磨片機游星片的改良構(gòu)造的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，包括內(nèi)圈、外圈、外圈帶動齒，它們組成一個圓形的磨片機游星片；內(nèi)圈、外圈結(jié)合處設(shè)有波紋狀接合；外圈為鋼材質(zhì)，內(nèi)圈為樹脂材質(zhì)。本實用新型磨片機游星片的改良構(gòu)造內(nèi)的部樹脂材質(zhì)，可以起到減緩加工時的沖擊力的作用，保護(hù)了工件，降低了硅片邊緣崩邊、缺口的幾率；外圈鋼圈部分起到加強機械強度，支撐內(nèi)部較軟材質(zhì)平面形狀的作用；波紋狀咬合可以避免其它形狀造成的內(nèi)外圈配合困難、存放復(fù)雜、加工時掛帶磨盤槽造成整盤工件報廢的情況，提高了合格率，而且具有結(jié)構(gòu)簡單，加工成本低等優(yōu)點。
【專利說明】磨片機游星片的改良構(gòu)造
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于用于單晶硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種磨片機研磨盤主要工件載具一游星片的改良構(gòu)造。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，由于電子行業(yè)的飛速發(fā)展、產(chǎn)品需求的多元化，用于電子產(chǎn)品的最初原材料晶圓片也有新的提高，而娃片本身的技術(shù)參數(shù)，如表面粗糙度Ra/Rz、TTV、warp等,對娃片的要求也是越來越高。此外，用于硅片加工生產(chǎn)的原輔料的成本隨著市場的發(fā)展呈遞增趨勢增長，而產(chǎn)品合格率提高則是從另一方面降低生產(chǎn)成本，故有必要對現(xiàn)有的磨片機游星片進(jìn)行改造。
[0003]游星片屬于硅片研磨過程中不可缺少的一部分，但由于鋼質(zhì)游星片硬度較高，對于較薄的、不倒角或偏倒角的硅片損傷較大，易造成崩邊、缺口、磨損等不良；而樹脂材質(zhì)的游星片又較軟，機械強度不夠，加工薄片時無法使用。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型要解決的問題是克服現(xiàn)有的磨片機游星造成硅片質(zhì)量不高，提供一種磨片機主要載具-游星片的改良構(gòu)造，尤其適合用于提高硅片生產(chǎn)中的合格率。
[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，包括內(nèi)圈、外圈、外圈帶動齒，它們組成一個圓形的磨片機游星片。
[0006]進(jìn)一步，內(nèi)圈、外圈結(jié)合處設(shè)有波紋狀接合。
[0007]更進(jìn)一步，波紋狀接合布滿內(nèi)圈與外圈的接合處。
[0008]進(jìn)一步，外圈為鋼材質(zhì)，內(nèi)圈為樹脂材質(zhì)。
[0009]所述的游星片為研磨時帶動工件在上下磨盤內(nèi)呈星形運動之用，經(jīng)過此次結(jié)構(gòu)改良，由原來的全部鋼材質(zhì)或全部樹脂材質(zhì)變更為外圈為鋼材質(zhì)，內(nèi)圈為樹脂材質(zhì)，內(nèi)外圈結(jié)合處以波紋狀密切咬合。
[0010]本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是:內(nèi)部樹脂材質(zhì)，可以起到減緩加工時的沖擊力的作用，保護(hù)了工件，降低了硅片邊緣崩邊、缺口的幾率；外圈鋼圈部分起到加強機械強度，支撐內(nèi)部較軟材質(zhì)平面形狀的作用；波紋狀咬合可以避免其它形狀造成的內(nèi)外圈配合困難、存放復(fù)雜、加工時掛帶磨盤槽造成整盤工件報廢的情況，提高了合格率，而且具有結(jié)構(gòu)簡單，加工成本低等優(yōu)點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是改良前磨片機游星片的俯視圖；
[0012]圖2是改良后磨片機游星片的俯視圖。
[0013]圖中:
[0014]1、鋼質(zhì)游星片2、外圈帶動齒3、載具內(nèi)孔[0015]4、樹脂內(nèi)圈 5、內(nèi)外圈波浪形接合6、鋼質(zhì)外圈【具體實施方式】
[0016]如圖1所示，改良前鋼質(zhì)游星片I，帶動放置于載具內(nèi)孔3內(nèi)的硅片，在研磨上下盤內(nèi)作星形運動，隨著磨料磨盤的影響達(dá)到一定的平整度。
[0017]如圖2所示，一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，包含樹脂內(nèi)圈4與鋼質(zhì)外圈6兩部分，游星片樹脂內(nèi)圈4與鋼質(zhì)外圈6以波浪形接合5緊密咬合，樹脂內(nèi)圈4與鋼質(zhì)外圈6兩部分結(jié)合組成與圖一中相同的外形用于硅片研磨加工。
[0018]本實例的工作過程:研磨時，工件在載具內(nèi)孔3內(nèi)作星形運動時，硅片本身受上下磨盤研磨影響，鋼質(zhì)外圈6受外圈帶動齒2轉(zhuǎn)動影響時，都會有一定的振動、頓挫，而樹脂內(nèi)圈4可以減緩振動對硅片邊緣的影響，防止硅片邊緣與鋼質(zhì)游星片I相互碰撞而造成崩邊、缺口等不良。
[0019]因上下磨盤本身具有磨料槽，而波浪形接合的設(shè)計有較防止了其它形狀接口與盤槽外口勾掛而造成游星片報廢甚至整盤硅片報廢。
[0020]以上對本實用新型的一個實施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認(rèn)為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:包括內(nèi)圈、外圈、外圈帶動齒，它們組成一個圓形的磨片機游星片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:所述內(nèi)圈、外圈結(jié)合處設(shè)有波紋狀接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:所述波紋狀接合布滿內(nèi)圈與外圈的接合處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的一種磨片機游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:所述外圈為鋼外圈，內(nèi)圈為樹脂內(nèi)圈。
【文檔編號】B24B37/28GK203460048SQ201320582446
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月18日
【發(fā)明者】蘇榮義, 李海龍, 陳宗永, 孫振生, 周明月, 許建虹 申請人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司