一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用在真空鍍膜機(jī)上的抽真空系統(tǒng)，尤指一種以多臺分子泵代替維持泵、擴(kuò)散泵等從而節(jié)省空間且提高抽真空速率的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，主要包括抽真空裝置、控制裝置和管道，抽真空裝置通過管道連接在鍍膜機(jī)內(nèi)腔，抽真空裝置與控制裝置電性連接；所述的抽真空裝置主要包括機(jī)械泵、羅茨泵和分子泵，其中，機(jī)械泵包括第一機(jī)械泵和第二機(jī)械泵，分子泵包括主分子泵和輔助分子泵；第一機(jī)械泵、羅茨泵和鍍膜機(jī)通過管道順序連接形成一條由泵體通向鍍膜機(jī)內(nèi)腔的氣路，第二機(jī)械泵、分子泵和鍍膜機(jī)順序連接形成另一條由泵體通向鍍膜機(jī)內(nèi)腔的氣路，本實(shí)用新型以分子泵代替了體積大的擴(kuò)散泵和高壓閥，分子泵啟動快、體積小，實(shí)現(xiàn)零污染；本實(shí)用新型采用分子泵可節(jié)省空間，降低耗能，減少了對環(huán)境的污染，而且具有較高的抽真空工作效率，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性強(qiáng)、真空度極限高并且污染小的抽真空工作。
【專利說明】一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用在真空鍍膜機(jī)上的抽真空系統(tǒng)，尤指一種以多臺分子泵 代替擴(kuò)散泵和高壓閥達(dá)到維持常壓高壓狀態(tài)的可節(jié)省空間且提高速率的一種鍍膜機(jī)抽真 空系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002] 為提高真空鍍膜機(jī)的工作質(zhì)量，鍍膜機(jī)在做表面處理之前要抽真空，而真空度由 抽真空系統(tǒng)決定，傳統(tǒng)的抽真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、維持泵和高壓閥組成，如 說明書附圖圖1所示，抽真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵和高壓閥依次連接形成一條通 路，再將高壓閥與鍍膜機(jī)連接在一起；系統(tǒng)工作時，先利用機(jī)械泵抽真空，達(dá)到一定真空度 時，開啟羅茨泵抽真空，當(dāng)達(dá)到更高程度的真空度時，開啟擴(kuò)散泵抽真空，同時結(jié)合高壓閥 對鍍膜機(jī)的真空度進(jìn)行控制，在這一系列的操作后，整個抽真空系統(tǒng)全面開啟工作，所有泵 體均需開啟；與此同時，由于真空系統(tǒng)在氣量達(dá)到較小程度時，不能有效利用前級泵，因此 為保持原有的真空度，系統(tǒng)仍需要一臺具有維持作用的泵對羅茨泵進(jìn)行抽氣控制。
[0003] 通過抽真空系統(tǒng)進(jìn)行抽真空工作，保證了鍍膜機(jī)內(nèi)的真空度，使得鍍膜機(jī)在進(jìn)行 真空鍍膜時可保證鍍膜的純凈度和牢固度，但是，傳統(tǒng)的鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)在工作時，需要 開啟所有泵體，從而引起了廢氣的產(chǎn)生，且所使用的泵體的占用空間大、耗電量大、工作效 率不高，不利用現(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 為解決上述問題，本實(shí)用新型旨在公開一種應(yīng)用在真空鍍膜機(jī)上的抽真空系統(tǒng)， 尤指一種以多臺分子泵代替擴(kuò)散泵和高壓閥達(dá)到維持常壓高壓狀態(tài)的可節(jié)省空間且提高 速率的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)。
[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，抽真空 系統(tǒng)主要包括抽真空裝置、控制裝置和管道，抽真空裝置通過管道連接在鍍膜機(jī)內(nèi)腔，抽真 空裝置與控制裝置電性連接；所述的抽真空裝置主要包括機(jī)械泵、羅茨泵和分子泵，其中， 機(jī)械泵包括第一機(jī)械泵和第二機(jī)械泵，分子泵包括主分子泵和輔助分子泵；第一機(jī)械泵、羅 茨泵和鍍膜機(jī)通過管道順序連接形成一條由泵體通向鍍膜機(jī)內(nèi)腔的氣路，第二機(jī)械泵、輔 助分子泵、主分子泵和鍍膜機(jī)順序連接形成另一條由泵體通向鍍膜機(jī)內(nèi)腔的氣路。
[0006] 所述的分子泵設(shè)有12臺或12臺以上。
[0007] 所述的分子泵設(shè)有12臺，包括11臺主分子泵和1臺輔助分子泵，主分子泵之間為 并聯(lián)連接，輔助分子泵與主分子泵為串聯(lián)連接。
[0008] 所述的主分子泵安裝在鍍膜機(jī)的側(cè)面和頂面。
[0009] 所述的主分子泵可靈活分布在鍍膜機(jī)的側(cè)面或頂面，或呈陣列分布在鍍膜機(jī)的側(cè) 面或頂面。
[0010] 所述抽真空裝置設(shè)有與之搭配的真空度檢測儀，真空度檢測儀安裝在鍍膜機(jī)外 腔。 toon] 本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在：本實(shí)用新型以分子泵代替了體積大的擴(kuò)散泵和高 壓閥，分子泵啟動快、體積小，還可實(shí)現(xiàn)零污染；由于多臺分子泵的加入，羅茨泵不需要長時 間持續(xù)工作，在分子泵啟動時，羅茨泵可停止運(yùn)行；因此，本實(shí)用新型采用了分子泵可大幅 度節(jié)省存放空間，以及降低耗能，減少了對工作環(huán)境與生活環(huán)境的污染，而且具有較高的抽 真空工作效率，實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定性強(qiáng)、真空度極限高并且污染小的抽真空工作。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012] 圖1是本實(shí)用新型【背景技術(shù)】的結(jié)構(gòu)簡圖。
