基片架專用玻璃載具的制作方法
【專利摘要】本實用新型給出了一種基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和至少一個支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個平行放置的框架桿構成，四個框架桿首尾相連構成閉合的平行四邊形結構，所述的支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上或第二框架組件的兩個框架桿上，至少一組框架組件和至少一個支撐桿的材料為耐熱金屬材料。利用耐熱金屬材料替代原有材料，使得基片架專用玻璃載具在鍍膜作業(yè)的環(huán)境下具有耐熱性好、耐腐蝕性好，而且在生產(chǎn)加工中不會產(chǎn)生形變和裂紋。
【專利說明】基片架專用玻璃載具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種基片架專用玻璃載具。
【背景技術】
[0002]鍍膜生產(chǎn)線中磁控濺射是為了在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率的方法，而其中需要一種基片架專用玻璃載具來固定玻璃，達到鍍膜的目的。
[0003]目前所使用的基片架的玻璃載具包括四個框架桿和多個支撐桿，四個框架桿首尾相連圍成正方形，支撐桿分別與相對的兩個框架桿固定連接，多個支撐桿將第一框架組件和第二框架組件劃分為若干個載物格，每個載物格四面都有載物槽口，玻璃載具放置在載物槽口內(nèi)，并送入鍍膜生產(chǎn)線中鍍膜作業(yè)。
[0004]基片架的玻璃載具通常采用鋁合金或者不銹鋼材質，具有成本低，易獲取等優(yōu)點，但是鍍膜生產(chǎn)線的生產(chǎn)環(huán)境為高溫無塵環(huán)境，普通的基片架的玻璃載具有重量重、耐熱性差、耐腐蝕性差等缺點，而且在生產(chǎn)加工中容易產(chǎn)生形變，容易使玻璃發(fā)生擠壓，影響鍍膜玻璃的正常生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種受熱均勻、耐熱性強，而且不易受熱形變的基片架專用玻璃載具。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和至少一個支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個平行放置的框架桿構成，四個框架桿首尾相連構成閉合的平行四邊形結構，所述的支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上或第二框架組件的兩個框架桿上，第一框架組件、第二框架組件和支撐桿端面上有載物槽口，至少一組框架組件和至少一個支撐桿的材料為耐熱金屬材料。
[0007]采用這樣的結構后，用耐熱金屬材料替代原有材料，使得基片架專用玻璃載具在鍍膜作業(yè)的環(huán)境下具有耐熱性好、耐腐蝕性好，而且在生產(chǎn)加工中不會產(chǎn)生形變和裂紋。
[0008]本基片架專用玻璃載具采用的耐熱金屬材料為金屬鈦；采用這樣的結構后，金屬鈦材質的框架組件和支撐桿有著重量輕、強度大、耐腐蝕性強，而且使得基片架專用玻璃載具具有良好的耐熱膠著性、耐裂紋性、表面平滑。
[0009]本基片架專用玻璃載具的支撐桿為四個，分別是第一支撐桿、第二支撐桿、第三支撐桿和第四支撐桿，第一支撐桿兩端和第二支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上，第三支撐桿兩端和第四支撐桿兩端分別固定在第二框架組件的兩個框架桿上，第三支撐桿和第四支撐桿的材料采用金屬鈦；
[0010]所述的第二框架組件的材料采用金屬鈦。
[0011]采用這樣的結構后，第三支撐桿、第四支撐桿和第二框架組件的材料采用金屬鈦，可以節(jié)約本本基片架專用玻璃載具中金屬鈦的用量，但可以達到同樣使本基片架專用玻璃載具在高溫條件下不易產(chǎn)生形變的目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本基片架專用玻璃載具實施例的結構示意圖。
[0013]圖2是圖1沿A-A方向的放大剖視圖。
[0014]圖3是圖1沿B-B方向的放大剖視圖。
[0015]圖4是本基片架專用玻璃載具實施例基片架的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]如圖1至3所示
[0017]本基片架專用玻璃載具包括兩組框架組件和四個支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件由水平放置的第一框架桿11和水平放置的第二框架桿12構成，第一框架桿11第二框架桿12的結構相同，第一框架桿11的前端面下部有第一載物槽口 I la，第一框架桿11兩側分別有耳板15，耳板15上有安裝孔15a，第二框架桿12的前端面上部有第二載物槽口 12a，第二框架桿12兩側分別有耳板15，耳板15上有安裝孔15a，第二框架組件由豎直放置的第三框架桿13和豎直放置的第四框架桿14構成，第三框架桿13第四框架桿14的結構相同，第三框架桿13的前端面右側有第三載物槽口 13a，第三框架桿13的上、下兩端有安裝凹槽16，第三框架桿13前端面的三分之一長度位置和三分之二長度位置處也分別有安裝凹槽16，安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向，第四框架桿14的前端面左側有第四載物槽口 14a，第四框架桿14的上、下兩端有安裝凹槽16,第四框架桿14的三分之一長度位置和三分之二長度位置處也分別有安裝凹槽16，安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向。
[0018]第一框架桿11、第二框架桿12、第三框架桿13和第四框架桿14依次首尾相連構成長方形。
