專利名稱：晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型是一種晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，為禁斷供應晶圓研磨液產出當中，任一過濾器阻塞欲更換時，能自控定時開閉對應管路，避免人為出錯及減少環境污染毒害人體的新穎自動化結構技術。
背景技術：
因研磨晶圓用的晶圓研磨液供應系統需24小時持續供應，通常晶圓研磨液供應系統于混酸完畢后會傳送至晶圓研磨液供應槽，再泵送到過濾器模組過濾后，將較大的晶圓研磨液顆粒過濾去除后供應至晶圓研磨機主管路，以避免過大的晶圓研磨液顆粒造成晶元表面刮傷的狀況，但因過濾器模組位于晶圓研磨機主供應系統上，故更換過濾器模組的任一過濾器時，需派人員以防漏盤自主供應系統上斷流、清潔、取出、更換新品、重新開啟供應系統過濾。其操作及結構大致如下，首先手動先關閉連通欲更換過濾器管路上的供應閥，將殘留于過濾器置具內的晶圓研磨液通過管路排除，再由操作員穿A級防毒防護衣、防護手套防止受滲出外流的晶圓研磨液毒害，以人工方式先更換取出欲換下的過濾器，并于現場將舊的過濾器取下后，將防漏盤推至該過濾器所在的置座下方，以純水沖洗過濾器所在的置座，用防漏盤乘裝污水，再由操作人員直接將新的過濾器置入過濾器置座，換完后重新開啟此過濾器管路的供應閥，新過濾器就開始對流入的晶圓研磨液過濾再流往晶圓研磨機，同樣地過濾器模組里的其它過濾器也以同樣的結構及處理方式實施更換，由于每只過濾器阻塞時間點不盡相同，會一支支更換不會有同時要更換全部過濾器情形，如此可保持研磨晶圓用的晶圓研磨液供應系統持續供應晶圓研磨液不中斷，此種全仰賴人工清理換新晶圓研磨液過濾器的管路裝置會產生以下缺失:1.更換完后，操作員所穿戴的A級防毒防護衣、手套均需丟棄，很不經濟。2.操作原配戴手套取出舊過濾器時，手套上會殘留取出舊過濾器時沾黏的晶圓研磨液，而操作員繼續取出新過濾器更換時，手套上殘留的晶圓研磨液會污染新過濾器，降低新過濾器使用壽命。3.以人工清洗過濾器及置座，無法將清洗以后置座內的積水完全排干，而造成污染新過濾器，并且會改變供應系統內晶圓研磨液的濃度，影響制程，造成不良率提高，且人工清洗時間長、質量不穩定，極需改良。4.操作員以水沖洗過濾器所在的置座，用防漏盤乘裝污以防漏盤乘污水，再將污水推出處理方式，易造成污水外漏污染環境，且防漏盤推送時易會污染環境、人員，因晶圓研磨液內含化學藥劑、酸劑等有毒物質，容易傷及人員健康及安全。有鑒于現有晶圓研磨液供應系統的更換過濾器管路構造，有上述種種缺失，因而，本發明人乃積極研究改進之道，經過一番艱辛的苦思及試驗過程，終于有本實用新型產生
實用新型內容
[0009]本實用新型所要解決的主要技術問題在于，克服現有技術存在的上述缺陷，而提供一種晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，其設于晶圓研磨液供應槽通往晶圓研磨機之間，由至少兩只過濾器、數個控制閥及管控氣壓源氣壓流向受氣壓控啟控制閥的電腦連接而成，所有過濾器并聯管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應槽流出端，且所有過濾器并聯管接的匯流出端管接晶圓研磨機流入端，而每只過濾器頂部的排流端管接控制閥排放，又于每只過濾器流入端分數個叉路管接控制閥選換導入純水或氮氣，并于每一過濾器流出端叉分管接控制閥排放，另于每只過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設置控制閥，由此在不能斷止供應晶圓研磨液產出當中，任一過濾器阻塞更換時，能自控控制閥定時開閉對應管路，由此通過電腦控制純水自動沖洗除去過濾器、相關管路及置具的內晶圓研磨液，且自動排除清洗的純水能再管接到預定的排放收集空間，使操作員穿戴C級防毒防護衣、手套即可、經濟方便快速；其因自動清洗后兼有自動以氮氣吹干，故無須操作配戴手套取出過濾器，不會有取出舊過濾器及更換時，手套上殘留晶圓研磨液污染新過濾器問題，提高新過濾器使用壽命；其能自動清洗過濾器及置座后，以氮氣氣壓噴射方式除水氣、水滴的干燥方式，使新過濾器不會遭殘留水氣、水滴等污染，不會改變供應系統內晶圓研磨液濃度，進而提高制程良率提高；因其自動排出欲拆換過濾器內的晶圓研磨液，且更再加以洗除晶圓研磨液受控匯排出，無須操作員以水沖洗過濾器所在的置座，而用防漏盤乘裝污水以防漏盤乘污水，再將污水推出的處理方式，由此不易造成污水外漏污染環境，且不用擔憂有防漏盤推送時易會污染環境、人員，容易傷及人員健康的安全問題；其由電腦控制大部分過程，得以增快速度，排除人員疏失、不穩定的情形，增加良率。