一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置，該裝置的移動平臺的上部設有升降器，螺帽固定在升降器上，升降螺桿設在螺帽中，曲柄螺桿通過組合齒輪與升降螺桿相嚙接，在升降器上設有轉軸，若干刀片并列設在轉軸上，在若干刀片的上部設有噴水管。采用本實用新型，可以直接將待打磨的單晶或多晶硅料送入移動平臺，通過若干并列的刀片對硬度很高的單晶或多晶硅料表面進行打磨，既快捷又方便，能提高打磨效率，降低生產成本。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置。 一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置

【背景技術】
[0002] 目前，在單晶或多晶加工行業中，通常要對硅料的表面進行打磨去除，一般情況下 采用人工磨砂完成的，這樣，既耗時又耗力，生產效率低。


【發明內容】

[0003] 本實用新型的目的是提供能提高打磨效率的一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置。
[0004] 本實用新型采取的技術方案是：一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置，其特征在于 在移動平臺的上部設有升降器，螺帽固定在升降器上，升降螺桿設在螺帽中，曲柄螺桿通過 組合齒輪與升降螺桿相嚙接，在升降器上設有轉軸，若干刀片并列設在轉軸上，在若干刀片 的上部設有噴水管。
[0005] 采用本實用新型，可以直接將待打磨的單晶或多晶硅料送入移動平臺，通過若干 并列的刀片對硬度很高的單晶或多晶硅料表面進行打磨，既快捷又方便，能提高打磨效率， 降低生產成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1是本實用新型的示意圖。
[0007] 圖中序號表示：升降器1、升降螺桿2、螺帽3、組合齒輪4、曲柄螺桿5、噴水管6、刀 片7、硅料8、移動平臺9、電機10和轉軸11。

【具體實施方式】
[0008] 下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步說明。
[0009] 參照圖1，該單晶或多晶硅料表面打磨裝置的移動平臺9 (可上對于圖中的升降器 1作前后移動）的上部設有升降器1，螺帽3固定在升降器1上，升降螺桿2設在螺帽3中， 曲柄螺桿5通過組合齒輪4與升降螺桿2相嚙接，在升降器1上設有轉軸11，若干刀片7并 列設在轉軸11上，在若干刀片7的上部設有噴水管6。
[〇〇1〇] 使用時，將將待打磨的單晶或多晶的硅料8通過移動平臺9送入升降器1下部，啟 動電機10,轉軸11帶動若干刀片7轉動，轉動曲柄螺桿5通過升降螺桿2降下升降器1，干 刀片7與硅料8的表面緊貼，對單晶或多晶的硅料8表面進行磨切，同時噴水管6噴水對刀 片7進行冷卻，這樣，就能對硬度很高的單晶或多晶的硅料8表面進行打磨，既快捷又方便， 能提高打磨效率，降低生產成本。
【權利要求】
1. 一種單晶或多晶硅料表面打磨裝置，其特征在于在移動平臺的上部設有升降器，螺 帽固定在升降器上，升降螺桿設在螺帽中，曲柄螺桿通過組合齒輪與升降螺桿相嚙接，在升 降器上設有轉軸，若干刀片并列設在轉軸上，在若干刀片的上部設有噴水管。
【文檔編號】B24B55/02GK203887666SQ201420238800
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年5月12日 優先權日:2014年5月12日
【發明者】汪昌偉, 陸昌忠 申請人:浙江華友電子有限公司