專利名稱：拋光墊修整頭和具有該拋光墊修整頭的拋光墊修整器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及化學機械拋光領域，特別涉及ー種拋光墊修整頭和具有該拋光墊修整頭的拋光墊修整器。
背景技術：
化學機械拋光設備中，拋光墊在使用一段時間后，隨著自身的磨損以及磨屑對拋光墊表面微孔的填充，拋光墊表面變得平滑，形成釉化層，使拋光墊存儲、輸送磨料的能力降低，導致材料去除率和拋光表面質量下降。通過修整頭上金剛石盤對拋光墊進行適當的修整，可去除釉化層以及拋光墊上的磨屑，提高拋光墊粗糙度及其使用壽命，降低成本，保證拋光一致性。修整頭帶動金剛石盤下壓與拋光墊接觸，并帶動金剛石盤旋轉，金剛石盤在 與拋光墊接觸并旋轉的過程中對拋光墊進行修整。已有的拋光墊修整頭的自適應性結構較為復雜，產生下壓運動的腔體與自適應結構是分離獨立的，需要增加額外的零件來實現。

實用新型內容本實用新型g在至少解決現有技術中存在的技術問題之ー。為此，本實用新型的ー個目的在于提出一種可以使修正盤與拋光墊完全面面貼合的拋光墊修整頭。本實用新型的另ー個目的在于提出ー種具有所述拋光墊修整頭的拋光墊修整器。為實現上述目的，根據本實用新型的第一方面提出ー種拋光墊修整頭，所述拋光墊修整頭包括環形固定件；導向軸，所述導向軸的上端穿過所述環形固定件，其中所述導線軸內設有第一通氣孔，所述第一通氣孔的第一端和第二端均與外界連通；環形安裝件；柔性環，所述柔性環的內端密封地設在所述環形固定件上且所述柔性環的外端密封地設在所述環形安裝件上；環形彈性盤，所述環形彈性盤的內端密封地設在所述導向軸上且所述環形彈性盤的外端密封地設在所述環形安裝件上，其中所述導向軸、所述環形固定件、所述柔性環、所述環形安裝件和所述環形弾性盤之間限定出密閉腔，所述密閉腔通過所述第一通氣孔與外界連通；和夾持盤，所述夾持盤固定在所述環形安裝件的下表面上且通過球鉸鏈與所述導向軸的下端相連，其中所述球鉸鏈的球部設在所述夾持盤的上表面上且所述球鉸鏈的桿部與所述導向軸的下端相連。在夾持在所述夾持盤的下表面上的修整盤與所述拋光墊接觸后，所述環形彈性盤可以產生彈性變形，從而可以使所述修整盤的下表面與所述拋光墊的表面貼合的更加緊密。根據本實用新型的拋光墊修整頭通過設置所述球鉸鏈，從而在對所述拋光墊進行修整時可以使所述夾持盤和所述修整盤繞所述球鉸鏈的球部滑動，這樣可以使所述修整盤的下表面與拋光墊的表面完全貼合，大大地提高修整效果。換言之，所述拋光墊修整頭通過設置所述球鉸鏈，可以使所述修整盤具有自適應性，從而可以更好地對所述拋光墊進行修整。因此，通過利用根據本實用新型的拋光墊修整頭，可以大大地提高修整效果。[0009]另外，根據本實用新型的拋光墊修整頭還可以具有如下附加的技術特征所述環形固定件為法蘭盤。所述拋光墊修整頭還包括第一環形壓盤和環形防護蓋，其中所述第一環形壓盤壓在所述柔性環的內端上且固定在所述環形固定件上，所述環形防護蓋壓在所述柔性環的外端上且固定在所述環形安裝件上。這樣不僅可以更加容易地將所述柔性環的內端密封地設在所述環形固定件上且將所述柔性環的外端密封地設在所述環形安裝件上，而且可以大大地提高所述柔性環的內端與所述環形固定件之間的密封性以及所述柔性環的外端與所述環形安裝件之間的密封性。 所述拋光墊修整頭還包括第一密封圈，所述第一密封圈設在所述環形防護蓋與所述環形安裝件之間且位于所述柔性環的外端的外側。通過設置所述第一密封圈，可以進ー步地提高所述密閉腔的密封性。所述環形弾性盤為碟形件，這樣可以使所述環形彈性盤具有更大的弾性。所述拋光墊修整頭還包括第二環形壓盤，所述第二環形壓盤壓在所述環形彈性盤的外端上且固定在所述環形安裝件上。這樣不僅可以更加容易地將所述環形彈性盤的外端密封地設在所述環形安裝件上，而且可以大大地提高所述環形彈性盤的外端與所述環形安裝件之間的密封性。所述導向軸的下表面上設有螺紋孔，所述桿部設有外螺紋，其中所述桿部螺紋配合在所述螺紋孔內。這樣可以容易地、穩定地將所述桿部與所述導向軸的下端相連。所述環形彈性盤的內端密封地設在所述導向軸的下表面上，所述球部包括彼此相連的圓柱段和球頭，所述桿部設在所述圓柱段上且所述球頭設在所述夾持盤的上表面上，其中所述螺紋孔的長度與所述桿部的長度適配以便所述圓柱段壓在所述環形彈性盤的內端上。