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，設于晶圓研磨液供應槽通往晶圓研磨機之間，不同于傳統研磨液供應系統全以人工控流換洗過濾器的裝置，其特征在于:其至少由兩只過濾器、數個控制閥及管控氣壓源氣壓流向受氣壓控啟控制閥的電腦連接而成，所有過濾器并聯管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應槽流出端，且所有過濾器并聯管接的匯流出端管接晶圓研磨機流入端，而每只過濾器頂部的排流端管接控制閥排放，又于每只過濾器流入端分數個叉路管接控制閥選換導入純水或氮氣，并于每一過濾器流出端叉分管接控制閥排放，另于每只過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設置控制閥。所述晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，其中，該電腦為可程控器(PLC)型式。本實用新型的有益效果是，其設于晶圓研磨液供應槽通往晶圓研磨機之間，由至少兩只過濾器、數個控制閥及管控氣壓源氣壓流向受氣壓控啟控制閥的電腦連接而成，所有過濾器并聯管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應槽流出端，且所有過濾器并聯管接的匯流出端管接晶圓研磨機流入端，而每只過濾器頂部的排流端管接控制閥排放，又于每只過濾器流入端分數個叉路管接控制閥選換導入純水或氮氣，并于每一過濾器流出端叉分管接控制閥排放，另于每只過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設置控制閥，由此在不能斷止供應晶圓研磨液產出當中，任一過濾器阻塞更換時，能自控控制閥定時開閉對應管路，由此通過電腦控制純水自動沖洗除去過濾器、相關管路及置具的內晶圓研磨液，且自動排除清洗的純水能再管接到預定的排放收集空間，使操作員穿戴C級防毒防護衣、手套即可、經濟方便快速；其因自動清洗后兼有自動以氮氣吹干，故無須操作配戴手套取出過濾器，不會有取出舊過濾器及更換時，手套上殘留晶圓研磨液污染新過濾器問題，提高新過濾器使用壽命；其能自動清洗過濾器及置座后，以氮氣氣壓噴射方式除水氣、水滴的干燥方式，使新過濾器不會遭殘留水氣、水滴等污染，不會改變供應系統內晶圓研磨液濃度，進而提高制程良率提高；因其自動排出欲拆換過濾器內的晶圓研磨液，且更再加以洗除晶圓研磨液受控匯排出，無須操作員以水沖洗過濾器所在的置座，而用防漏盤乘裝污水以防漏盤乘污水，再將污水推出的處理方式，由此不易造成污水外漏污染環境，且不用擔憂有防漏盤推送時易會污染環境、人員，容易傷及人員健康的安全問題；其由電腦控制大部分過程，得以增快速度，排除人員疏失、不穩定的情形，增加良率。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。


圖1為設置本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的整體構成方塊圖。圖2為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的電腦傳訊示意圖。圖3為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的管線路圖。圖4為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖
O圖5為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖
