專利名稱：一種mocvd設備的金屬粉塵過濾裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種MOCVD設備配件，具體涉及一種MOCVD設備的金屬粉塵過濾
>J-U ρ α裝直。
背景技術：
金屬有機化合物氣相外延沉積(Metal-OrganicChemical Vapor Deposition,簡稱M0CVD)，是20世紀60年代末期發展起來的利用金屬有機化合物進行金屬輸運的一種化合物半導體單晶薄膜制造設備，廣泛應于半導體材料、高速電子器件等領域，目前其主要用于GaN系半導體材料的外延生長及藍光、綠光、白光或紫外發光二極管芯片的制造。在對MOCVD設備維護時，漂浮在設備運行環境中的金屬粉塵會隨著排風進入設備加熱電源中，容易導致PCB板的燒毀，造成損失，若不進行排風，則會影響散熱，會嚴重影響到設備的使用壽命。

實用新型內容本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種結構簡單、能夠有效避免金屬粉塵進入設備加熱電源的過濾裝置。一種MOCVD設備的金屬粉塵過濾裝置，包括過濾板，所述過濾板固定安裝在加熱電源上，所述過濾板的板面上可分布開設若干個直徑為20um的過濾孔。
本實用新型結構簡單，加工方便，在對MOCVD設備維護時，可有效避免漂浮在環境中的金屬粉塵進入加熱電源中，從而引起電路板燒毀現象的發生，同時也不影響加熱電源本身散熱。

圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合具體實施例，對本發明做進一步說明。應理解，以下實施例僅用于說明本發明而非用于限制本發明的范圍。實施例1參見圖1，本實用新型提供的一種MOCVD設備的金屬粉塵過濾裝置，包括過濾板1，所述過濾板I的四個頂角處設有固定腳2，將螺栓旋入固定腳2，使過濾板I固定在加熱電源上，由于金屬粉塵一般直徑都會超過20um，所述過濾板I的板面上可分布開設若干個直徑為20um的過濾孔3，將金屬粉塵有效的過濾。
權利要求1.一種MOCVD設備的金屬粉塵過濾裝置，其特征在于:包括過濾板，所述過濾板固定安裝在加熱電源上，所述過濾板的板面上可分布開設若干個直徑為20um的過濾孔。
專利摘要本實用新型公開了一種MOCVD設備的金屬粉塵過濾裝置，包括過濾板，所述過濾板固定安裝在加熱電源上，所述過濾板的板面上可分布開設若干個直徑為20um的過濾孔。本實用新型結構簡單，加工方便，在對MOCVD設備維護時，可有效避免漂浮在環境中的金屬粉塵進入加熱電源中，從而引起電路板燒毀現象的發生，同時也不影響加熱電源本身散熱。
文檔編號C23C16/44GK203034089SQ20132001190
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月10日 優先權日2013年1月10日
發明者林長軍 申請人:合肥彩虹藍光科技有限公司