[0013] 圖2是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)立體圖。
[0014] 圖3是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0015] 附圖標(biāo)注說明：1-第一機(jī)械泵，2-第二機(jī)械泵，3-羅茨泵，4-主分子泵，5-輔助分 子泵，6-鍍膜機(jī)，7-管道。

【具體實(shí)施方式】
[0016] 下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】：
[0017] 一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，抽真空系統(tǒng)主要包括抽真空裝置、控制裝置和管道7,抽 真空裝置通過管道7連接在鍍膜機(jī)6內(nèi)腔，抽真空裝置與控制裝置電性連接；所述的抽真空 裝置主要包括機(jī)械泵、羅茨泵3和分子泵，其中，機(jī)械泵包括第一機(jī)械泵1和第二機(jī)械泵2， 分子泵包括主分子泵4和輔助分子泵5 ;第一機(jī)械泵1、羅茨泵3和鍍膜機(jī)6通過管道7順 序連接形成一條由泵體通向鍍膜機(jī)6內(nèi)腔的氣路，第二機(jī)械泵2、輔助分子泵5、主分子泵4 通過管道7順序連接，然后主分子泵4連接到鍍膜機(jī)6內(nèi)，形成另一條由泵體通向鍍膜機(jī)6 內(nèi)腔的氣路；抽真空裝置設(shè)有與之搭配的真空度檢測儀，真空度檢測儀安裝在鍍膜機(jī)6外 腔；所述的分子泵設(shè)有12臺或12臺以上，本實(shí)施例中所述的分子泵設(shè)有12臺，包括11臺 主分子泵4和1臺輔助分子泵5,主分子泵4之間為并聯(lián)連接，輔助分子泵5與主分子泵4 為串聯(lián)連接，主分子泵4安裝在鍍膜機(jī)6的側(cè)面和頂面，可靈活分布在鍍膜機(jī)6的側(cè)面或頂 面，或呈陣列分布在鍍膜機(jī)6的側(cè)面或頂面。
[0018] 當(dāng)抽真空工作開啟時，第一步，由控制裝置控制第一機(jī)械泵1的開啟，達(dá)到一定真 空度后開啟羅茨泵3,使羅次泵對鍍膜機(jī)6進(jìn)行抽真空工作；第二步，控制第二機(jī)械泵2與 輔助分子泵5的啟動，然后控制并聯(lián)的十一臺主分子泵4開啟并對鍍膜機(jī)6進(jìn)行抽真空工 作，十一臺主分子泵4因其并聯(lián)的連接方式使其工作互不干擾；第三步，由控制裝置控制第 一機(jī)械泵1和羅茨泵3通向鍍膜機(jī)6的氣路停止工作，即關(guān)閉羅茨泵3和第一機(jī)械泵1，而 另一氣路的第二機(jī)械泵2與分子泵繼續(xù)進(jìn)行抽真空工作，抽真空工作過程中的真空度由真 空度檢測儀進(jìn)行監(jiān)控；本抽真空系統(tǒng)以分子泵代替了體積大的擴(kuò)散泵和高壓閥，節(jié)省了較 多的占地位置，同時，由于多臺分子泵的加入，第二氣路連通時可斷開第一氣路，即羅茨泵3 在分子泵啟動工作時可停止工作，這樣一來，不僅從中節(jié)省了空間與降低了耗能，而且提高 了抽真空的工作效率，實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定性強(qiáng)、真空度極限高并且污染大幅度降低的抽真空工作。
[0019] 以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非對本實(shí)用新型的技術(shù)范圍作任何 限制，本行業(yè)的技術(shù)人員，在本技術(shù)方案的啟迪下，可以做出一些變形與修改，凡是依據(jù)本 實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上的實(shí)施例所作的任何修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用 新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，抽真空系統(tǒng)主要包括抽真空裝置、控制裝置和管道，抽真 空裝置通過管道連接在鍍膜機(jī)內(nèi)腔，抽真空裝置與控制裝置電性連接；其特征在于：所述 的抽真空裝置主要包括機(jī)械泵、羅茨泵和分子泵，其中，機(jī)械泵包括第一機(jī)械泵和第二機(jī)械 泵，分子泵包括主分子泵和輔助分子泵；第一機(jī)械泵、羅茨泵和鍍膜機(jī)通過管道順序連接形 成一條由泵體通向鍍膜機(jī)內(nèi)腔的氣路，第二機(jī)械泵、輔助分子泵、主分子泵和鍍膜機(jī)順序連 接形成另一條由泵體通向鍍膜機(jī)內(nèi)腔的氣路。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，其特征在于：所述的分子泵設(shè)有12 臺或12臺以上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，其特征在于：所述的分子泵設(shè)有12 臺，包括11臺主分子泵和1臺輔助分子泵，主分子泵之間為并聯(lián)連接，輔助分子泵與主分子 泵為串聯(lián)連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，其特征在于：所述的主分子泵安裝 在鍍膜機(jī)的側(cè)面和頂面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，其特征在于：所述的主分子泵可靈 活分布在鍍膜機(jī)的側(cè)面或頂面，或呈陣列分布在鍍膜機(jī)的側(cè)面或頂面。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機(jī)抽真空系統(tǒng)，其特征在于：所述抽真空裝置設(shè)有 與之搭配的真空度檢測儀，真空度檢測儀安裝在鍍膜機(jī)外腔。
【文檔編號】C23C14/56GK203999803SQ201420402258
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月21日
【發(fā)明者】劉雙良 申請人:東莞市華星鍍膜科技有限公司, 東莞市華星納米科技有限公司