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帶蓋的鎢舟的制作方法

文檔序號:3278857閱讀:180來源:國知局
專利名稱:帶蓋的鎢舟的制作方法
技術領域
本實用新型涉及一種帶蓋的鎢舟,應用于薄膜制備領域。
背景技術
在薄膜制備過程中,需要很強的功率才會使金屬原料從固體狀態(tài)蒸發(fā)汽化。但是現(xiàn)有的鎢舟容器往往比較淺矮,這樣金屬原料往往在加熱過程中容易濺出鎢舟外,這樣使得鎢舟內(nèi)的原料不足,可能導致鍍膜厚度不夠,或者剩余原料(如銀料)變黑變黃,既浪費寶貴的金屬原料,又影響有效工件。故,需要一種新的產(chǎn)品以解決上述問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術存在的不足,提供一種使用方便、經(jīng)濟實用的帶蓋的鎢舟產(chǎn)品。為實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本實用新型帶蓋的鎢舟可采用如下技術方案:一種帶蓋的鎢舟,具有鎢舟蓋和鎢舟本體,鎢舟蓋上設有蒸發(fā)孔。有益效果:本實用新型能有效地防止原料濺出鎢舟,既保證了成品質(zhì)量,又節(jié)省了原料。優(yōu)選地,蒸發(fā)孔為圓孔,圓孔的孔徑為Imm,孔間距為2mm。優(yōu)選地,蒸發(fā)孔為百葉窗,百葉窗的窗口寬1mm,窗間距為2mm。

圖1是本實用新型的帶蓋的鎢舟的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例,進一步闡明本實用新型,應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍,在閱讀了本實用新型之后,本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。請參閱圖1所示,一種帶蓋的鎢舟,具有鎢舟蓋I和鎢舟本體2,鎢舟蓋I上設有蒸發(fā)孔。蒸發(fā)孔為圓孔,圓孔的孔徑為1mm,孔間距為2mm。蒸發(fā)孔為百葉窗,百葉窗的窗口寬Imm,窗間距為2_。由于鍍膜工藝過程中所采用的材料的截面均大于1_,因此,這種設置能有效地防止材料濺出鎢舟。如上所述,本實用新型能有效地防止原料濺出鎢舟,保證了成品質(zhì)量,又節(jié)省了原料。
權利要求1.一種帶蓋的鎢舟,具有鎢舟蓋(I)和鎢舟本體(2),其特征在于:所述鎢舟蓋(I)上設有蒸發(fā)孔。
2.根據(jù)權利要求1所述的帶蓋的鎢舟,其特征在于:所述蒸發(fā)孔為圓孔。
3.根據(jù)權利要求2所述的帶蓋的鎢舟,其特征在于:所述圓孔的孔徑為1mm,孔間距為2mm ο
4.根據(jù)權利要求1所述的帶蓋的鎢舟,其特征在于:所述蒸發(fā)孔為百葉窗。
5.根據(jù)權利要求4所述的帶蓋的鎢舟,其特征在于:所述百葉窗的窗口寬1mm,窗間距為 2mm。
專利摘要本實用新型公開了一種帶蓋的鎢舟,具有鎢舟蓋和鎢舟本體,所述鎢舟蓋上設有蒸發(fā)孔。本實用新型能有效地防止原料濺出鎢舟,保證了成品質(zhì)量,又節(jié)省了原料。
文檔編號C23C14/24GK203007398SQ201220740439
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月30日 優(yōu)先權日2012年12月30日
發(fā)明者陳道理 申請人:盱眙新遠光學科技有限公司
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