這樣不僅可以更加容易地將所述環形彈性盤的內端密封地設在所述導向軸的下表面上，而且可以大大地提高所述環形彈性盤的內端與所述導向軸的下表面之間的密封性。所述環形弾性盤為塑料件或金屬件，所述拋光墊修整頭還包括第二和第三密封圈，其中所述第二密封圈設在所述環形彈性盤的內端與所述導向軸的下表面之間，所述第三密封圈設在所述環形彈性盤的外端與所述環形安裝件的下表面之間。通過設置所述第二密封圈和所述第三密封圈，可以進ー步地提高所述密閉腔的密封性。根據本實用新型的第二方面提出ー種拋光墊修整器，所述拋光墊修整器包括拋光墊修整頭，所述拋光墊修整頭為根據本實用新型第一方面所述的拋光墊修整頭；和修整頭驅動件，所述修整頭驅動件包括驅動軸，所述驅動軸內設有第二通氣孔且所述第二通氣孔的第二端和第三端均與外界連通，其中所述驅動軸與所述拋光墊修整頭的環形固定件相連以驅動所述拋光墊修整頭旋轉，所述拋光墊修整頭的導向軸可上下移動地設在所述第二通氣孔內，所述導向軸的第一通氣孔與所述第二通氣孔相連通。根據本實用新型的拋光墊修整器通過設置根據本實用新型第一方面所述的拋光墊修整頭，從而可以大大地提高修整效果。本實用新型的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

[0021]本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖I是根據本實用新型實施例的拋光墊修整器的結構示意圖；圖2是根據本實用新型實施例的拋光墊修整器的局部爆炸圖；圖3是根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭的柔性環的結構示意圖；圖4是根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭的柔性環的剖視圖；圖5是根據本實用新型的一個實施例的拋光墊修整頭的環形彈性盤的剖視圖；圖6是根據本實用新型的一個實施例的拋光墊修整頭的環形彈性盤的俯視圖；圖7是根據本實用新型的另ー個實施例的拋光墊修整頭的環形彈性盤的剖視圖；和圖8是根據本實用新型的另ー個實施例的拋光墊修整頭的環形彈性盤的俯視圖。
具體實施方式
下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附
圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，除非另有規定和限定，需要說明的是，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是機械連接或電連接，也可以是兩個元件內部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語的具體含義。下面參照圖1-5描述根據本實用新型實施例的拋光墊修整器I。如圖1-5所示，根據本實用新型實施例的拋光墊修整器I包括拋光墊修整頭10和修整頭驅動件20。首先參照圖1-5描述根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭10。如圖1-5所示，根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭10包括環形固定件100、導向軸200、環形安裝件300、柔性環400、環形彈性盤500和夾持盤700。導向軸200的上端穿過環形固定件100 (其中上下方向A如圖I和圖2中的箭頭方向所不)，其中導向軸200內設有第一通氣孔210,第一通氣孔210的第一端211和第二端212均與外界連通。柔性環400的內端410密封地設在環形固定件100上且柔性環400的外端420密封地設在環形安裝件300上。環形彈性盤500的內端510密封地設在導向軸200上且環形彈性盤500的外端520密封地設在環形安裝件300上，其中導向軸200、環形固定件100、柔性環400、環形安裝件300和環形彈性盤500之間限定出密閉腔600，密閉腔600通過第一通氣孔210與外界連通。