。
所述環形手臂3的弧度與環狀本體I的弧度相同。所述下臂5上設置有螺紋孔14，緊定螺栓8下端旋緊在螺紋孔14中。如圖1、2所示，將本發明通過行星架上的彈簧片固定后，可以根據不同尺寸規格的圓片12，對該夾具上臂4、下臂5的相對位置作出調整，具體是將環形手臂3向內旋轉90°，根據圓片12的尺寸規格，松開緊定螺栓8，在滑槽7中，拉出下臂5至適當位置后，旋緊緊定螺栓8,插入定位栓6固定環形手臂3,在定位栓6的底部通過定位栓銷子10卡緊，在調整好夾具后，根據將圓片12圖形面朝上放置于環形本體I的圓片臺階9上，蓋上圓片保護蓋11即可。本發明蒸發臺用的圓片放置夾具在不改變現有設備構造、不增加設備負擔的前提下，為多種尺寸的硅片同時進行背面金屬化工藝，提供了較好的解決辦法，在減少運行成本及貴重靶材消耗的同時，工藝可靠性也能得到保證，可操作性強，本發明結構簡單、巧妙、合理，可以有效裝載不同尺寸規格的圓片。
權利要求
1.一種蒸發臺用的圓片放置夾具，包括圓片保護蓋(11)、內沿設置臺階(2)的環狀本體(1)，所述臺階(2)上轉動設置若干個環形手臂(3)，其特征在于所述環形手臂(3)包括上臂(4)，上臂(4)上設置有滑槽(7)，緊定螺栓(8)將下臂(5)固定連接于滑槽(7)下端，所述下臂(5)端部設置圓片臺階(9)。
2.如權利要求1所述的蒸發臺用的圓片放置夾具，其特征在于所述環狀本體(I)的臺階(2)上沿圓周方向均布定位孔(13)，定位栓(6)將環形手臂(3)的上臂(4)固定于臺階(2)的定位孔(13)中,所述定位栓(6)下端部通過定位栓銷子(10)卡緊。
3.如權利要求1所述的蒸發臺用的圓片放置夾具，其特征在于所述環形手臂(3)的弧度與環狀本體(I)的弧度相同。
4.如權利要求1所述的蒸發臺用的圓片放置夾具，其特征在于所述下臂(5)上設置有螺紋孔(14)，緊定螺栓(8)下端旋緊在螺紋孔(14)中。
全文摘要
本發明屬于集成電路制造技術領域，是一種圓片背面金屬化工藝用的夾具，具體地說是一種蒸發臺用的圓片放置夾具，包括內沿設置臺階的環狀本體，所述臺階上轉動設置若干個環形手臂，特征在于所述環形手臂包括上臂，上臂上設置有滑槽，緊定螺栓將下臂固定連接于滑槽下端，所述下臂端部設置圓片臺階。本發明蒸發臺用的圓片放置夾具在不改變現有設備構造、不增加設備負擔的前提下，為多種尺寸的硅片同時進行背面金屬化工藝，提供了較好的解決辦法，在減少運行成本及貴重靶材消耗的同時，工藝可靠性也能得到保證，可操作性強，本發明結構簡單、巧妙、合理，可以有效裝載不同尺寸規格的圓片。
文檔編號C23C14/50GK103014650SQ20121058444
公開日2013年4月3日 申請日期2012年12月28日 優先權日2012年12月28日
發明者李云海, 張順亮, 黃強 申請人:無錫中微高科電子有限公司