專利名稱：一種自動上下料pecvd石墨舟保護系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池制造自動化設備領域，尤其涉及一種自動上下料PECVD石墨舟保護系統。
背景技術：
太陽能電池作為可再生的環保能源已經越來越受到人們的關注，與其相關的生產工藝及生產設備也得到了迅猛的發展。一直以來，傳統的PECVD(Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition),即等離子體增強化學氣相沉積法一般都是手工將石墨舟放在SIC槳上，通過SIC槳將石墨舟放到石英管里面，當SIC槳放好石墨舟退出石英管后，以前的PECVD就是判斷推舟板(SIC槳)到位后，就會關閉爐門，由于SIC槳在石英管的下降空間很小，且由于SIC槳前部微翹(前部微翹是為了使石墨舟放上后水平)，當SIC槳下降然后退出石英管時，SIC槳前面的橫梁有可能掛出石墨舟，如果只判斷推舟板(SIC槳)到 位就關爐門，石墨舟則很可能被爐門損壞，因此亟待開發一種實現自動上下料PECVD的石墨舟保護系統。

實用新型內容為了解決上述技術問題，本實用新型旨在提供一種用于自動上下料PECVD的石墨舟保護系統，保護石墨舟被SIC槳誤掛出而不被損壞。為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是一種自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其結構特點是，包括光纖發光探頭固定板和光纖感光探頭固定板，所述光纖發光探頭固定板上裝有光纖傳感器發光探頭，所述光纖感光探頭固定板上裝有光纖傳感器感光探頭；所述光纖傳感器發光探頭和光纖傳感器感光探頭分別通過信號傳輸線與一光纖傳感器放大器相連。進一步地，所述光纖傳感器放大器包括用于切換發光模式和感光模式的放大器工作模式切換開關，調節光強強弱的放大器光強設置開關，以及顯示光強亮度值的放大器光強顯示界面。所述光纖傳感器傳放大器操作簡單，設置方便，有兩種工作模式可以選擇，數值顯示測量值，指示燈顯示狀態。所述光纖傳感器放大器上還設有顯示傳感器是否工作的放大器指示燈。所述光纖傳感器放大器上設有與光纖傳感器發光探頭相連的放大器發光探頭插入口和與光纖傳感器感光探頭相連的放大器感光探頭插入口。所述光纖發光探頭固定板開有用于固定光纖傳感器發光探頭的光纖傳感器發光探頭固定腰孔，為了方便調節光纖傳感器發光探頭；設計小巧，便于安裝在爐口等空間狹小的地方；所述光纖感光探頭固定板開有用于固定光纖傳感器感光探頭的光纖傳感器感光探頭固定腰孔，為了方便調節光纖傳感器感光探頭，設計半工字型，便于安裝在爐口等空間狹小的地方。所述光纖發光探頭固定板上裝有發光探頭安裝板，該發光探頭安裝板安裝在爐口位置。所述光纖感光探頭固定板安裝在爐ロ位置。所述光纖傳感器發光探頭和光纖傳感器感光探頭均為光纖材質制成，可以耐350 V高溫，且對表面被鍍上了 ー層減反射保護膜的石墨舟可以產生作用，發光探頭和感光探頭為對射安裝傳感器，但允許安裝容差很大，非常便于狹小空間的安裝。藉由上述結構，所述用于自動上下料PECVD石墨舟保護系統，包括光纖發光頭固定板、發光頭安裝板、光纖感光頭固定板、光纖傳感器發光探頭、光纖傳感器感光探頭、傳感器放大器，其特征是光纖發光頭固定板開設有光纖傳感器發光探頭固定孔，該孔為腰孔，便于光纖傳感器發光探頭和感光探頭對射光信號強度可調，所述的發光探頭安裝板是光纖發光探頭固定板的安裝板，便于將光纖發光探頭固定板固定在爐ロ附近安裝，所述的光纖感光探頭固定板為安裝光纖傳感器感光探頭板，開設有固定腰孔，可以調節感光器感應光強的大小。所述的光纖傳感器發光探頭、光纖傳感器感光探頭、傳感器放大器為石墨舟被SIC槳掛出的保護傳感器部分。當SIC槳放好石墨舟退出爐管后，除了判斷推舟板(帶動SIC槳)上的光電傳感器是否動作外，還需要判斷安裝在爐ロ的高溫光纖傳感器是否動作，只有這兩個傳感器都動作后，才關閉爐門，杜絕石墨舟被誤傷的風險。本實用新型考慮到爐ロ附近安裝空間和附近的高溫環境，及必須是對表面被鍍上了ー層減反射保護膜的石墨舟可以產生作用的特點，設計了一種既小巧，又能夠耐高溫的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，杜絕了石墨舟可能被爐門砸壞的風險，提高了自動上下料PECVD可靠程度。

圖I為本實用新型一種實施例的結構原理示意圖。在圖中1-光纖發光探頭固定板； 2-發光探頭安裝板；3-光纖感光探頭固定板； 4-光纖傳感器發光探頭；5-光纖傳感器感光探頭； 6-光纖傳感器發光探頭固定腰孔；7-光纖傳感器感光探頭固定腰孔； 8-光纖傳感器放大器；9-放大器發光探頭插入ロ ；10-放大器感光探頭插入ロ ；11-放大器工作模式切換開關；12-放大器光強設置開關；13-放大器光強顯示界面；14-放大器指示燈。
具體實施方式
以下結合附圖詳細說明本實用新型的實施例。需要說明的是附圖序號只表示本實用新型的主要零部件，其它沒有一一例出。—種自動上下料PECV石墨舟保護系統，如圖I所示，主要由光纖發光探頭固定板1、發光探頭安裝板2、光纖感光探頭固定板3、光纖傳感器發光探頭4、光纖傳感器感光探頭