夾持盤700固定在環形安裝件300的下表面上且通過球鉸鏈800與導向軸200的下端相連，其中球鉸鏈800的球部810設在夾持盤700的上表面上且球鉸鏈800的桿部820與導向軸200的下端相連。修整頭驅動件20包括驅動軸21，驅動軸21內設有第二通氣孔22，第二通氣孔22的第一端(第二通氣孔22的上端)和第二通氣孔22的第二端(第二通氣孔22的下端)均與外界連通。其中，驅動軸21與拋光墊修整頭10的環形固定件100相連以驅動拋光墊修整頭10旋轉，拋光墊修整頭10的導向軸200可上下移動地設在第二通氣孔22內，導向軸200的第一通氣孔210與第二通氣孔22相連通。夾持盤700可以將用于對拋光墊進行修整的修整盤1500 (例如金剛石盤)夾持在其下表面上。換言之，修整盤1500可以設在夾持盤700的下表面上。下面參照圖I和圖2描述利用根據本實用新型實施例的拋光墊修整器I對拋光墊進行修整的過程。依次通過第二通氣孔22和第一通氣孔210向密閉腔600 (密閉腔600是相對密閉，密閉腔600可以通過第一通氣孔210與外界連通)內通入氣體，導向軸200、環形 安裝件300、環形彈性盤500、夾持盤700、球鉸鏈800和夾持在夾持盤700的下表面上的修整盤1500可以一起向下運動，直至修整盤1500與拋光墊相接觸。隨后可以通過驅動軸21驅動拋光墊修整頭10和修整盤1500旋轉(通過柔性環400傳遞扭矩)以便對所述拋光墊進行修整。也可以先通過驅動軸21驅動拋光墊修整頭10和修整盤1500旋轉，再使修整盤1500向下運動直至與拋光墊相接觸以便對所述拋光墊進行修整。對所述拋光墊修整完畢后，可以通過第二通氣孔22和第一通氣孔210對密閉腔600進行抽真空，導向軸200、環形安裝件300、環形彈性盤500、夾持盤700、球鉸鏈800和修整盤1500可以一起向上運動以便脫離所述拋光墊。在夾持在夾持盤700的下表面上的修整盤1500與所述拋光墊接觸后，環形彈性盤500可以產生彈性變形，從而可以使修整盤1500的下表面與所述拋光墊的表面貼合的更加緊密。根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭10通過設置球鉸鏈800，從而在對所述拋光墊進行修整時可以使夾持盤700和修整盤1500繞球鉸鏈800的球部810滑動，這樣可以使修整盤1500的下表面與拋光墊的表面完全貼合，大大地提高修整效果。換言之，拋光墊修整頭10通過設置球鉸鏈800，可以使修整盤1500具有自適應性，從而可以更好地對所述拋光墊進行修整。因此，通過利用根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭10，可以大大地提高修整效果。其中，可以通過控制正壓壓カ使修整盤1500與所述拋光墊的接觸時修整盤1500的下壓カ可線性變化。即根據需要調整正壓壓カ大小來獲得不同的修整盤1500下壓力，從而滿足不同的拋光墊以及同種拋光墊不同的修整エ藝要求。根據本實用新型實施例的拋光墊修整器I通過設置拋光墊修整頭10，從而可以大大地提高修整效果。如圖3和圖4所示，在本實用新型的一個示例中，柔性環400的內端410和外端420都可以是平板狀以便柔性環400的內端410和環形固定件100之間以及柔性環400的外端420和環形安裝件300之間更好地密封。柔性環400的內端410和柔性環400的外端420可以通過彎曲過渡部430相連。如圖I所示，在本實用新型的一些實施例中，拋光墊修整頭10還可以包括第一環形壓盤900，第一環形壓盤900可以壓在柔性環400的內端410上，且第一環形壓盤900可以固定在環形固定件100上。換言之，第一環形壓盤900可以固定在環形固定件100上，且柔性環400的內端410可以位于第一環形壓盤900和環形固定件100之間以便通過第一環形壓盤900將柔性環400的內端410密封地設在環形固定件100上(即氣體不會從柔性環400的內端410與環形固定件100之間通過)。通過利用第一環形壓盤900將柔性環400的內端410壓固在環形固定件100上，不僅可以更加容易地將柔性環400的內端410密封地設在環形固定件100上，而且可以大大地提高柔性環400的內端410與環形固定件100之間的密封性。