--O 圖6為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖
_- O圖7為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖四。圖8為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖五。圖9為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖六。
圖10為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的運作示圖七。圖中標號說明:I原料槽6晶圓研磨機2純水7氮氣3混酸槽8收集處理槽4A，4B晶圓研磨液供應槽5自動控流換洗過濾器裝置5A，5B 過濾器5a過濾器置座[0033]5Q 電腦5C，5D，5E，5F，5G，5H，5I 控制閥5J，5K，5L，5M，5N，50 控制閥
具體實施方式
圖1為設置本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的整體構成方塊圖，由該圖所示可知，整套本實用新型晶圓研磨液供應系統先由儲放晶圓研磨液原液的原料槽I流出定量晶圓研磨液原液與定量純水2 —同流到混酸槽3混成濃度合宜的晶圓研磨液，抽泵到晶圓研磨液供應槽4A,4B暫儲,再流往晶圓研磨機6,而本實用新型此種自動控流換洗過濾器裝置5設于晶圓研磨液供應槽4A，4B通往晶圓研磨機6之間，將晶圓研磨液供應槽4A,4B流往晶圓研磨機6的晶圓研磨液濾除其中大顆粒子,此裝置5能在須更換此裝置5內的過濾器(5A或5B)過程中，以此裝置5內的電腦5Q設定自動排放收集欲拆換過濾器(5A或5B)內殘余晶圓研磨液，及引入純水2清洗相關管路及過濾器置座，并引入氮氣7吹干管路及過濾器置座(過濾器置座圖中未示請見后圖)后自動排水排氣收集處理。詳細構成如圖3為本實用新型晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置的管線路圖所示，并請同時參照圖2的電腦傳訊示意圖(在該圖2中所示線箭頭指向旁的標號5C 50，是代表該傳訊線傳至其余各圖對應標示5C 50的元件)，本實用新型此種裝置 5，由至少兩只過濾器 5A，5B、數個控制閥 5C，5D，5E，5F，5G，5H，51，5J，5K，5L，5M，5N, 50及管控氣壓源氣壓流向受氣壓控啟控制閥5G，5H，51，5J，5K，5L，5M，5N, 50的電腦5Q連接而成，所有過濾器5A，5B并聯管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應槽4A，4B流出端，且所有過濾器5A，5B并聯管接的匯流出端管接晶圓研磨機6流入端，而每只過濾器5A，5B頂部的排流端管接控制閥5G，5H排放，又于每只過濾器5A，5B流入端分數個叉路管接控制閥51，5J，5K，5L，5M選換導入純水2或氮氣7，并于每一過濾器5A，5B流出端叉分管接控制閥5N，50排放，另于每只過濾器5A，5B臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設置控制閥5C，5D,5E，5F，另且對經過濾器5A，5B頂部排流端管接控制閥5G，5H的排放，及對每一過濾器5A，5B流出端叉分管接控制閥5N，50的排放，接管匯集流到收集處理槽8收置，而電腦5Q亦可為可程控器(PLC)型式。而由于任一過濾器5A，5B周圍配置結構相同，因此僅舉一過濾器5A為例說明本實用新型此種裝置5運作，平時如圖4所示，從研磨液供應槽4A，4B流出的晶圓研磨液會匯入經由控制閥5C，5E流入所有過濾器5A，5B再流過控制閥5D，5F后匯流往晶圓研磨機6，當一過濾器5A阻塞欲更換時，如圖5所示，首先手控控制閥5C，5D關閉，使晶圓研磨液不再流入過濾器5A，并使晶圓研磨液不再經過濾器5A流往晶圓研磨機6，晶圓研磨液仍能由另只過濾器5B流到晶圓研磨機6供應研磨作業。