5、光纖傳感器放大器8組成。[0028]為了安裝方便和節省空間，設計了很小巧的光纖傳感器固定塊，光纖發光探頭固定板I和光纖感光探頭固定板3，光纖發光探頭固定板I上開了光纖傳感器發光探頭固定腰孔6，光纖感光探頭固定板3上開了光纖傳感器感光探頭固定腰孔7，便于調節傳感器動作靈敏度。為了固定光纖發光探頭固定板I在爐口，設計了發光探頭安裝板2。在光纖發光探頭固定板I上安裝一個型號為E32-T61-S的高溫光纖傳感器發光探 頭，在光纖感光探頭固定板3上安裝高溫光纖傳感器感光探頭，考慮到爐口位置的溫度很高，且安裝方便，另外石墨舟表面被鍍上了一層減反射保護膜，傳感器對光線的要求很高，普通的光電傳感器對這種減反射保護膜不反應，因此在這兒特意選擇了歐姆龍公司的高溫光纖傳感器E32-T61-S,光纖部分可以耐受350°C的高溫,光纖探頭米樣信號很弱，通過光纖傳感器放大器8放大信號，光纖傳感器放大器型號為E3X-DA-S，放大器可以工作在兩種模式，一種是入光時傳感器動作，一種是遮光時傳感器動作，兩種工作模式可以通過放大器工作模式切換開關11切換，新型設計的自動上下料PECVD石墨舟保護系統的放大器工作模式為遮光時傳感器動作，并且通過放大器光強設置開關12可以任意調整光強的動作設置值，光強的測量值通過放大器光強顯示界面13顯示，當放大器供電后放大器指示燈14的綠燈變亮，當傳感器動作時，放大器指示燈14的紅燈變亮。考慮到爐口安裝很困難，因此機械安裝很難達到很精確，因此選擇的光纖傳感器的光纖探頭安裝允許容差大，不一定要對的很準，避免由于傳感器安裝不到位引起的誤動作。放大器采用遮光時傳感器動作，如果SIC槳退出時沒有掛舟，石墨舟沒有遮擋傳感器發光探頭的光束，感光探頭無光強狀態變化，因此放大器不會動作，設備會繼續自動工作，當SIC槳退出時有掛舟，石墨舟就會遮擋傳感器發光探頭的光束，感光探頭就會有光強狀態變化，放大器就會動作，同時放大器動作指示紅燈就會變亮，提示機器有石墨舟被掛出，停止設備自動工作，保證石墨舟不會被爐門砸壞。以上所述僅為本實用新型的實施例，并非用于限定本實用新型的保護范圍，而是用于說明本實用新型。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.I. ー種自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，包括光纖發光探頭固定板(I)和光纖感光探頭固定板(3)，所述光纖發光探頭固定板(I)上裝有光纖傳感器發光探頭(4)，所述光纖感光探頭固定板(3)上裝有光纖傳感器感光探頭(5);所述光纖傳感器發光探頭(4)和光纖傳感器感光探頭(5)分別通過信號傳輸線與一光纖傳感器放大器(8)相連。
2.根據權利要求I所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖傳感器放大器(8)包括用于切換發光模式和感光模式的放大器工作模式切換開關(11)，調節光強強弱的放大器光強設置開關(12)，以及顯示光強亮度值的放大器光強顯示界面(13)。
3.根據權利要求2所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖傳感器放大器(8 )上還設有顯示傳感器是否工作的放大器指示燈(14 )。
4.根據權利要求2所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖傳感器放大器(8)上設有與光纖傳感器發光探頭(4)相連的放大器發光探頭插入口(9)和與光纖傳感器感光探頭(5)相連的放大器感光探頭插入口(10)。
5.根據權利要求廣4之一所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖發光探頭固定板(I)開有用于固定光纖傳感器發光探頭(4)的光纖傳感器發光探頭固定腰孔(6);所述光纖感光探頭固定板(3)開有用于固定光纖傳感器感光探頭(5)的光纖傳感器感光探頭固定腰孔(7)。
6.根據權利要求廣4之一所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖發光探頭固定板(I)上裝有發光探頭安裝板(2)，該發光探頭安裝板(2)安裝在爐ロ位置。
7.根據權利要求廣4之一所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖感光探頭固定板(3)安裝在爐ロ位置。
8.根據權利要求廣4之一所述的自動上下料PECVD石墨舟保護系統，其特征是，所述光纖傳感器發光探頭(4)和光纖傳感器感光探頭(5)均為光纖材質制成。
專利摘要本實用新型公開了一種自動上下料PECVD石墨舟保護系統，為了防止石墨舟被爐門損壞，本實用新型包括光纖發光探頭固定板和光纖感光探頭固定板，所述光纖發光探頭固定板上裝有光纖傳感器發光探頭，所述光纖感光探頭固定板上裝有光纖傳感器感光探頭；所述光纖傳感器發光探頭和光纖傳感器感光探頭分別通過信號傳輸線與一光纖傳感器放大器相連。本實用新型保護了貴重件石墨舟，提高了自動上下料PECVD可靠程度。
文檔編號C23C16/44GK202658228SQ20122017211
公開日2013年1月9日 申請日期2012年4月21日 優先權日2012年4月21日
發明者金則軍, 胡振東, 易文杰 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所