在本實用新型的一個實施例中，如圖I所示，拋光墊修整頭10還可以包括環形防護蓋1000，環形防護蓋1000可以壓在柔性環400的外端420上，且環形防護蓋1000可以固定在環形安裝件300上。換言之，環形防護蓋1000可以固定在環形安裝件300上，且柔性環400的外端420可以位于環形防護蓋1000和環形安裝件300之間以便通過環形防護 蓋1000將柔性環400的外端420密封地設在環形安裝件300上(即氣體不會從柔性環400的外端420與環形安裝件300之間通過)。通過利用環形防護蓋1000將柔性環400的外端420壓固在環形安裝件300上，不僅可以更加容易地將柔性環400的外端420密封地設在環形安裝件300上，而且可以大大地提高柔性環400的外端420與環形安裝件300之間的密封性。此外，通過設置環形防護蓋1000，還可以對柔性環400起到保護作用。有利地，環形固定件100可以是法蘭盤。柔性環400的內端410可以密封地設在環形固定件100的下表面上，且第一環形壓盤900可以通過螺釘固定在環形固定件100的下表面上。柔性環400的外端420可以密封地設在環形安裝件300的上表面上，且環形防護蓋1000可以通過螺釘固定在環形安裝件300的上表面上。具體地，柔性環400的內端410、柔性環400的外端420、第一環形壓盤900、環形防護蓋1000和環形安裝件300都可以是圓環形。如圖I所示，在本實用新型的ー個具體示例中，拋光墊修整頭10還可以包括第一密封圈1100，第一密封圈1100可以設在環形防護蓋1000與環形安裝件300之間，且第一密封圈1100可以位于柔性環400的外端420的外側。換言之，柔性環400可以設在第一密封圈1100的內側。通過設置第一密封圈1100，可以進ー步地提高密閉腔600的密封性。具體地，如圖I所示，第一通氣孔210可以包括相連通的豎直部213和水平部214。換言之，水平部214可以沿導向軸200的徑向延伸。水平部214可以是多個，且每個水平部214都可以沿導向軸200的徑向延伸且都可以與豎直部213連通。第二通氣孔22內可以設有臺階部30。換言之，第二通氣孔22可以包括圓柱形的上端和圓柱形的下端，其中所述下端的直徑可以大于所述上端的直徑，且導向軸200可以可上下移動地設在所述下端內。拋光墊修整器I可以具有限位結構。修整盤1500向下運動時，環形防護蓋1000的斜邊1010可以與環形固定件100的軸肩斜邊110貼合，從而形成下限位點。修整盤1500向上運動時，導向軸200的上端面可以與第二通氣孔22內的臺階部30相貼合(即導向軸200的上端面可以與所述下端的上端面相貼合)，從而形成上限位點。這樣可以將導向軸200、環形彈性盤500、環形安裝件300、夾持盤700和修整盤1500的上下運動限定在預定范圍內。在本實用新型的一些示例中，如圖5-8所示，環形彈性盤500可以是碟形件，這樣可以使環形彈性盤500具有更大的弾性。換言之，環形彈性盤500的內端510(即環形弾性盤500的下端)可以是圓環形且環形彈性盤500的外端520 (即環形彈性盤500的上端)也可以是圓環形，環形彈性盤500的內端510與環形彈性盤500的外端520之間可以通過過渡部530相連。 在本實用新型的一個示例中，環形彈性盤500可以由橡膠制成(如圖5和圖6所示，即環形彈性盤500可以是橡膠件)，例如環形彈性盤500可以由氟橡膠、硅膠、氯丁橡膠和聚氨酯橡膠中的ー種制成。其中，如圖5和圖6所示，環形彈性盤500的外端520的上表面上可以設有第一圓環形凸起521，環形彈性盤500的內端510的上表面上可以設有第二圓環形凸起511，其中第一圓環形凸起521可以與環形安裝件300接觸，第二圓環形凸起511可以與導向軸200之間接觸。在本實用新型的另ー個示例中，環形彈性盤500可以由塑料或金屬(例如不銹鋼)制成(如圖7和圖8所示)，即環形彈性盤500可以是塑料件或金屬件。其中，如圖7和圖 8所示，環形彈性盤500的內端510和外端520都可以是平板狀。如圖I和圖2所示，在本實用新型的一些實施例中，拋光墊修整頭10還可以包括第二環形壓盤1200，第二環形壓盤1200可以壓在環形彈性盤500的外端520上，且第二環形壓盤1200可以固定在環形安裝件300上。