隨即如圖6所示，電腦5Q發訊驅控控制閥5N，5G開啟(電腦5Q請見前圖2)，使過濾器5A內積留的晶圓研磨液經控制閥5N流往收集處理槽8排光，接著如圖7所示，電腦5Q發訊驅控控制閥51，5J開啟(電腦5Q請見前圖2)，使純水2流入欲拆換的過濾器5A及過濾器置座5a沖洗，沖流的不純凈純水2就經控制閥5N以及控制閥5G流到收集處理槽8收置，等純水沖洗畢后，電腦5Q發訊驅控控制閥51關閉，不再供應純水2清洗到過濾器5A及過濾器置座5a內，讓過濾器5A及過濾器置座5a內積留的不純凈純水2經控制閥5N流到收集處理槽8收置。繼續如圖8所示，電腦5Q發訊驅控控制閥5K開啟(電腦5Q請見前圖2)，使氮氣7氣壓噴射流過欲拆換的過濾器5A及過濾器置座5a，再經控制閥5N流到收集處理槽8，將過濾器5A及過濾器置座5a內剩余的水份吹干排出，并直接干燥。接著如圖9所示，電腦5Q發訊驅控該些控制閥5K，5J，5N關閉(電腦5Q請見前圖2)，此時電腦5Q屏幕顯現更換過濾器提示，操作員此時就可從過濾器置座5a拆出舊過濾器換上新過濾器(過濾器圖中未示，請見前圖)成
圖10狀態，此時電腦5Q屏幕顯現清洗提示(電腦5Q請見前圖2)，讓操作員按下電腦5Q的清洗鍵，電腦5Q就對新過濾器5A重進行圖7及圖8程序，確保新過濾器5A內潔凈，再直接跳回圖9狀態，爾后手控控制閥5C，5D開啟，回復圖4由全部過濾器5A，5B過濾供應晶圓研磨液到晶圓研磨機6狀態。由此構成，在不能斷止供應晶圓研磨液產出當中，任一過濾器阻塞更換時，能自控控制閥定時開閉對應管路，改進傳統更換過濾器須親手輪流切換閥體以及手洗過濾管路結構上，易弄錯開閉管路順序及污染環境毒害人員的缺失。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。綜上所述，本實用新型在結構設計、使用實用性及成本效益上，完全符合產業發展所需，且所揭示的結構亦是具有前所未有的創新構造，具有新穎性、創造性、實用性，符合有關新型專利要件的規定，故依法提起申請。
權利要求1.一種晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，設于晶圓研磨液供應槽通往晶圓研磨機之間，不同于傳統研磨液供應系統全以人工控流換洗過濾器的裝置，其特征在于:其至少由兩只過濾器、數個控制閥及管控氣壓源氣壓流向受氣壓控啟控制閥的電腦連接而成，所有過濾器并聯管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應槽流出端，且所有過濾器并聯管接的匯流出端管接晶圓研磨機流入端，而每只過濾器頂部的排流端管接控制閥排放，又于每只過濾器流入端分數個叉路管接控制閥選換導入純水或氮氣，并于每一過濾器流出端叉分管接控制閥排放，另于每只過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設置控制閥。
2.根據權利要求1所述的晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，其特征在于，所述電腦為可程控器型式。
專利摘要一種晶圓研磨液供應系統的自動控流換洗過濾器裝置，設于晶圓研磨液供應槽通往晶圓研磨機之間，不同于傳統研磨液供應系統全以人工控流換洗過濾器的裝置，其至少由兩只過濾器、數個控制閥及管控氣壓源氣壓流向受氣壓控啟控制閥的電腦連接而成，所有過濾器并聯管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應槽流出端，所有過濾器并聯管接的匯流出端管接晶圓研磨機流入端，每只過濾器頂部的排流端管接控制閥排放，每只過濾器流入端分數個叉路管接控制閥選換導入純水或氮氣，每一過濾器流出端叉分管接控制閥排放，每只過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設置控制閥。本實用新型由電腦控制大部分過程，增快速度，排除人員疏失、不穩定的情形，增加良率。
文檔編號B24B57/02GK203019211SQ20122053974
公開日2013年6月26日 申請日期2012年10月22日 優先權日2012年10月22日
發明者黃怡文 申請人:宸沅國際股份有限公司