專利名稱：一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，屬于工業自動化領域。
背景技術：
離子濺射機是工業生產中重要的機器之一，特別是在信息化的今天，平面型玻璃表面蒸鍍光學薄膜離不開離子濺射機。然而圓柱狀光纖側面也需要像平面型玻璃表面一樣蒸鍍光學薄膜從而應用于工業領域。本實用新型設計的真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置將適用于光纖側面鍍膜，為光纖鍍膜和生產創造了前所未有的便捷。
發明內容本實用新型的目的在于提供一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，光纖側面如圓 柱狀光纖側面可以通過真空離子濺射裝置蒸鍍光學薄膜。真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置具有自動、快捷、方便和均勻等特點。本實用新型通過以下技術方案來實現一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于由固定套管(I)、泵(2)、閥門
(3)、真空室(4)、鈀合金靶(5)、加熱棒(11)、離子引出器(6)、光纖(7)、不銹鋼管(8)、轉輪
(9)、電機(10)和底座(12)組成；光纖(7)從固定套管(I)穿入進入不銹鋼針管(8)中，從不銹鋼針管(8)穿出的光纖(7)纏繞在電機(10)上方的轉輪(9)上，使鈀合金鈀(5)被加熱棒加熱并被蒸發，被蒸發鈀合金離子可沉積在旋轉的光纖(7)上，在光纖表面形成鈀合金膜層，多余的靶合金離子被離子引出器(6)引出裝置。所述的一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于固定套管(I)的長度變化范圍為10-50cm ;電機轉速為0-60rpm可調。所述的一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于被鈀合金鍍膜光纖的種類為單模光纖或者多模光纖或者光子晶體光纖。所述的的一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于光纖被鍍膜的長度范圍根據固定套管(I)的長度范圍可調，鍍膜長度范圍為10cm-200cm。本實用新型的原理為在真空條件下，由固定套管⑴、泵(2)、閥門(3)、真空室
(4)、鈀合金靶(5)、加熱棒(11)、離子引出器(6)、光纖(7)、不銹鋼管(8)、轉輪(9)、電機和底座(12)組成；光纖(7)從固定套管(I)穿入進入不銹鋼針管(8)中，從不銹鋼針管(8)穿出的光纖(7)纏繞在電機(10)上方的轉輪(9)上，使鈀合金鈀(5)被加熱棒加熱并被蒸發，被蒸發鈀合金離子可沉積在旋轉的光纖(7)上，在光纖表面形成鈀合金膜層，多余的靶合金離子被離子引出器(6)引出裝置。本實用新型的有益效果是光纖側面可以通過離子濺射鍍膜蒸鍍光學薄膜，具有精密、自動、均勻、快捷和方便等特點。

[0011]圖I為一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置示意圖。
具體實施方式
如圖I所示，一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征是由固定套管(I)、泵
(2)、閥門(3)、真空室(4)、鈀合金靶(5)、加熱棒(11)、離子引出器(6)、光纖(7)、不銹鋼管
(8)、轉輪(9)、電機(10)和底座(12)組成；光纖(7)從固定套管(I)穿入進入不銹鋼針管
(8)中，從不銹鋼針管(8)穿出的光纖(7)纏繞在電機(10)上方的轉輪(9)上，使鈀合金鈀
(5)被加熱棒加熱并被蒸發，被蒸發鈕合金離子可沉積在旋轉的光纖(7)上,在光纖表面形成鈀合金膜層，多余的靶合金離子被離子引出器(6)引出裝置。光纖(7)從一固定套管(I)穿入進入一不銹鋼針管(8)中，從不銹鋼針管(8)穿 出的光纖(7)纏繞在電機軸(10)上方的轉輪(9)上，轉輪(9)帶動光纖(7)與電機軸緊密配合且一起運轉。電機轉速為40rpm可調，同時可耐300°C高溫，固定套管(I) 口徑為5cm，固定套管(I)的長度為30cm，鍍膜長度為100cm。在真空室(4)中，利用氣體放電使鈀合金靶(5)蒸發并使被蒸發物質與氣體都發生電離，使被蒸發物質及其反應產物沉積在旋轉的光纖(7)上，同時利用離子引出器(6)將多余的離子排除容器外。
權利要求1.一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于由固定套管(I)、泵(2)、閥門(3)、真空室(4)、鈀合金靶(5)、加熱棒(11)、離子引出器(6)、光纖(7)、不銹鋼管(8)、轉輪(9)、電機(10)和底座(12)組成；光纖(7)從固定套管(I)穿入進入不銹鋼針管(8)中，從不銹鋼針管(8)穿出的光纖(7)纏繞在電機(10)上方的轉輪(9)上，使鈀合金鈀(5)被加熱棒加熱并被蒸發，被蒸發鈀合金離子可沉積在旋轉的光纖(7)上，在光纖表面形成鈀合金膜層，多余的靶合金離子被離子引出器(6)引出裝置。
2.根據權利要求I所述的一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于固定套管(I)的長度變化范圍為10-50cm;電機轉速為0-60rpm可調。
3.根據權利要求I所述的一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于被鈀合金鍍膜光纖的種類為單模光纖或者多模光纖或者光子晶體光纖。
4.根據權利要求I所述的一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征在于光纖被鍍膜的長度范圍根據固定套管(I)的長度范圍可調，鍍膜長度范圍為10cm-200cm。
專利摘要一種真空離子濺射光纖鍍鈀合金裝置，其特征為由固定套管(1)、泵(2)、閥門(3)、真空室(4)、鈀合金靶(5)、加熱棒(11)、離子引出器(6)、光纖(7)、不銹鋼管(8)、轉輪(9)、電機(10)和底座(12)組成；光纖(7)從固定套管(1)穿入進入不銹鋼針管(8)中，從不銹鋼針管(8)穿出的光纖(7)纏繞在電機(10)上方的轉輪(9)上，使鈀合金鈀(5)被加熱棒加熱并被蒸發，被蒸發鈀合金離子可沉積在旋轉的光纖(7)上，在光纖表面形成鈀合金膜層，多余的靶合金離子被離子引出器(6)引出裝置。該裝置能自動、快速、直接和精確地在光纖側面蒸鍍均勻薄膜，具有廣闊的市場前景。
文檔編號C23C14/34GK202576550SQ20122022061
公開日2012年12月5日 申請日期2012年5月11日 優先權日2012年5月11日
發明者劉洋, 沈常宇, 馬啟飛, 蔣婷婷, 鐘川, 褚金雷, 鄒新, 牟晟, 董新永, 李萍 申請人:中國計量學院