換言之，第二環形壓盤1200可以固定在環形安裝件300上，且環形彈性盤500的外端520可以位于第二環形壓盤1200和環形安裝件300之間以便通過第二環形壓盤1200將環形彈性盤500的外端520密封地設在環形安裝件300上(即氣體不會從環形彈性盤500的外端520與環形安裝件300之間通過)。通過利用第ニ環形壓盤1200將環形彈性盤500的外端520壓固在環形安裝件300上，不僅可以更加容易地將環形彈性盤500的外端520密封地設在環形安裝件300上，而且可以大大地提高環形彈性盤500的外端520與環形安裝件300之間的密封性。在本實用新型的一些示例中，如圖2所示，導向軸200的下表面上可以設有螺紋孔220，桿部820可以設有外螺紋，其中桿部820可以螺紋配合在螺紋孔220內。這樣可以容易地、穩定地將桿部820與導向軸200的下端相連。如圖2所示，在本實用新型的ー個具體示例中，環形彈性盤500的內端510可以密封地設在導向軸200的下表面上，球部810可以包括彼此相連的圓柱段811和球頭812，桿部820可以設在圓柱段811上且球頭812可以設在夾持盤700的上表面上。具體地，夾持盤700的上表面上可以設有球窩710，球頭812可以容納在球窩710內。球頭812可以是圓球體的一部分。其中，螺紋孔220的長度可以與桿部820的長度適配以便圓柱段811可以壓在環形彈性盤500的內端510上。換言之，螺紋孔220的長度可以大于或等于桿部820的長度，在桿部820螺紋配合在螺紋孔220內后，環形彈性盤500的內端510可以位于導向軸200的下表面和圓柱段811的上表面之間，且圓柱段811可以將環形彈性盤500的內端510壓固在導向軸200的下表面上。這樣不僅可以更加容易地將環形彈性盤500的內端510密封地設在導向軸200的下表面上，而且可以大大地提高環形彈性盤500的內端510與導向軸200的下表面之間的密封性。在本實用新型的一個示例中，如圖I所示，拋光墊修整頭10還可以包括第二密封圈1300和第三密封圈1400，第二密封圈1300可以設在環形彈性盤500的內端510與導向軸200的下表面之間，第三密封圈1400封圈可以設在環形彈性盤500的外端520與環形安裝件300的下表面之間。通過設置第二密封圈1300和第三密封圈1400，可以進ー步地提高密閉腔600的密封性(尤其是環形彈性盤500為塑料件或金屬件時)。如圖I所示，在本實用新型的一些實施例中，驅動軸21可以通過軸承23可旋轉地安裝在軸承座24內。軸承座24的上端可以安裝有軸承端蓋25，軸承端蓋25用于將軸承23固定在軸承座24內。例如驅動軸21可以通過兩組軸承23軸向定位(其中軸向方向與上下方向A —致)，從而避免驅動軸21軸向串動，在兩組軸 承23之間可以設置套筒26，由此兩組軸承23可以通過軸承端蓋25和套筒26固定在軸承座24內，其中驅動軸21的上端從軸承端蓋25延伸出，驅動軸21的下端從軸承座24的下端延伸出。驅動軸21的上端安裝有同步帶輪2 7，驅動軸21的上端部可以通過螺釘與同步帶輪27固定連接，同步帶輪27可以通過皮帶與驅動裝置(圖中未示出)相連，由此可以驅動驅動軸21旋轉。第二通氣孔22的第一端(第二通氣孔22的上端)處安裝有旋轉接頭28，由此，旋轉接頭28可以與氣源(圖中未示出)或抽真空裝置(圖中未示出，例如真空泵)相連，由此在驅動軸21旋轉期間可以通過第二通氣孔22和第一通氣孔210對密閉腔600抽真空或供給氣體。驅動軸21與軸承座24之間可以通過迷宮密封和氣封進行密封。例如，氣體可以通過快換接頭29進入軸承座24的腔內，部分氣體可以從驅動軸21與軸承座24之間的間隙吹出以便形成氣封，從而可以避免在修整過程中有液體進入軸承座24的腔內。通過利用根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭10，可以大大地提高修整效果。在本說明書的描述中，參考術語“ー個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“ー些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本實用新型的至少ー個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，本領域的普通技術人員可以理解在不脫離本實用新型的原理和宗g的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由權利要求及其等同物限定。
