一種化學(xué)機械拋光用配料桶的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種化學(xué)機械拋光用配料桶，包括料桶，所述料桶底部設(shè)置有支架，頂部設(shè)置有桶蓋，所述桶蓋上開有投料口，所述桶蓋中心垂直設(shè)置有帶有攪拌器的電動攪拌泵，所述料桶下端設(shè)置有排料口，排料口處設(shè)置有閥門；所述料桶的外圍設(shè)置有帶有進水口和出水口的冷卻水套，所述攪拌器表面設(shè)置有耐酸堿層。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，方便、快捷、實用，無需將拋光設(shè)備停機以更換拋光液，能夠保證化學(xué)機械拋光工序的連續(xù)進行，省時省力，提高了工作效率，降低了生產(chǎn)成本；采用此配料桶配制的拋光液化學(xué)穩(wěn)定性好，保證了碳化硅晶片良好的拋光效果。
【專利說明】一種化學(xué)機械拋光用配料桶
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種配料桶，具體涉及一種化學(xué)機械拋光用配料桶。
【背景技術(shù)】
[0002]碳化硅晶片進行化學(xué)機械拋光時，需要定時更換拋光液，這樣能夠保證拋光液的化學(xué)穩(wěn)定性和有效性，保證拋光液對于晶片的化學(xué)作用，進而保證晶片表面有良好的拋光效果。目前傳統(tǒng)方法是等到需要更換拋光液的時候，將拋光設(shè)備停機，然后將使用過的拋光液排廢，按照拋光液中各個組分的比例進行配料，倒入拋光設(shè)備自帶的料桶后再攪拌一定時間。其不足之處在于:需要將拋光設(shè)備停機，手工進行配料費時費力，導(dǎo)致工作效率低；并且拋光液混合不充分，化學(xué)穩(wěn)定性差，影響碳化硅晶片的拋光效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本實用新型提供了一種方便、快捷、實用的化學(xué)機械拋光用配料桶，克服了碳化硅晶片進行化學(xué)機械拋光時需要將拋光設(shè)備停機，手工進行配料費時費力，導(dǎo)致工作效率低，并且拋光液混合不充分，化學(xué)穩(wěn)定性差，影響碳化硅晶片拋光效果的問題。
[0004]本實用新型的具體技術(shù)方案是:
[0005]一種化學(xué)機械拋光用配料桶，包括料桶，所述料桶底部設(shè)置有支架，頂部設(shè)置有桶蓋，所述桶蓋上開有投料口，所述桶蓋中心垂直設(shè)置有帶有攪拌器的電動攪拌泵，所述料桶下端設(shè)置有排料口，排料口處設(shè)置有閥門。
[0006]所述桶蓋上開有投料口，約占桶蓋的三分之一，之所以這樣設(shè)置投料口，一方面是方便投料，另一方面是在攪拌時起到一定的散熱作用，同時防止料液飛濺。
[0007]所述電動攪拌泵由四個螺絲垂直固定于桶蓋中心的表面，這樣可以方便拆卸。
[0008]當(dāng)對碳化硅晶片進行化學(xué)機械拋光時，將帶有支架的配料桶靠近拋光設(shè)備放置，使得拋光設(shè)備自帶料桶上方正對著配料桶上的排料口，這樣需要更換拋光設(shè)備自帶料桶中的拋光液之前，可以先將拋光液各個組分按照一定的比例由投料口投入配料桶內(nèi)，并按照使用要求開啟攪拌泵攪拌一定時間，使得拋光液各組分混合均勻，形成化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的溶液；再將拋光設(shè)備自帶料桶內(nèi)的使用過的拋光液進行排廢，當(dāng)拋光設(shè)備自帶料桶內(nèi)的使用過的拋光液剩余20%體積時，關(guān)閉設(shè)備排廢閥，開啟配料桶排料口處的閥門，使得配料桶內(nèi)的新配制的拋光液由排液口進入拋光設(shè)備自帶的料桶內(nèi)，以保證化學(xué)拋光工序的連續(xù)進行。
[0009]由于拋光液中大多都是化學(xué)酸堿物質(zhì)，在攪拌過程中容易產(chǎn)生大量熱量，所述料桶的外圍設(shè)置有冷卻水套，所述冷卻水套上設(shè)置有進水口和出水口，這樣可以起到降溫冷卻的作用。