[0019]四個支撐桿分別是第一支撐桿21、第二支撐桿22、第三支撐桿23和第四支撐桿24，第一支撐桿21和第二支撐桿22都平行于第三框架桿13，第一支撐桿21和第二支撐桿22結構相同，第一支撐桿21兩端有安裝凹槽16，第一支撐桿21前端面的三分之一長度位置和三分之二長度位置處也分別有安裝凹槽16,安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向，第一支撐桿21上端的安裝凹槽16與第一框架桿11配合，并通過螺栓固定在第一框架桿11的三分之一長度位置，第一支撐桿21下端的安裝凹槽16與第二框架桿12配合，并通過螺栓固定在第二框架桿12的三分之一長度位置，第一支撐桿21前端面左側和前端面右側分別開有第五載物槽口 21a。
[0020]第二支撐桿22兩端有安裝凹槽16，第二支撐桿22前端面的三分之一長度位置和三分之二長度位置處也分別有安裝凹槽16，安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向，第二支撐桿22上端的安裝凹槽16與第一框架桿11配合，并通過螺栓固定在第一框架桿11的三分之二長度位置，第二支撐桿22下端的安裝凹槽16與第二框架桿12配合，并通過螺栓固定在第二框架桿12的三分之二長度位置，第二支撐桿22前端面左側和前端面右側分別開有第六載物槽口 22a。
[0021 ] 第三支撐桿23和第四支撐桿24都平行于第一框架桿11，第三支撐桿23和第四支撐桿24結構相同，第三支撐桿23的高度和第四支撐桿24的高度等于第一框架桿11的高度，第三支撐桿23的左端通過螺栓固定在第三框架桿13三分之一長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23的三分之一長度位置通過螺栓固定在第一支撐桿21三分之一長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23的三分之二長度位置通過螺栓固定在第二支撐桿22三分之一長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23的右端通過螺栓固定在第四框架桿14三分之一長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23前端面上側和前端面下側分別開有第七載物槽口 23a。
[0022]第四支撐桿24的左端通過螺栓固定在第三框架桿13三分之二長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24的三分之一長度位置通過螺栓固定在第一支撐桿21三分之二長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24的三分之二長度位置通過螺栓固定在第二支撐桿22三分之二長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24的右端通過螺栓固定在第四框架桿14三分之二長度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24前端面上部和前端面下部分別開有第八載物槽口 24a。
[0023]第一框架桿11第一載物槽口 Ila的中心線、第二框架桿12第二載物槽口 12a的中心線、第三框架桿13第三載物槽口 13a的中心線、第四框架桿14第四載物槽口 14a的中心線、第一支撐桿21第五載物槽口 21a的中心線、第二支撐桿22第六載物槽口 22a的中心線、第三支撐桿23第七載物槽口 23a的中心線和第四支撐桿24第八載物槽口 24a的中心線在同一平面內(nèi)。
[0024]第三框架桿13和第四框架桿14的材質采用金屬鈦材料，第三支撐桿23和第四支撐桿24的材質采用金屬鈦材料。
[0025]如圖4所示
[0026]基片架包括基片架專用玻璃載具、左立柱31、右立柱32、上邊框41、下邊框42和導桿5，基片架專用玻璃載具的第一框架桿11和第二框架桿12兩側的耳板15分別與左立柱31和右立柱32螺栓連接，左立柱31上側和右立柱32上側分別通過螺栓固定有上邊框41，左立柱31下側和右立柱32下側分別通過螺栓固定有下邊框42，下邊框42下側焊接有導桿5,
[0027]使用時，將帶鍍膜的玻璃放置在本基片架專用玻璃載具內(nèi)，再將基片架流入鍍膜生產(chǎn)線中進行鍍膜作業(yè)，本基片架專用玻璃載具在作業(yè)過程中承受高溫、無塵的環(huán)境，具有耐熱性好、耐腐蝕性好，而且在生產(chǎn)加工中不會產(chǎn)生形變和裂紋。
[0028]以上所述的僅是本實用新型的一種實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應視為屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和若干個支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個平行放置的框架桿構成，四個框架桿首尾相連構成閉合的平行四邊形結構，每個支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上或第二框架組件的兩個框架桿上，第一框架組件、第二框架組件和支撐桿端面上有載物槽口，其特征在于:至少一組框架組件和至少一個支撐桿的材料為耐熱金屬材料。
2.根據(jù)權利要求1中所述的基片架專用玻璃載具，其特征為:所述的耐熱金屬材料為金屬鈦。
3.根據(jù)權利要求2中所述的基片架專用玻璃載具，其特征為:所述的支撐桿為四個，分別是第一支撐桿、第二支撐桿、第三支撐桿和第四支撐桿，第一支撐桿兩端和第二支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個框架桿上，第三支撐桿兩端和第四支撐桿兩端分別固定在第二框架組件的兩個框架桿上，第三支撐桿和第四支撐桿的材料采用金屬鈦； 所述的第二框架組件的材料采用金屬鈦。
【文檔編號】C23C14/50GK203582961SQ201320471008
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年8月2日 優(yōu)先權日:2013年8月2日
【發(fā)明者】郭祖華 申請人:蚌埠雷諾真空技術有限公司