權利要求1.一種拋光墊修整頭，其特征在于，包括 環形固定件； 導向軸，所述導向軸的上端穿過所述環形固定件，其中所述導線軸內設有第一通氣孔，所述第一通氣孔的第一端和第二端均與外界連通； 環形安裝件； 柔性環，所述柔性環的內端密封地設在所述環形固定件上且所述柔性環的外端密封地設在所述環形安裝件上； 環形彈性盤，所述環形彈性盤的內端密封地設在所述導向軸上且所述環形彈性盤的外端密封地設在所述環形安裝件上，其中所述導向軸、所述環形固定件、所述柔性環、所述環形安裝件和所述環形弾性盤之間限定出密閉腔，所述密閉腔通過所述第一通氣孔與外界連通；和 夾持盤，所述夾持盤固定在所述環形安裝件的下表面上且通過球鉸鏈與所述導向軸的下端相連，其中所述球鉸鏈的球部設在所述夾持盤的上表面上且所述球鉸鏈的桿部與所述導向軸的下端相連。
2.根據權利要求I所述的拋光墊修整頭，其特征在于，所述環形固定件為法蘭盤。
3.根據權利要求I所述的拋光墊修整頭，其特征在于，還包括第一環形壓盤和環形防護蓋，其中所述第一環形壓盤壓在所述柔性環的內端上且固定在所述環形固定件上，所述環形防護蓋壓在所述柔性環的外端上且固定在所述環形安裝件上。
4.根據權利要求3所述的拋光墊修整頭，其特征在于，還包括第一密封圈，所述第一密封圈設在所述環形防護蓋與所述環形安裝件之間且位于所述柔性環的外端的外側。
5.根據權利要求I所述的拋光墊修整頭，其特征在于，所述環形弾性盤為碟形件。
6.根據權利要求5所述的拋光墊修整頭，其特征在于，還包括第二環形壓盤，所述第二環形壓盤壓在所述環形彈性盤的外端上且固定在所述環形安裝件上。
7.根據權利要求6所述的拋光墊修整頭，其特征在于，所述導向軸的下表面上設有螺紋孔，所述桿部設有外螺紋，其中所述桿部螺紋配合在所述螺紋孔內。
8.根據權利要求7所述的拋光墊修整頭，其特征在于，所述環形彈性盤的內端密封地設在所述導向軸的下表面上，所述球部包括彼此相連的圓柱段和球頭，所述桿部設在所述圓柱段上且所述球頭設在所述夾持盤的上表面上，其中所述螺紋孔的長度與所述桿部的長度適配以便所述圓柱段壓在所述環形彈性盤的內端上。
9.根據權利要求8所述的拋光墊修整頭，其特征在于，所述環形弾性盤為塑料件或金屬件，所述拋光墊修整頭還包括第二和第三密封圈，其中所述第二密封圈設在所述環形彈性盤的內端與所述導向軸的下表面之間，所述第三密封圈設在所述環形彈性盤的外端與所述環形安裝件的下表面之間。
10.ー種拋光墊修整器，其特征在于，包括 拋光墊修整頭，所述拋光墊修整頭為根據權利要求1-9中任一項所述的拋光墊修整頭;和 修整頭驅動件，所述修整頭驅動件包括驅動軸，所述驅動軸內設有第二通氣孔且所述第二通氣孔的第一端和第二端均與外界連通，其中所述驅動軸與所述拋光墊修整頭的環形固定件相連以驅動所述拋光墊修整頭旋轉，所述拋光墊修整頭的導向軸可上下移動地設在所述第二通氣孔內，所述導向軸的第一通氣孔 與所述第二通氣孔相連通。
專利摘要本實用新型公開了一種拋光墊修整頭和具有該拋光墊修整頭的拋光墊修整器。所述拋光墊修整頭包括環形固定件；導向軸，導向軸的上端穿過環形固定件，其中導線軸內設有第一通氣孔，第一通氣孔的第一端和第二端均與外界連通；環形安裝件；柔性環，柔性環的內端密封地設在環形固定件上且柔性環的外端密封地設在環形安裝件上；環形彈性盤，環形彈性盤的內端密封地設在導向軸上且環形彈性盤的外端密封地設在環形安裝件上；和夾持盤，夾持盤固定在環形安裝件的下表面上且通過球鉸鏈與導向軸的下端相連，其中球鉸鏈的球部設在夾持盤的上表面上且球鉸鏈的桿部與導向軸的下端相連。通過利用根據本實用新型實施例的拋光墊修整頭，可以大大地提高修整效果。
文檔編號B24B53/017GK202479968SQ20122005990
公開日2012年10月10日 申請日期2012年2月21日 優先權日2012年2月21日
發明者何永勇, 沈攀, 路新春 申請人:清華大學