[0010]由于拋光液中大多都是化學(xué)酸堿物質(zhì)，所述配料桶均是由耐酸堿材料制成，并且所述攪拌器表面設(shè)置有耐酸堿層，以保證人身安全，延長配料桶的使用壽命，降低使用成本。
[0011]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，方便、快捷、實用，無需將拋光設(shè)備停機以更換拋光液，能夠保證化學(xué)機械拋光工序的連續(xù)進行，省時省力，提高了工作效率，降低了生產(chǎn)成本；采用此配料桶配制的拋光液化學(xué)穩(wěn)定性好，保證了碳化硅晶片良好的拋光效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是圖1的俯視圖。
[0014]圖中I是料桶，2是閥門，3是排料口，4是冷卻水套，5是投料口，6是攪拌泵，7是桶蓋，8是支架，9是進水口，10是出水口。
【具體實施方式】
[0015]一種化學(xué)機械拋光用配料桶，包括料桶I，所述料桶I底部設(shè)置有支架8，頂部設(shè)置有桶蓋7，所述桶蓋7上開有投料口 5，所述桶蓋7中心垂直設(shè)置有帶有攪拌器的電動攪拌泵6，所述料桶I下端設(shè)置有排料口 3，排料口 3處設(shè)置有閥門2。
[0016]所述電動攪拌泵6由四個螺絲垂直固定于桶蓋7中心的表面，這樣可以方便拆卸。
[0017]由于拋光液中大多都是化學(xué)酸堿物質(zhì)，在攪拌過程中容易產(chǎn)生大量熱量，所述料桶I的外圍設(shè)置有冷卻水套4，所述冷卻水套4上設(shè)置有進水口 9和出水口 10，這樣可以起到降溫冷卻的作用。
[0018]由于拋光液中大多都是化學(xué)酸堿物質(zhì)，所述配料桶均是由耐酸堿材料制成，并且所述攪拌器表面設(shè)置有耐酸堿層，以保證人身安全，延長配料桶的使用壽命，降低使用成本。
[0019]當(dāng)對碳化硅晶片進行化學(xué)機械拋光時，將帶有支架8的配料桶靠近拋光設(shè)備放置，使得拋光設(shè)備自帶料桶上方正對著配料桶上的排料口 3，這樣需要更換拋光設(shè)備自帶料桶中的拋光液之前，可以先將拋光液各個組分按照一定的比例由投料口投入配料桶內(nèi)，并按照使用要求開啟攪拌泵6攪拌一定時間，使得拋光液各組分混合均勻，形成化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的溶液；再將拋光設(shè)備自帶料桶內(nèi)的使用過的拋光液進行排廢，當(dāng)拋光設(shè)備自帶料桶內(nèi)的使用過的拋光液剩余20%體積時，停止設(shè)備排廢，開啟配料桶排料口 3處的閥門2，使得配料桶內(nèi)的新配制的拋光液由排料口 3進入拋光設(shè)備自帶的料桶內(nèi)，以保證化學(xué)拋光工序的連續(xù)進行。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)機械拋光用配料桶，包括料桶(1)，其特征在于:所述料桶(I)底部設(shè)置有支架(8)，頂部設(shè)置有桶蓋(7)，所述桶蓋(7)上開有投料口(5)，所述桶蓋(7)中心垂直設(shè)置有帶有攪拌器的電動攪拌泵(6)，所述料桶(I)下端設(shè)置有排料口(3)，排料口(3)處設(shè)置有閥門(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光用配料桶，其特征在于:所述料桶(I)的外圍設(shè)置有冷卻水套(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機械拋光用配料桶，其特征在于:所述冷卻水套(4)上設(shè)置有進水口(9)和出水口(10)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光用配料桶，其特征在于:所述攪拌器表面設(shè)置有耐酸堿層。
【文檔編號】B24B57/02GK203650260SQ201420021216
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年1月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月14日
【發(fā)明者】王含冠, 梁慶瑞, 張紅巖 申請人:山東天岳先進材料科技有限公司